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单质靶溅射制备CZTS薄膜及太阳电池 被引量:1
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作者 蒋志 李志山 +4 位作者 杨敏 刘思佳 刘涛 郝瑞亭 王书荣 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3582-3587,3592,共7页
采用单质靶磁控溅射制备Cu_2ZnSnS_4(CZTS)薄膜,研究了薄膜的元素组分、升温速率、硫化温度对薄膜表面平整性以及晶粒尺寸的影响。通过SEM与AFM表征薄膜的表面形貌与表面粗糙度,用EDS检测薄膜的元素组分。所制备的样品的Cu/(Zn+Sn)、Zn... 采用单质靶磁控溅射制备Cu_2ZnSnS_4(CZTS)薄膜,研究了薄膜的元素组分、升温速率、硫化温度对薄膜表面平整性以及晶粒尺寸的影响。通过SEM与AFM表征薄膜的表面形貌与表面粗糙度,用EDS检测薄膜的元素组分。所制备的样品的Cu/(Zn+Sn)、Zn/Sn处于最优范围。通过XRD及Raman检测薄膜的结晶情况以及薄膜中的二次相,经上述测试分析判定CZTS薄膜品质良好。最终制备出以CZTS为吸收层的薄膜太阳电池,并用I^V特性检验了CZTS电池性能参数,得到效率为0.83%的CZTS薄膜太阳电池,并通过改进硫化退火工艺将效率提高至1.58%。 展开更多
关键词 czts薄膜 磁控溅射 硫化 转换效率
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硫源种类对微波合成CZTS颗粒与薄膜性能的影响
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作者 王威 沈鸿烈 +2 位作者 姚函妤 陈洁仪 李玉芳 《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期665-671,共7页
研究不同硫源对微波液相合成的Cu2ZnSnS4(CZTS)纳米颗粒尺寸及形貌的影响。结果表明:当采用硫脲作为硫源时,所制备的CZTS纳米颗粒为平均尺寸500nm的球状结构纳米颗粒;采用L-半胱氨酸作为硫源所制备的CZTS纳米颗粒为50nm的空心球状纳米颗... 研究不同硫源对微波液相合成的Cu2ZnSnS4(CZTS)纳米颗粒尺寸及形貌的影响。结果表明:当采用硫脲作为硫源时,所制备的CZTS纳米颗粒为平均尺寸500nm的球状结构纳米颗粒;采用L-半胱氨酸作为硫源所制备的CZTS纳米颗粒为50nm的空心球状纳米颗粒;而当使用硫代乙酰胺作为硫源制备CZTS纳米颗粒,其平均尺寸仅为3nm。采用平均尺寸为500nm或50nm的纳米颗粒制备墨水,将墨水旋涂到衬底上时,其致密性很差,明显存在许多孔洞。当采用平均尺寸为3nm的纳米颗粒制作墨水,并将其制成薄膜时,薄膜致密性与均匀性都比较好。将最佳的预制薄膜进行硫化处理,其结晶性明显提高,并得到转化效率为2.1%的CZTS太阳电池。 展开更多
关键词 Cu2ZnSnS4(czts)薄膜 纳米颗粒 微波液相合成法 墨水法 太阳电池
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高质量Cu_2ZnSnS_4薄膜的两步法制备及表征 被引量:1
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作者 周珊珊 谭瑞琴 +3 位作者 姜欣 沈祥 许炜 宋伟杰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期396-402,共7页
采用直流磁控溅射方法,以Cu-Zn-Sn合金为靶材,结合后续硫化工艺成功制备出高质量Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜。利用X射线衍射仪、拉曼光谱仪、场发射扫描电子显微镜和能量色散谱对Cu-Zn-Sn(CZT)前驱体及CZTS薄膜的结构、形貌和组分进行了表征,... 采用直流磁控溅射方法,以Cu-Zn-Sn合金为靶材,结合后续硫化工艺成功制备出高质量Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜。利用X射线衍射仪、拉曼光谱仪、场发射扫描电子显微镜和能量色散谱对Cu-Zn-Sn(CZT)前驱体及CZTS薄膜的结构、形貌和组分进行了表征,并使用紫外-可见分光光度计测量了CZTS薄膜的吸收光谱。研究结果表明:直流溅射的溅射功率和工作气压会影响CZTS薄膜的质量。采用30 W功率,在1 Pa气压条件下直流溅射制备的CZT前驱体薄膜形貌均匀致密,经硫化后可得到接近化学计量比、高质量、单一锌黄锡矿结构的CZTS薄膜,其光学禁带宽度约为1.49 eV,适合作为薄膜太阳能电池的吸收层材料。 展开更多
关键词 直流磁控溅射 czts薄膜 Cu—Zn-Sn合金靶 两步法
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预热处理前驱体后硫化温度对Cu_2ZnSnS_4薄膜性能影响的研究 被引量:1
