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CoSi2薄膜与Si(001)界面的高分辨电子显微镜观察
1
作者
邢辉
周鸥
+1 位作者
孙坚
黄红伟
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2008年第1期21-25,共5页
利用高分辨透射电镜研究了经过550℃退火处理的共溅射CoSi2非晶结构薄膜与Si基体的界面。结果表明,550℃退火后薄膜已经发生晶化转变;同时CoSi2薄膜与Si基体发生反应扩散,在界面上生成了形状规则的CoSi2化合物,并与Si基体保持着相同的...
利用高分辨透射电镜研究了经过550℃退火处理的共溅射CoSi2非晶结构薄膜与Si基体的界面。结果表明,550℃退火后薄膜已经发生晶化转变;同时CoSi2薄膜与Si基体发生反应扩散,在界面上生成了形状规则的CoSi2化合物,并与Si基体保持着相同的位向关系或孪晶位向关系。结合以上电镜观察,对这些界面化合物的生长机制进行了讨论。
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关键词
界面
cosi2
高分辨电子显微术
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职称材料
CoSi_2合金电子结构和光学性质的理论研究
2
作者
张富春
崔红卫
+1 位作者
杨延宁
张威虎
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第14期14043-14047,共5页
采用基于密度泛函理论框架的第一性原理计算方法,利用LSDA+U方法计算了CoSi2合金材料的电子结构和光学性质。计算结果表明,CoSi2合金能带结构的导带和价带在费米能级附近存在明显的交叠,表现出半金属特性。随着U值的增加,费米能级处的...
采用基于密度泛函理论框架的第一性原理计算方法,利用LSDA+U方法计算了CoSi2合金材料的电子结构和光学性质。计算结果表明,CoSi2合金能带结构的导带和价带在费米能级附近存在明显的交叠,表现出半金属特性。随着U值的增加,费米能级处的能级逐渐分裂,导带部分和价带部分分别向高能和低能方向移动,当U=8时,CoSi2合金出现自旋劈裂现象。电荷密度计算结果显示Co—Si键是一种以共价键为主且含有部分离子键成分的混合价合金材料,载流子具有明显的由Si原子向Co原子的电荷转移特性。光学吸收谱分析表明,随着U值的增大,CoSi2材料的吸收峰发生蓝移现象,吸收峰强度逐渐减弱。这些结果表明,CoSi2合金材料是一种很好的具有一定发光性能的热电材料。
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关键词
cosi2
合金
HubbardU
电子结构
光学性质
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职称材料
在Si(111)上外延生长硅化钴薄膜的SEM和XPS研究
被引量:
1
3
作者
吴正龙
姚振钰
+2 位作者
张建辉
刘志凯
秦复光
《北京师范大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第4期492-495,共4页
利用质量分离低能离子束外延法,在Si(111)上生长出了硅化钻薄膜.表面微结构及表面组分、化学价态的分析测试表明,此生长工艺已获得了无针孔的高品质单晶硅化钴薄膜.通过反应外延后做后退火和不做后退火样品的对比测试的结果,对...
利用质量分离低能离子束外延法,在Si(111)上生长出了硅化钻薄膜.表面微结构及表面组分、化学价态的分析测试表明,此生长工艺已获得了无针孔的高品质单晶硅化钴薄膜.通过反应外延后做后退火和不做后退火样品的对比测试的结果,对这一薄膜生长的机理进行了探讨分析.
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关键词
硅化钴
薄膜
XPS
RDE
外延生长
硅
SEM
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职称材料
CoSi_2(001)表面的第一原理计算
4
作者
王国章
《科学技术与工程》
2007年第17期4433-4434,4447,共3页
基于广义梯度近似的从头算平面波超软赝势方法,考虑了CoSi2(001)面的Si和Co两种终止表面。结果表明表面能较低的Si终止表面比Co终止表面稳定。但是,由于差距不大,这两种终止表面可以共同存在。两种不同终止表面第1层原子与第2层原子弛...
