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HL-3装置Bolometer系统金属膜电阻探测器的研制
1
作者
何宗钰慧
高金明
+2 位作者
郝广周
梁绍勇
才来中
《核聚变与等离子体物理》
北大核心
2025年第1期13-18,共6页
为了满足HL-3托卡马克装置的辐射功率测量和二维辐射剖面反演的需求,设计了一套金属薄膜电阻式Bolometer系统及其探测器。介绍了系统视线的布局和探测器研制。探测器主要包含吸收薄膜、陶瓷底板、热敏电阻及不锈钢外壳。金属吸收薄膜采...
为了满足HL-3托卡马克装置的辐射功率测量和二维辐射剖面反演的需求,设计了一套金属薄膜电阻式Bolometer系统及其探测器。介绍了系统视线的布局和探测器研制。探测器主要包含吸收薄膜、陶瓷底板、热敏电阻及不锈钢外壳。金属吸收薄膜采用金、镍2种材料以匹配装置放电的不同参数。陶瓷底板利用磁控溅射工艺确保了其绝缘和导热性能,提高了探测器的时间分辨率。热敏电阻通过电桥结构相连,平抑了环境温度造成的误差。电阻丝通过光刻技术刻蚀在氮化硅基片上,提高了探测器的灵敏度和测量范围。陶瓷电路板和无磁不锈钢外壳具备耐高温耐烘烤的能力。每个探测器集成4个测量通道,空间占用率低,便于安装在HL-3装置真空室内。探测器电源和信号采用弹簧针接引,可靠性强。测试结果显示,探测器电阻阻值均匀,能随温度线性变化。本系统未来能够为HL-3装置等离子体辐射功率测量提供良好的技术手段。
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关键词
等离子体诊断
金属膜电阻探测器
bolometer
系统
在线阅读
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职称材料
高温超导Bolometer的原理性实验
被引量:
3
2
作者
黄宗坦
苏培超
+1 位作者
曾光丽
薛南屏
《红外技术》
CSCD
1989年第3期19-21,共3页
简要介绍了用固态反应法制备出高温超导体材料。材料经切磨减薄并压焊引线后制成超导测辐射热计(Bolometer)实验芯片,芯片安装在带窗口的低温恒温器中,在材料中点转变温度128K附近观测到了明显的辐照热敏效应,直流灵敏度约1V/W。
关键词
超导
bolometer
芯片
红外探测器
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职称材料
非制冷红外探测器研究进展(特邀)
被引量:
15
3
作者
余黎静
唐利斌
+1 位作者
杨文运
郝群
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2021年第1期63-77,共15页
非制冷红外探测器由于无需制冷装置,能够工作在室温状态下,具有成本低、体积小、功耗低等特点,在红外领域得到了广泛的应用。在军事应用方面,非制冷型探测器的应用逐渐进入了之前制冷型探测器的应用范围,大量应用在一些低成本的武器系统...
非制冷红外探测器由于无需制冷装置,能够工作在室温状态下,具有成本低、体积小、功耗低等特点,在红外领域得到了广泛的应用。在军事应用方面,非制冷型探测器的应用逐渐进入了之前制冷型探测器的应用范围,大量应用在一些低成本的武器系统,甚至在一些应用领域取代了原来的非制冷型探测器。在民用领域方面,更表现出了其价格和使用方便的优势,在民用车载夜视、安防监控等应用领域引起了广泛的兴趣和关注。文中介绍了Bolometer、热释电、热电堆等几种典型非制冷红外探测器的工作原理,列举了目前已实现商业化应用的主要产品在国内外的情况,着重介绍了目前应用最广泛的Bolometer器件主流产品的像元间距、阵列规格、性能及其封装发展的情况。除了已实现商业化应用的Bolometer、热释电、SOI二极管等探测器等产品,还详细介绍了一些非制冷探测新技术或新型器件:比如超表面在增强某些波段吸收方面的应用,新材料的Bolometer探测器、双材料新型非制冷器件、石墨烯、量子点、纳米线等光电探测技术的研究进展。最后文章还对今后非制冷红外探测器的发展趋势作了预测。
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关键词
非制冷
红外探测器
热释电
bolometer
封装
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职称材料
题名
HL-3装置Bolometer系统金属膜电阻探测器的研制
1
作者
何宗钰慧
高金明
郝广周
梁绍勇
才来中
机构
核工业西南物理研究院
出处
《核聚变与等离子体物理》
北大核心
2025年第1期13-18,共6页
基金
国家重点研发计划(2018YFE0303101)。
文摘
