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井下电磁换能器结构设计与COMSOL有限元仿真 被引量:2
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作者 马海峰 康伟 +1 位作者 康忠健 龚大建 《现代电子技术》 北大核心 2019年第22期155-158,共4页
针对页岩气开采产能低的问题,参考油井的振动增产原理,根据电磁学理论提出一种可扫频的井下电磁换能器结构设计方案。由于换能器直径受到油管内径的限制,为达到最优电磁效果,在Matlab中编程对铁芯几何参数优化分析。最后在COMSOL软件中... 针对页岩气开采产能低的问题,参考油井的振动增产原理,根据电磁学理论提出一种可扫频的井下电磁换能器结构设计方案。由于换能器直径受到油管内径的限制,为达到最优电磁效果,在Matlab中编程对铁芯几何参数优化分析。最后在COMSOL软件中选择“AC/DC,Magnetic”与“Structural Mechanics,Solid Mechanics”模块构建电磁场与固体力学场的多物理场耦合模型并做瞬态研究。研究结果验证了换能器结构设计方案的可行性,为页岩气增产提供了一种新的途径。 展开更多
关键词 电磁换能器 结构设计 有限元仿真 增产 几何建模 仿真分析
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线激光扫描热成像无损检测参数有限元仿真分析
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作者 谭丹 张志杰 +1 位作者 王禄祥 王丁迩恺 《红外技术》 北大核心 2025年第1期121-129,共9页
为进一步研究线激光扫描红外热成像无损检测技术,探究检测过程中可调参数及被检材料参数对热成像结果的影响,以获取最佳缺陷检测效果。本文使用COMSOL软件建立线激光扫描碳纤维复合材料的有限元分析模型,选取缺陷中心处及无缺陷处表面... 为进一步研究线激光扫描红外热成像无损检测技术,探究检测过程中可调参数及被检材料参数对热成像结果的影响,以获取最佳缺陷检测效果。本文使用COMSOL软件建立线激光扫描碳纤维复合材料的有限元分析模型,选取缺陷中心处及无缺陷处表面最大温差作为衡量检测效果的特征量,分析线激光长度、缺陷大小及缺陷深度对CFRP(Carbon Fibre Reinforced Plastics)热成像结果的影响规律,并分别对3个参数与检测效果的关系进行拟合。研究可为搭建激光扫描热成像检测系统和制定准确可靠的检测标准提供参考。 展开更多
关键词 线激光扫描热成像 CFRP 无损检测 comsol仿真 参数分析
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基于Creo Parametric与ANSYSworkbench软件管式车桥压装有限元仿真
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作者 张青荣 张蕊 +1 位作者 李文涛 孔德利 《时代汽车》 2025年第4期122-124,共3页
管式车桥作为现代汽车底盘重要组成部分,其设计和性能直接关系到车辆的安全性、稳定性和舒适性。随着汽车工业快速发展,传统车桥结构逐渐暴露出重量大、刚性不足和承载力有限等缺陷,采用新型管式车桥结构成为一种有效的解决方案。本文... 管式车桥作为现代汽车底盘重要组成部分,其设计和性能直接关系到车辆的安全性、稳定性和舒适性。随着汽车工业快速发展,传统车桥结构逐渐暴露出重量大、刚性不足和承载力有限等缺陷,采用新型管式车桥结构成为一种有效的解决方案。本文将围绕管式车桥的压装过程,采用有限元法重点分析其力学性能,探讨不同工况下承载能力,通过一系列的研究,为管式车桥的设计与优化提供理论基础与实用指导。 展开更多
关键词 管式车桥 有限元仿真 仿真结果
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基于有限元仿真技术的可分体落地电源车车厢结构力学性能分析
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作者 邹文斌 周宪增 +3 位作者 黄建祥 陈国锋 杨永泰 黄裕 《专用汽车》 2025年第1期51-56,共6页