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作者 金佳乐 沈鸿烈 +1 位作者 王威 李金泽 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期1352-1357,共6页
用磁控溅射法在玻璃衬底上沉积Zn/Sn/Cu前驱体,在石英管中将前驱体加热到350℃预热处理30 min,再然后用硫粉作为硫源将预热处理后的金属前驱体硫化制成Cu2Zn Sn S4(CZTS)薄膜。研究了不同硫化温度(500,540和580℃)对CZTS薄膜性能的影响... 用磁控溅射法在玻璃衬底上沉积Zn/Sn/Cu前驱体,在石英管中将前驱体加热到350℃预热处理30 min,再然后用硫粉作为硫源将预热处理后的金属前驱体硫化制成Cu2Zn Sn S4(CZTS)薄膜。研究了不同硫化温度(500,540和580℃)对CZTS薄膜性能的影响。采用X射线衍射、喇曼光普仪、扫描电镜、能谱分析仪、能量散射谱和紫外-可见-近红外分光光度计表征薄膜的物相,表面形貌和光学性能。结果表明,在不同硫化温度下都成功制备了CZTS薄膜,且都具有(112)晶面择优取向。随着硫化温度的升高,薄膜中的晶粒尺寸明显增大,结晶性也有所增大。当硫化温度升高至580℃,所制备的薄膜中晶粒尺寸可达到1μm以上。在不同硫化温度下所制备薄膜的禁带宽度都接近1.5 e V。 展开更多
关键词 磁控溅射 czts薄膜 预热处理 硫化温度
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Na、K共掺杂对Cu_(2)ZnSnS_(4)薄膜及器件性能的影响 被引量:1
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作者 向冬梅 毕金莲 +1 位作者 李微 张晓勇 《电源技术》 CAS 北大核心 2022年第12期1465-1468,共4页
采用溶胶-凝胶法制备Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜太阳电池;研究了(3%、5%、7%、9%)的Na、K共掺杂对CZTS薄膜电池的影响。通过X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)和环境场扫描电镜(SEM)等测试手段对薄膜样品进行表征,并采用SAN-EI XES-500T1(... 采用溶胶-凝胶法制备Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜太阳电池;研究了(3%、5%、7%、9%)的Na、K共掺杂对CZTS薄膜电池的影响。通过X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)和环境场扫描电镜(SEM)等测试手段对薄膜样品进行表征,并采用SAN-EI XES-500T1(AAA标准)太阳光模拟器测量器件的光电转化性能;结果表明:适量的Na、K共掺杂可以改善CZTS薄膜结晶质量,抑制CZTS薄膜内部ZnS二次相的形成,改善器件性能,CZTS薄膜太阳电池光电转换效率由6.7%提升至8.02%。 展开更多
关键词 Na、K共掺杂 溶胶-凝胶 czts薄膜 太阳电池 光电转化效率
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H_2S气氛下硫化温度对Cu_2ZnSnS_4薄膜性能影响的研究
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作者 金佳乐 沈鸿烈 +1 位作者 王威 曹子建 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1101-1105,共5页
用磁控溅射法在玻璃衬底上沉积Zn/Sn/Cu预置层,然后再在H2S气氛下将其硫化制成Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜。研究了不同硫化温度(460,500,540和580℃)对CZTS薄膜性能的影响。采用X射线衍射、Raman、扫描电镜、能量色散谱和紫外-可见-近红外分... 用磁控溅射法在玻璃衬底上沉积Zn/Sn/Cu预置层,然后再在H2S气氛下将其硫化制成Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜。研究了不同硫化温度(460,500,540和580℃)对CZTS薄膜性能的影响。采用X射线衍射、Raman、扫描电镜、能量色散谱和紫外-可见-近红外分光光度计表征薄膜的物相、表面形貌和光学性能。结果表明,在不同硫化温度下都成功制备了CZTS薄膜。当硫化温度为540℃时,制备的薄膜晶粒达到2μm,结晶性最好,表面致密光滑,而且它的吸收系数大于7×104cm-1,禁带宽度为1.49 e V。硫化温度较低(460℃)时,含有Cu2-xS杂质相,表面存在孔洞。而硫化温度较高(580℃)时,晶界处会产生微裂纹。 展开更多
关键词 磁控溅射 czts薄膜 H2S 硫化温度
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硫化温度-时间曲线对铜锌锡硫薄膜性能的影响