为了满足HL-3托卡马克装置的辐射功率测量和二维辐射剖面反演的需求,设计了一套金属薄膜电阻式Bolometer系统及其探测器。介绍了系统视线的布局和探测器研制。探测器主要包含吸收薄膜、陶瓷底板、热敏电阻及不锈钢外壳。金属吸收薄膜采用金、镍2种材料以匹配装置放电的不同参数。陶瓷底板利用磁控溅射工艺确保了其绝缘和导热性能,提高了探测器的时间分辨率。热敏电阻通过电桥结构相连,平抑了环境温度造成的误差。电阻丝通过光刻技术刻蚀在氮化硅基片上,提高了探测器的灵敏度和测量范围。陶瓷电路板和无磁不锈钢外壳具备耐高温耐烘烤的能力。每个探测器集成4个测量通道,空间占用率低,便于安装在HL-3装置真空室内。探测器电源和信号采用弹簧针接引,可靠性强。测试结果显示,探测器电阻阻值均匀,能随温度线性变化。本系统未来能够为HL-3装置等离子体辐射功率测量提供良好的技术手段。
关键词
等离子体诊断
金属膜电阻探测器
bolometer
系统
Keywords
Plasma diagnostics
Metal film resistance detector
bolometer system
分类号
O536 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
高温超导Bolometer的原理性实验
被引量:
3
2
作者
黄宗坦
苏培超
曾光丽
薛南屏
机构
昆明物理研究所
出处
《红外技术》
CSCD
1989年第3期19-21,共3页
文摘
简要介绍了用固态反应法制备出高温超导体材料。材料经切磨减薄并压焊引线后制成超导测辐射热计(Bolometer)实验芯片,芯片安装在带窗口的低温恒温器中,在材料中点转变温度128K附近观测到了明显的辐照热敏效应,直流灵敏度约1V/W。
关键词
超导
bolometer
芯片
红外探测器
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
非制冷红外探测器研究进展(特邀)
被引量:
15
3
作者
余黎静
唐利斌
杨文运
郝群
机构
北京理工大学光电学院信息光子技术工信部重点实验室
昆明物理研究所
云南省先进光电材料与器件重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2021年第1期63-77,共15页
基金
国家重点研发计划(2019YFB2203404)
云南省创新团队(2018HC020)。
文摘
非制冷红外探测器由于无需制冷装置,能够工作在室温状态下,具有成本低、体积小、功耗低等特点,在红外领域得到了广泛的应用。在军事应用方面,非制冷型探测器的应用逐渐进入了之前制冷型探测器的应用范围,大量应用在一些低成本的武器系统,甚至在一些应用领域取代了原来的非制冷型探测器。在民用领域方面,更表现出了其价格和使用方便的优势,在民用车载夜视、安防监控等应用领域引起了广泛的兴趣和关注。文中介绍了Bolometer、热释电、热电堆等几种典型非制冷红外探测器的工作原理,列举了目前已实现商业化应用的主要产品在国内外的情况,着重介绍了目前应用最广泛的Bolometer器件主流产品的像元间距、阵列规格、性能及其封装发展的情况。除了已实现商业化应用的Bolometer、热释电、SOI二极管等探测器等产品,还详细介绍了一些非制冷探测新技术或新型器件:比如超表面在增强某些波段吸收方面的应用,新材料的Bolometer探测器、双材料新型非制冷器件、石墨烯、量子点、纳米线等光电探测技术的研究进展。最后文章还对今后非制冷红外探测器的发展趋势作了预测。
关键词
非制冷
红外探测器
热释电
bolometer
封装
Keywords
uncooled
infrared detector
pyroelectric
bolometer
package
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
HL-3装置Bolometer系统金属膜电阻探测器的研制
何宗钰慧
高金明
郝广周
梁绍勇
才来中
《核聚变与等离子体物理》
北大核心
2025
0
在线阅读
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职称材料
2
高温超导Bolometer的原理性实验
黄宗坦
苏培超
曾光丽
薛南屏
《红外技术》
CSCD
1989
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
非制冷红外探测器研究进展(特邀)
余黎静
唐利斌
杨文运
郝群
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2021
15
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职称材料
已选择
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