探讨了分体式电源车在现代社会中的重要性,强调其在为现代工业提供电力后勤保障中的关键作用。随着专用车行业的发展,电源车的设计正朝着高效、环保和智能化方向发展,其中可分体设计成为提升灵活性和维护便利性的创新方案。基于有限元... 探讨了分体式电源车在现代社会中的重要性,强调其在为现代工业提供电力后勤保障中的关键作用。随着专用车行业的发展,电源车的设计正朝着高效、环保和智能化方向发展,其中可分体设计成为提升灵活性和维护便利性的创新方案。基于有限元仿真技术,分析了可分体落地电源车车厢的结构力学性能,旨在为电源车的设计优化和材料选择提供科学依据。通过有限元仿真技术评估了其在不同工况下的力学表现,提出了优化建议,推动电源车技术的进步与应用。研究结果将为电源车的创新发展提供理论支持和实践指导。 展开更多
关键词 有限元仿真 电源车 车厢结构 力学性能 结构分析
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基于有限元仿真的针织应变传感器性能分析
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作者 郭浩 王文杰 +2 位作者 柴炳烨 程燕婷 余灵婕 《纺织工程学报》 2025年第1期57-64,共8页
为更好地了解不同细度、密度对柔性应变传感器性能的影响,采用有限元仿真的方法进行性能分析。首先,选用280D的镀银锦纶纱线,以1股、2股、3股织造5cm×10cm纬平组织物,同时对织物进行0%~60%拉伸性能测试。然后,通过显微镜测量织物... 为更好地了解不同细度、密度对柔性应变传感器性能的影响,采用有限元仿真的方法进行性能分析。首先,选用280D的镀银锦纶纱线,以1股、2股、3股织造5cm×10cm纬平组织物,同时对织物进行0%~60%拉伸性能测试。然后,通过显微镜测量织物线圈几何参数,采用Rhino建立织物几何模型,利用COM-SOL进行有限元仿真,模拟织物0%~60%拉伸应变过程。结果表明:随着合股数的增多,峰值电阻升高,电阻变化率波动增大。同时,有限元仿真方法与实验测试对比,平均误差不超过3%,最大误差不超过9%,证明了有限元仿真方法在性能分析的可行性与准确性。 展开更多
关键词 导电针织物 柔性传感器 三维建模 有限元仿真
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有限元仿真模拟在超声喷水无损检测用水套设计中的应用
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作者 罗明 马兆庆 +2 位作者 吴君豪 蔡鹏 吴时红 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期83-87,共5页
水套在超声喷水穿透检测中具有重要作用,为设计出具有良好耦合效果的水套,减少水流紊流对声波耦合的影响,本文通过构建探头套几何模型、物理建模、数值求解的有限元仿真方法对探头水套进行流体动力学仿真。结果表明,在无整流装置下,从... 水套在超声喷水穿透检测中具有重要作用,为设计出具有良好耦合效果的水套,减少水流紊流对声波耦合的影响,本文通过构建探头套几何模型、物理建模、数值求解的有限元仿真方法对探头水套进行流体动力学仿真。结果表明,在无整流装置下,从入水口射入的水流撞击探头套内壁,产生严重紊流,进入出水管后,紊流状态仍然保持,水流流线方向杂乱。增加整流装置后,探头套内紊流得到很好的抑制,使得进入出水管的水流流线方向趋向一致,这种现象随着整流片增多而效果越加明显。本文为后续模拟水流经过出水口后的水柱状态,特别是随着初始水流速度加大后的水柱状态,以及利用有限元多物理场模拟功能,在加入声场后,模拟紊流状况下声场的变化打下了基础。 展开更多
关键词 有限元仿真 超声喷水穿透 探头水套 紊流
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基于有限元的工程力学模拟仿真实验辅助教学
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作者 刘露 王延遐 马驰骋 《新课程教学(电子版)》 2024年第14期180-182,共3页
本文旨在探索有限元软件在工程力学教学中的进一步应用,通过模拟仿真各种基本变形的过程以及生活和工程实际中与力学密切相关的例子,既弥补了实验教学的不足,又提高了课堂教学效果。这不仅补充了力学课程的授课内容,增强了学生对力学变... 本文旨在探索有限元软件在工程力学教学中的进一步应用,通过模拟仿真各种基本变形的过程以及生活和工程实际中与力学密切相关的例子,既弥补了实验教学的不足,又提高了课堂教学效果。这不仅补充了力学课程的授课内容,增强了学生对力学变形的感性认识,更有利于学生深入地理解和掌握所学的理论知识,同时还提高了学生发现问题并且主动解决问题的能力。 展开更多
关键词 有限元软件 工程力学 模拟仿真实验
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基于COMSOL有限元法的电涡流传感器仿真 被引量:26
