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Si_3N_4/SiO_2复合栅介质电离辐照的电子能谱分析
被引量：
1
1
作者
范隆
郝跃
+1 位作者
严荣良
陆妩
《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期302-305,共4页
采用氩离子刻蚀X光激发电子能谱分析方法对Si3N4/SiO2/Si复合栅介质系统进行电离辐照剖析.实验结果表明存在一个由Si3N4和SiO2构成的界面区及由SiO2和Si构成的界面区,电离辐照能将SiO2/Si界面区中心向Si3N4/SiO2界面方向推移,同时SiO2/S...
采用氩离子刻蚀X光激发电子能谱分析方法对Si3N4/SiO2/Si复合栅介质系统进行电离辐照剖析.实验结果表明存在一个由Si3N4和SiO2构成的界面区及由SiO2和Si构成的界面区,电离辐照能将SiO2/Si界面区中心向Si3N4/SiO2界面方向推移,同时SiO2/Si界面区亦被电离辐照展宽;电离辐照相当程度地减少位于SiO2/Si界面至Si衬底之间Si过渡态的浓度.在同样偏置电场中辐照,随着辐照剂量的增加SiO2/Si界面区中Si过渡态键的断开量也增加,同时辐照中所施偏置电场对SiO2/Si界面区Si过渡态键断开有显著作用.并对实验现象进行了机制分析.
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关键词
Si3
n
4/SiO2
复合
栅
介质
电离辐照
X光激发电子能谱
氢离子刻蚀
Si过渡态
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职称材料
一溴三氟丙烯-氮气复合灭火介质灭火性能研究
被引量：
4
2
作者
周彪
周晓猛
+1 位作者
赵智
张永丰
《安全与环境学报》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第3期162-166,共5页
考察了一溴三氟丙烯(简称BTP)与氮气(N_2)复合灭火介质的灭火性能。基于多组分分压原理论述了预混技术的可行性和喷头初始压力对复合灭火介质灭火性能的影响,然后通过协同作用理论模型研究了一溴三氟丙烯与氮气复合灭火介质的协同作用...
考察了一溴三氟丙烯(简称BTP)与氮气(N_2)复合灭火介质的灭火性能。基于多组分分压原理论述了预混技术的可行性和喷头初始压力对复合灭火介质灭火性能的影响,然后通过协同作用理论模型研究了一溴三氟丙烯与氮气复合灭火介质的协同作用。通过临界灭火试验平台研究了不同比例BTP-N_2复合灭火介质的灭火临界条件,通过喷头释放压力对复合灭火介质影响试验平台分析喷头压力对同比例复合灭火介质灭火性能的影响规律。结果表明,BTP-N_2复合灭火介质的灭火过程中存在协同效应;同比例下的BTP-N_2复合灭火介质,喷头压力与释放量及灭火时间呈负相关性。
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关键词
安全学
btp—n2复合灭火介质
协同作用预测模型
临界
灭火
浓度
惰性气体
喷头释放压力
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职称材料
肖特基势垒二极管SiO_2-Si_3N_4复合钝化膜研究
被引量：
1
3
作者
石霞
孙俊峰
顾晓春
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期344-348,共5页
对Si肖特基势垒二极管的钝化技术进行了研究。研究了不同淀积温度、气体流量、射频功率以及气体压力等工艺技术条件下,淀积PECVD SiO_2和LPCVD Si_3N_4膜的介电强度E、介电常数ε_r、耐压V、针孔密度、漏电流I、内应力σ、片间均匀性以...
对Si肖特基势垒二极管的钝化技术进行了研究。研究了不同淀积温度、气体流量、射频功率以及气体压力等工艺技术条件下,淀积PECVD SiO_2和LPCVD Si_3N_4膜的介电强度E、介电常数ε_r、耐压V、针孔密度、漏电流I、内应力σ、片间均匀性以及片内均匀性等性能。研究了PECVD SiO_2膜的增密技术。提出了一种应力小、漏电流小且抗辐照能力较好的PECVD SiO_2/LPCVD Si_3N_4复合介质膜钝化工艺方法和技术条件,提高了肖特基势垒二极管的性能。
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关键词
SiO2-Si3
n
4
复合
介质
膜
钝化技术
漏电流
应力
增密
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职称材料
题名
Si_3N_4/SiO_2复合栅介质电离辐照的电子能谱分析
被引量：
1
1
作者
范隆
郝跃
严荣良
陆妩
机构
西安电子科技大学微电子所
中国科学院新疆物理研究所
出处
《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期302-305,共4页
基金
国家部委预研基金资助项目(98J11 2 12 ZK0801)
文摘
采用氩离子刻蚀X光激发电子能谱分析方法对Si3N4/SiO2/Si复合栅介质系统进行电离辐照剖析.实验结果表明存在一个由Si3N4和SiO2构成的界面区及由SiO2和Si构成的界面区,电离辐照能将SiO2/Si界面区中心向Si3N4/SiO2界面方向推移,同时SiO2/Si界面区亦被电离辐照展宽;电离辐照相当程度地减少位于SiO2/Si界面至Si衬底之间Si过渡态的浓度.在同样偏置电场中辐照,随着辐照剂量的增加SiO2/Si界面区中Si过渡态键的断开量也增加,同时辐照中所施偏置电场对SiO2/Si界面区Si过渡态键断开有显著作用.并对实验现象进行了机制分析.