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作者 李琦 蒋志 +5 位作者 杨剑 杨敏 陆熠磊 刘思佳 徐信 王书荣 《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2017年第9期1720-1727,共8页
采用溅射法制备含硫预制层,硫化时采用不同的升温速率对经过合金处理的含硫预制层进行退火硫化。通过表征薄膜的表面粗糙度,致密性,均匀性来研究硫化时升温速率对薄膜表面形貌的影响。结果表明当升温速率变慢时,薄膜中的CZTS颗粒逐渐增... 采用溅射法制备含硫预制层,硫化时采用不同的升温速率对经过合金处理的含硫预制层进行退火硫化。通过表征薄膜的表面粗糙度,致密性,均匀性来研究硫化时升温速率对薄膜表面形貌的影响。结果表明当升温速率变慢时,薄膜中的CZTS颗粒逐渐增大,虽然较大的颗粒能减少单位面积内的晶界,但是薄膜的表面粗糙度却随颗粒尺寸的增大而逐渐下降。通过对薄膜的元素组分、晶体结构、相成分进行了检测,确定出薄膜的成分为贫铜富锌的单相锌黄锡矿。再通过测量相应的没有Mo层的CZTS薄膜样品的光电特性来间接的反映拥有Mo层的CZTS薄膜的光电特性。最终制备出结构为SLG/Mo/CZTS/Cd S/i-Zn O/AZO/Ni/Al-grid的CZTS薄膜太阳电池,其中转换效率最高的电池为3.60%。 展开更多
关键词 czts薄膜 太阳电池 磁控溅射 硫化 转换效率
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氩气压对磁控溅射制备CdZnTe薄膜形貌、结构和电学特性的影响
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作者 席守智 介万奇 +9 位作者 王涛 查钢强 王奥秋 于晖 徐凌燕 张昊 杨帆 周伯儒 徐亚东 谷亚旭 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期4128-4133,共6页
采用Cd_(0.9)Zn_(0.1)Te晶圆作为溅射靶材,利用射频磁控溅射法在FTO衬底上制备了CdZnTe薄膜。系统研究了溅射氩气压从0.08~1Pa的变化对CdZnTe薄膜的形貌、结构、成分和电学特性的影响。随着氩气压的降低,薄膜晶粒尺寸下降,形貌由柱状结... 采用Cd_(0.9)Zn_(0.1)Te晶圆作为溅射靶材,利用射频磁控溅射法在FTO衬底上制备了CdZnTe薄膜。系统研究了溅射氩气压从0.08~1Pa的变化对CdZnTe薄膜的形貌、结构、成分和电学特性的影响。随着氩气压的降低,薄膜晶粒尺寸下降,形貌由柱状结构转化为片状结构、再转化为细小的颗粒状结构。同时,CZT薄膜逐渐呈现(111)择优取向的闪锌矿结构,内应力减少,并且当气压降至0.5和0.3Pa时薄膜出现了ZnTe和Te相。薄膜中的Zn和Cd原子含量大于靶材中的对应原子含量。薄膜的方块电阻随着氩气压的降低先减少,后增大。而薄膜的载流子浓度和迁移率则随着氩气压降低呈现先增大后减小的趋势。 展开更多
关键词 磁控溅射 czt薄膜 氩气压 平均自由程
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预制层衬底加热对Cu_2ZnSnS_4薄膜性能的影响
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作者 张俊芝 代福 +1 位作者 范东华 郑春来 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期1017-1023,共7页
本文采用二步法制备Cu_2ZnSnS_4(CZTS)薄膜,首先通过真空热蒸发制备CuZnSn(CZT)预制层,其衬底加热温度分别为20℃、50℃、75℃和100℃,然后对所制备的CZT预制层在400℃下硫化60 min,从而制备出CZTS薄膜。利用XRD、Raman、SEM、反射谱和... 本文采用二步法制备Cu_2ZnSnS_4(CZTS)薄膜,首先通过真空热蒸发制备CuZnSn(CZT)预制层,其衬底加热温度分别为20℃、50℃、75℃和100℃,然后对所制备的CZT预制层在400℃下硫化60 min,从而制备出CZTS薄膜。利用XRD、Raman、SEM、反射谱和透射谱对所制备的CZTS薄膜进行了表征,实验结果表明,预制层衬底加热温度对CZTS薄膜结构与光学特性有很大影响,在衬底加热50℃时制备预制层硫化后所得CZTS薄膜具有高的结晶度、致密均匀的薄膜表面和最佳1.5 e V光学带隙。此外,与衬底未加热制备预制层在500℃和90 min最佳硫化条件下所制备的高纯CZTS薄膜相比,在50℃预制层衬底加热条件下所制备CZTS薄膜具有更好地结晶质量、更低的硫化温度和更短的硫化时间,这种现象表明衬底加热制备金属预制层利于更高品质CZTS薄膜的制备,可有效的降低硫化温度和缩短硫化时间,当前的研究结果为在低温下实现高质量CZTS薄膜的制备提供了一种有效的途径。 展开更多
关键词 Cu2ZnSnS4(czts)薄膜 衬底加热 晶体性能
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