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作者 徐琳 王恒 +3 位作者 黄祯 李伯全 肖逸凯 盛嘉端 《排灌机械工程学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第12期1097-1104,共8页
为了研究电涡流传感器中电涡流探头线圈的结构参数对检测性能的影响,以电磁场理论为基础,采用有限元分析法,以有限元仿真软件COMSOL为工具,建立电涡流传感器的检测模型,通过仿真研究电涡流传感器探头的电磁特性和影响其性能的探头线圈... 为了研究电涡流传感器中电涡流探头线圈的结构参数对检测性能的影响,以电磁场理论为基础,采用有限元分析法,以有限元仿真软件COMSOL为工具,建立电涡流传感器的检测模型,通过仿真研究电涡流传感器探头的电磁特性和影响其性能的探头线圈内径、外径、厚度等结构参数.结果表明:电涡流传感器探头线圈的电阻值与电抗值随线圈内径和外径的增大及厚度的减少而呈上升趋势,当内径和外径越大、厚度越小时,电涡流传感器的灵敏度越高,且线圈厚度对传感器灵敏度的影响更明显.研究结果对研制用于钢闸门缺陷检测的电涡流传感器的优化设计具有一定的参考价值. 展开更多
关键词 电涡流传感器 仿真 线圈 有限元
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基于有限元自主仿真软件的教学创新研究
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作者 孙昊 安冬阳 《现代信息科技》 2024年第6期190-193,198,共5页
随着数字化建设的不断推进,计算机辅助工程(Computer Aided Engineering, CAE)在各领域的应用也愈发广泛,将CAE仿真技术引入课堂,以数字化教学模式培养新时代具有创新能力的复合型人才已经成为教育发展的必然趋势。国外商用有限元仿真... 随着数字化建设的不断推进,计算机辅助工程(Computer Aided Engineering, CAE)在各领域的应用也愈发广泛,将CAE仿真技术引入课堂,以数字化教学模式培养新时代具有创新能力的复合型人才已经成为教育发展的必然趋势。国外商用有限元仿真软件存在操作烦琐,无仿真基础学生一时难以上手等问题。国产自主开发的有限元仿真软件配有众多应用接口,凭借其操作简单、功能完善等优势脱颖而出,为CAE仿真与课堂教学的结合注入全新的活力。 展开更多
关键词 有限元自主仿真软件 计算机辅助工程 数字化教学
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拉毛针织面料热传递性能的有限元仿真 被引量:1
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作者 刘薇 雷敏 +2 位作者 沈华 李毓陵 马颜雪 《现代纺织技术》 北大核心 2024年第8期100-107,共8页
为探究拉毛针织面料的毛羽对面料热传递性能的影响规律,提出了一种预测拉毛针织面料热传递性能的方法,建立了针织线圈-毛羽层模型,在此基础上对拉毛针织面料的热传递性能进行有限元仿真分析,并通过实验验证模型的有效性。首先对实验面... 为探究拉毛针织面料的毛羽对面料热传递性能的影响规律,提出了一种预测拉毛针织面料热传递性能的方法,建立了针织线圈-毛羽层模型,在此基础上对拉毛针织面料的热传递性能进行有限元仿真分析,并通过实验验证模型的有效性。首先对实验面料进行测量,得到织物的几何结构参数,利用SolidWorks专业建模软件建立织物的针织线圈结构,利用ANSYS DesignModeler建立织物的毛羽层;然后借助有限元分析软件ANSYS Fluent,根据模拟环境设置边界条件,进行迭代运算,得到该模型的温度分布云图;最后将仿真模拟的结果与实验测试结果进行对比,对模型的有效性进行验证。研究结果表明:拉毛针织面料的模拟热阻值与实验热阻值相关系数接近0.993,最大差异小于17.7%,表明该有限元模型具有一定的可行性;拉毛针织面料的表面毛羽密度越高,织物的热阻值越大,但是毛羽密度达到一定范围后,织物热阻值发生较小变化。 展开更多
关键词 热传递 毛羽 拉毛针织面料 有限元仿真 线圈模型
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磨粒间距和材料特性对磨削温度影响的有限元仿真研究 被引量:1
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作者 王梦柯 宋飞虎 +1 位作者 尹静 吕长飞 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2024年第8期99-104,共6页