关键词
Si3
n
4/SiO2
复合
栅
介质
电离辐照
X光激发电子能谱
氢离子刻蚀
Si过渡态
Keywords
Electric properties
Electro
n
irradiatio
n
MOS devices
Silico
n
n
itride
X ray photoelectro
n
spectroscopy
分类号
TN432 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN406 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
一溴三氟丙烯-氮气复合灭火介质灭火性能研究
被引量：
4
2
作者
周彪
周晓猛
赵智
张永丰
机构
南开大学环境科学与工程学院
武汉科技大学资源与环境工程学院
中国科学技术大学火灾科学国家重点实验室
出处
《安全与环境学报》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第3期162-166,共5页
基金
国家自然科学基金项目(50706018)
文摘
考察了一溴三氟丙烯(简称BTP)与氮气(N_2)复合灭火介质的灭火性能。基于多组分分压原理论述了预混技术的可行性和喷头初始压力对复合灭火介质灭火性能的影响,然后通过协同作用理论模型研究了一溴三氟丙烯与氮气复合灭火介质的协同作用。通过临界灭火试验平台研究了不同比例BTP-N_2复合灭火介质的灭火临界条件,通过喷头释放压力对复合灭火介质影响试验平台分析喷头压力对同比例复合灭火介质灭火性能的影响规律。结果表明,BTP-N_2复合灭火介质的灭火过程中存在协同效应;同比例下的BTP-N_2复合灭火介质,喷头压力与释放量及灭火时间呈负相关性。
关键词
安全学
btp—n2复合灭火介质
协同作用预测模型
临界
灭火
浓度
惰性气体
喷头释放压力
Keywords
safety scie
n
ce
bi
n
ary ble
n
ded age
n
ts of 1-bromo-3,3,3-trifluoroprope
n
e a
n
d
n
itroge
n
sy
n
ergies predictio
n
theory model
fire-exti
n
guishi
n
g co
n
ce
n
tratio
n
sy
n
ergies
n
ozzle releasi
n
g pressure
分类号
TQ569 [化学工程—炸药化工]
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职称材料
题名
肖特基势垒二极管SiO_2-Si_3N_4复合钝化膜研究
被引量：
1
3
作者
石霞
孙俊峰
顾晓春
机构
南京电子器件研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期344-348,共5页
文摘
对Si肖特基势垒二极管的钝化技术进行了研究。研究了不同淀积温度、气体流量、射频功率以及气体压力等工艺技术条件下,淀积PECVD SiO_2和LPCVD Si_3N_4膜的介电强度E、介电常数ε_r、耐压V、针孔密度、漏电流I、内应力σ、片间均匀性以及片内均匀性等性能。研究了PECVD SiO_2膜的增密技术。提出了一种应力小、漏电流小且抗辐照能力较好的PECVD SiO_2/LPCVD Si_3N_4复合介质膜钝化工艺方法和技术条件,提高了肖特基势垒二极管的性能。
关键词
SiO2-Si3
n
4
复合
介质
膜
钝化技术
漏电流
应力
增密
Keywords
SiO
2
-Si3
n
4 composite films
passivatio
n
tech
n
ique
curre
n
t leakage
stress
de
n
sity i
n
crease
分类号
TN31 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Si_3N_4/SiO_2复合栅介质电离辐照的电子能谱分析
范隆
郝跃
严荣良
陆妩
《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
1
在线阅读
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职称材料
2
一溴三氟丙烯-氮气复合灭火介质灭火性能研究
周彪
周晓猛
赵智
张永丰
《安全与环境学报》
CAS
CSCD
北大核心
2010
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
肖特基势垒二极管SiO_2-Si_3N_4复合钝化膜研究
石霞
孙俊峰
顾晓春
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
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职称材料
已选择
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