基于广义梯度近似的从头算平面波超软赝势方法,考虑了CoSi2(001)面的Si和Co两种终止表面。结果表明表面能较低的Si终止表面比Co终止表面稳定。但是,由于差距不大,这两种终止表面可以共同存在。两种不同终止表面第1层原子与第2层原子弛豫后的间距都变小,Si终止表面的表面四层间距弛豫量略大于Co终止表面。
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关键词
从头算
cosi2
表面能
弛豫
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职称材料
题名
CoSi2薄膜与Si(001)界面的高分辨电子显微镜观察
1
作者
邢辉
周鸥
孙坚
黄红伟
机构
上海交通大学材料科学与工程学院
上海宏力半导体制造有限公司
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2008年第1期21-25,共5页
文摘
利用高分辨透射电镜研究了经过550℃退火处理的共溅射CoSi2非晶结构薄膜与Si基体的界面。结果表明,550℃退火后薄膜已经发生晶化转变;同时CoSi2薄膜与Si基体发生反应扩散,在界面上生成了形状规则的CoSi2化合物,并与Si基体保持着相同的位向关系或孪晶位向关系。结合以上电镜观察,对这些界面化合物的生长机制进行了讨论。
关键词
界面
cosi2
高分辨电子显微术
Keywords
interface
cosi2
high-resolution electron microscopy
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
CoSi_2合金电子结构和光学性质的理论研究
2
作者
张富春
崔红卫
杨延宁
张威虎
机构
延安大学物理与电子信息学院
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第14期14043-14047,共5页
基金
陕西省自然科学基金资助项目(2014JM2-5058)
陕西省教育厅自然科学基金资助项目(2013JK0917)
+2 种基金
延安市科技攻关资助项目(2013-KG03)
榆林市产学研资助项目(036)
延安大学科研引导资助项目(YDY2014-02)
文摘
采用基于密度泛函理论框架的第一性原理计算方法,利用LSDA+U方法计算了CoSi2合金材料的电子结构和光学性质。计算结果表明,CoSi2合金能带结构的导带和价带在费米能级附近存在明显的交叠,表现出半金属特性。随着U值的增加,费米能级处的能级逐渐分裂,导带部分和价带部分分别向高能和低能方向移动,当U=8时,CoSi2合金出现自旋劈裂现象。电荷密度计算结果显示Co—Si键是一种以共价键为主且含有部分离子键成分的混合价合金材料,载流子具有明显的由Si原子向Co原子的电荷转移特性。光学吸收谱分析表明,随着U值的增大,CoSi2材料的吸收峰发生蓝移现象,吸收峰强度逐渐减弱。这些结果表明,CoSi2合金材料是一种很好的具有一定发光性能的热电材料。
关键词
cosi2
合金
HubbardU
电子结构
光学性质
Keywords
cosi2
alloy
Hubbard U
electronic structure
optical properties
分类号
TB01 [一般工业技术]
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职称材料
题名
在Si(111)上外延生长硅化钴薄膜的SEM和XPS研究
被引量:
1
3
作者
吴正龙
姚振钰
张建辉
刘志凯
秦复光
机构
北京师范大学分析测试中心
中国科学院半导体研究所
出处
《北京师范大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第4期492-495,共4页
基金
"八五"攻关计划资助!857010504
文摘
利用质量分离低能离子束外延法,在Si(111)上生长出了硅化钻薄膜.表面微结构及表面组分、化学价态的分析测试表明,此生长工艺已获得了无针孔的高品质单晶硅化钴薄膜.通过反应外延后做后退火和不做后退火样品的对比测试的结果,对这一薄膜生长的机理进行了探讨分析.
关键词
硅化钴
薄膜
XPS
RDE
外延生长
硅
SEM
Keywords
ion beam reaction deposition
cosi2
film
X-ray photoelectron spectroscopy
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TN304.205 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
CoSi_2(001)表面的第一原理计算
4
作者
王国章
机构
榆林学院物理与电气工程系
出处
《科学技术与工程》
2007年第17期4433-4434,4447,共3页
文摘
基于广义梯度近似的从头算平面波超软赝势方法,考虑了CoSi2(001)面的Si和Co两种终止表面。结果表明表面能较低的Si终止表面比Co终止表面稳定。但是,由于差距不大,这两种终止表面可以共同存在。两种不同终止表面第1层原子与第2层原子弛豫后的间距都变小,Si终止表面的表面四层间距弛豫量略大于Co终止表面。
关键词
从头算
cosi2
表面能
弛豫
Keywords
ab initio CoSi/ surface energy relaxation
分类号
O562.1 [理学—原子与分子物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
CoSi2薄膜与Si(001)界面的高分辨电子显微镜观察
邢辉
周鸥
孙坚
黄红伟
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2008
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
CoSi_2合金电子结构和光学性质的理论研究
张富春
崔红卫
杨延宁
张威虎
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
在Si(111)上外延生长硅化钴薄膜的SEM和XPS研究
吴正龙
姚振钰
张建辉
刘志凯
秦复光
《北京师范大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
1998
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
CoSi_2(001)表面的第一原理计算
王国章
《科学技术与工程》
2007
0
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职称材料
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