针对磨削过程中,磨粒间距和工件材料特性对工件表面温度的影响规律进行了有限元仿真研究,结果表明,随着磨削过程的进行,工件表面温度逐渐升高;磨削过程中,相比多磨粒磨削,单颗磨粒磨削的工件表面温度更低,且随时间增加上升速度更小;磨... 针对磨削过程中,磨粒间距和工件材料特性对工件表面温度的影响规律进行了有限元仿真研究,结果表明,随着磨削过程的进行,工件表面温度逐渐升高;磨削过程中,相比多磨粒磨削,单颗磨粒磨削的工件表面温度更低,且随时间增加上升速度更小;磨粒间距越大,工件表面温度越低且随磨削过程的进行变化速度越小;工件材料导热率越大,工件表面温度越低,当导热率大于1 W/(m·K)时,温度随导热率增大而下降的趋势不再明显;工件的比热容和密度对磨削温度的影响规律相似,随着比热容、密度增大,工件表面温度降低,且当比热容大于200 J/(kg·℃)、密度大于4000 kg/m3时,工件表面温度随比热容、密度持续增大而降低的趋势不再明显,且温度随时间推移而上升的速度下降。 展开更多
关键词 磨粒间距 点热源 材料特性 磨削温度 有限元仿真
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凉感锦纶纬平针织物的接触冷暖感有限元模拟
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作者 姚琳涵 郑晓萍 +2 位作者 姚岚 魏文达 刘成霞 《丝绸》 北大核心 2025年第3期57-64,共8页
为了快速、有效、低成本地指导凉感针织物的设计,预测织物的接触冷感系数和传热系数,文章利用有限元仿真模拟凉感锦纶针织物的热传递过程。以9块凉感锦纶纬平针织物为研究对象,在Pierce纬平针织物线圈理论的基础上进行改进,采取7个型值... 为了快速、有效、低成本地指导凉感针织物的设计,预测织物的接触冷感系数和传热系数,文章利用有限元仿真模拟凉感锦纶针织物的热传递过程。以9块凉感锦纶纬平针织物为研究对象,在Pierce纬平针织物线圈理论的基础上进行改进,采取7个型值点构建NURBS中心样条曲线描绘曲线路径,构建出贴近真实形态的织物线圈模型。首先将其导入Solid works软件中建立恒温发热板—织物—热检测板装配体,再依次对模型进行修正分割和空气层装配,最后在ANSYS workbench仿真软件中赋予材料属性、网格划分和提交求解。仿真结果显示,接触凉感系数和传热系数的平均模拟误差分别为2.4%、4.8%,表明该模型可有效模拟针织物热传递性,预测出针织物的接触凉感系数、传热系数,能用于指导凉感针织物设计。 展开更多
关键词 锦纶纬平针织物 线圈模型 接触凉感系数 传热系数 有限元仿真
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数据驱动与有限元仿真融合的纱线断裂强力分析方法
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作者 陶静 汪俊亮 张洁 《纺织学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期238-245,共8页
为揭示机器人运动速度等参数对纱线性能的影响规律,考虑纱线夹持长度与拉伸速度对断裂强力分布的影响,分析了动态环境下环锭纺细纱断裂强力的分布特征。首先设计拉伸实验对环锭纺细纱性能进行分析,并构建了环锭纺短纤纱本构模型表征其... 为揭示机器人运动速度等参数对纱线性能的影响规律,考虑纱线夹持长度与拉伸速度对断裂强力分布的影响,分析了动态环境下环锭纺细纱断裂强力的分布特征。首先设计拉伸实验对环锭纺细纱性能进行分析,并构建了环锭纺短纤纱本构模型表征其强伸性能。其次建立有限元仿真模型模拟短纤纱的断裂过程,揭示了纤维间载荷传播的规律和纱体结构演化的4个阶段模型。最后对纱线强力数据的统计特征进行分析,建立了其分布参数模型。结果表明,分布检验与威布尔分布相比,对数正态分布的拟合误差最小,残差平方和为0.0006,进一步提高了动态环境下环锭纺细纱强力预测的可靠性。 展开更多
关键词 环锭纺 细纱断裂强力 有限元仿真 分布参数模型 对数正态分布
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基于COMSOL Multiphysics的有限元仿真模拟在《理论声学》教学中的应用:缺陷态的分析 被引量:1
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作者 邓科 关珺珺 《科技创新与应用》 2016年第18期22-23,共2页
