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亚波长超微细减反射结构研究
被引量：
1
1
作者
杨李茗
柴立群
+1 位作者
周礼书
杨春林
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第0Z2期87-92,共6页
当光栅周期小于所使用的波长时，亚微米的表面微结构可以具有减反射作用。西方报导率了理论研究和制作技术，成功地制作了周期为400nm等的超微细结构，测量结果与理论值具有良好的一致性。
关键词
超微细结构
减反射
亚波长
bkk矢量分析法
光栅
零级反向衍射
超微加工技术
刻蚀
衍射光学
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
亚波长超微细减反射结构研究
被引量：
1
1
作者
杨李茗
柴立群
周礼书
杨春林
机构
成都精密光学工程研究中心
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第0Z2期87-92,共6页
文摘
当光栅周期小于所使用的波长时，亚微米的表面微结构可以具有减反射作用。西方报导率了理论研究和制作技术，成功地制作了周期为400nm等的超微细结构，测量结果与理论值具有良好的一致性。
关键词
超微细结构
减反射
亚波长
bkk矢量分析法
光栅
零级反向衍射
超微加工技术
刻蚀
衍射光学
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
亚波长超微细减反射结构研究
杨李茗
柴立群
周礼书
杨春林
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
1
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