文章探讨了计算机仿真模拟在《理论声学》教学中的应用。以缺陷态的分析为例,基于COMSOL Multiphysics有限元软件的仿真模拟,我们提出了色散计算与本征模态分析相结合的教学模式。这种基于仿真模拟的教学模式有利于抽象概念的形象化,具... 文章探讨了计算机仿真模拟在《理论声学》教学中的应用。以缺陷态的分析为例,基于COMSOL Multiphysics有限元软件的仿真模拟,我们提出了色散计算与本征模态分析相结合的教学模式。这种基于仿真模拟的教学模式有利于抽象概念的形象化,具有较好的教学效果。 展开更多
关键词 计算机仿真教学 多物理有限元模拟 缺陷态
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基于混合有限元模型的航空发动机主轴承剥落故障仿真分析方法
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作者 吴英祥 尉询楷 +3 位作者 冯国全 赵紫豪 李伦绪 陈果 《航空发动机》 北大核心 2024年第3期79-86,共8页
高保真的整机实体有限元模型可以逼真地反映航空发动机整机振动特性,但是难以考虑复杂的滚动轴承故障动力学模型,且其计算量太大,不能胜任主轴承故障激励下的整机非线性动力学仿真。为了有效地进行发动机主轴承的故障诊断,开展了主轴承... 高保真的整机实体有限元模型可以逼真地反映航空发动机整机振动特性,但是难以考虑复杂的滚动轴承故障动力学模型,且其计算量太大,不能胜任主轴承故障激励下的整机非线性动力学仿真。为了有效地进行发动机主轴承的故障诊断,开展了主轴承剥落故障激励下的整机振动响应机理研究,提出了一种基于整机实体有限元模型和整机梁单元有限元模型的主轴承故障动力学混合仿真分析方法。利用整机梁单元模型仿真分析得到主轴承故障激励下与机匣相连接的主轴承支反力,在整机实体有限元模型中去除转子实体有限元模型,将支反力直接施加到各支承处的轴承座上,利用瞬态响应分析方法获取主轴承故障激励下的整机振动响应,并利用整机梁单元模型进行了方法验证。结果表明:利用混合有限元仿真方法获取了航空发动机主轴承故障激励下的仿真信号,误差均不超过1%,表明了所提出方法的正确有效性。 展开更多
关键词 主轴承 剥落故障 动力学仿真 有限元 航空发动机
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跨越既有线路钢箱梁顶推施工有限元仿真分析 被引量:3
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作者 曹嵩岭 《科技创新与应用》 2024年第2期75-78,共4页
崔家崖特大桥钢箱梁项目是当地一项重要的民生工程,该项目跨越既有中川铁路,与既有线中线交角为75°,施工具有一定的难度和危险性。为顺利地完成施工任务,采用顶推的方式进行钢箱梁的施工作业,并采用多种施工模拟软件对崔家崖特大... 崔家崖特大桥钢箱梁项目是当地一项重要的民生工程,该项目跨越既有中川铁路,与既有线中线交角为75°,施工具有一定的难度和危险性。为顺利地完成施工任务,采用顶推的方式进行钢箱梁的施工作业,并采用多种施工模拟软件对崔家崖特大桥钢箱梁项目进行施工仿真模拟分析,来保证结构的刚度、强度、稳定性。分析表明,在整个顶推施工过程中,钢箱梁最大组合应力为31.0 MPa<265 MPa,发生在钢箱梁支点处,导梁最大组合应力为62.7 MPa<250 MPa,发生在导梁的中间部位,钢箱梁挠度最大值21.8 mm、导梁挠度最大值48.0 mm,且都发生在导梁最大悬臂长度为33.3 m时,均小于L/400=83.2 mm,强度、刚度、稳定性均满足相关要求;钢箱梁局部受力分析,最大应力为137.5 MPa<265 MPa,发生在钢箱梁与垫梁接触位置的端部,满足相关规范要求;导梁局部受力分析,最大应力为176.5 MPa<265 MPa,发生在导梁与垫梁接触位置的端部,满足相关规范要求。 展开更多
关键词 桥梁 钢箱梁 有限元 仿真分析 顶推施工
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基于有限元仿真和光纤传感的隧道损伤监测
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作者 常天英 陈星 +1 位作者 于淼 崔洪亮 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第5期183-197,共15页
对苏州四号线支线红庄站至蠡墅站段地铁进行隧道结构开展静力场和动力场有限元仿真分析,并根据仿真结果和现场勘察结果,成功设计并布设了能够对隧道结构水平位移、裂缝、沉降、结构应力、结构表面应变、振动等信息进行实时监测的光纤传... 对苏州四号线支线红庄站至蠡墅站段地铁进行隧道结构开展静力场和动力场有限元仿真分析,并根据仿真结果和现场勘察结果,成功设计并布设了能够对隧道结构水平位移、裂缝、沉降、结构应力、结构表面应变、振动等信息进行实时监测的光纤传感网络,实现了对隧道结构健康状态的实时监测,然后利用光纤传感网络反过来验证有限元模型可靠性,从而得到更准确的有限元仿真模型。最后,结合两种技术,针对该地铁中三种主要断面建立了二维有限元模型,研究了三种断面在隧道结构有损伤基础和无损伤基础的两种情况下,受到地铁列车振动荷载影响产生的混凝土结构损伤分布规律,从而更好地为地铁安全运营提供技术保障。 展开更多
关键词 光纤传感技术 损伤分布规律 有限元仿真 振动荷载 有限元模型可靠性
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烟草薄片剪切断面形貌有限元仿真模拟优化
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作者 陈天元 夏军勇 +2 位作者 孙博 周宏娣 刘雄斌 《中国造纸》 CAS 北大核心 2024年第2期139-147,共9页
本研究对烟草薄片精密剪切过程进行了仿真研究,获得了材料力学性能和相互作用参数,为有限元仿真模拟提供了必要数据。建立了烟草薄片的力学模型,并构建了相应的有限元仿真模型。在仿真模拟过程中,重点分析了烟草薄片剪切断裂的形成过程... 本研究对烟草薄片精密剪切过程进行了仿真研究,获得了材料力学性能和相互作用参数,为有限元仿真模拟提供了必要数据。建立了烟草薄片的力学模型,并构建了相应的有限元仿真模型。在仿真模拟过程中,重点分析了烟草薄片剪切断裂的形成过程及静水应力随时间的变化趋势。采用有限元仿真模拟与实验测量相结合的方法,综合分析剪切间隙对烟草薄片断面质量的影响。结果表明,随着剪切纵向间隙的增加,烟草薄片的塌角高度逐渐增加,剪切带高度总体呈现减小趋势,而断裂带高度则呈现增加趋势。然而,当剪切间隙为0.15 mm时,由于上、下剪刃的重合,导致剪切带高度略微增加,断裂带高度略微减小。有限元仿真模拟结果与实测结果相吻合,验证了本研究的可靠性和准确性。 展开更多
关键词 烟草薄片 有限元仿真模拟 断面质量 剪切间隙
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驻极体电容传声器指向性的有限元仿真分析
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作者 刘帅 史东东 +3 位作者 吴昕 雷鸣 王辉 林贤 《电声技术》 2024年第7期112-117,共6页
建立驻极体电容传声器声学模型,添加电、力、声的耦合多物理场,并通过有限元仿真计算的方式,获取传声器灵敏度与声波入射方向的极坐标曲线图。通过改变驻极体传声器声学模型中阻抗材料的阻抗参数来仿真分析传声器指向性与阻抗材料阻抗... 建立驻极体电容传声器声学模型,添加电、力、声的耦合多物理场,并通过有限元仿真计算的方式,获取传声器灵敏度与声波入射方向的极坐标曲线图。通过改变驻极体传声器声学模型中阻抗材料的阻抗参数来仿真分析传声器指向性与阻抗材料阻抗参数的关系。将仿真结果与集中参数电路模型得出的指向性控制结论相比较,验证有限元仿真分析的正确性。 展开更多
关键词 电容麦克风 指向性控制 有限元分析(FEA) 多物理场耦合仿真
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有限元仿真优化布局解决金金键合局域化问题
20
作者 张丹青 韩易 +2 位作者 商庆杰 宋洁晶 杨志 《电子与封装》 2024年第4期8-13,共6页
晶圆金金键合技术在集成电路封装、微机电系统(MEMS)器件制造、CMOS图像传感器制作及LED制造等行业中被广泛应用。在MEMS环形器的制造过程中,由于金金键合的压力分布不均匀,导致其键合有效区域仅限于键合区域的边缘位置,即存在键合局域... 晶圆金金键合技术在集成电路封装、微机电系统(MEMS)器件制造、CMOS图像传感器制作及LED制造等行业中被广泛应用。在MEMS环形器的制造过程中,由于金金键合的压力分布不均匀,导致其键合有效区域仅限于键合区域的边缘位置,即存在键合局域化问题,因此器件的整体可靠性较差。结合有限元力学仿真和金金键合实验,优化了键合点的分布,确保键合压力分布更加均匀。将有效键合面积从20%提升到77%,单颗芯片的平均剪切力从41.5 N增大到80.3 N,有效提升了MEMS环形器的可靠性。 展开更多
关键词 封装技术 金金键合 MEMS环形器 有限元仿真
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