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Au/BIT/PZT/BIT/p-Si(100)存储器
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作者 李兴教 王宁章 +6 位作者 鲍军波 宁广蓉 陈涛 徐静平 陈振贤 邹雪城 LI Shao-ping 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期440-444,共5页
利用准分子激光原位淀积方法制备了BIT/PZT/BIT,PZT/BIT和BIT层状铁电薄膜,获得了电流密度-电压(I-V)回线和极化强度P-V电滞回线。在这三种结构中,Au/BIT/PZT/BIT/p-Si(100)结构的界面电位降、内建电压及频率效应是最小的。在电压转变... 利用准分子激光原位淀积方法制备了BIT/PZT/BIT,PZT/BIT和BIT层状铁电薄膜,获得了电流密度-电压(I-V)回线和极化强度P-V电滞回线。在这三种结构中,Au/BIT/PZT/BIT/p-Si(100)结构的界面电位降、内建电压及频率效应是最小的。在电压转变电VT、饱和极化强度PS及矫顽场VC之间有三种关系,他们与I-V回线及P-V回线的关系相匹配,这种匹配关系使得以I-V回线操作的存储器将能够非挥发和非破坏读出及具有保持力。 展开更多
关键词 Au/bit/pzt/bit/p-Si(100) 存储器 铁电薄膜 电位降 内建电压 金属/铁电薄膜/半导体 结构
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高度(100)取向PLT/PZT多层铁电薄膜的制备与性能研究 被引量:1
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作者 吴家刚 朱基亮 +3 位作者 肖定全 朱建国 谭浚哲 张青磊 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A02期779-781,共3页
利用射频磁控溅射技术,以PbOx为过渡层,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上,采用原位溅射技术制备了高度(100)取向的[(Pb0.90La0.10)Ti0.975O3/Pb(Zr0.20Ti0.80)O3]n(n=1,2){筒记为[PLT/PZT]。)多层铁电薄膜,研究了层... 利用射频磁控溅射技术,以PbOx为过渡层,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上,采用原位溅射技术制备了高度(100)取向的[(Pb0.90La0.10)Ti0.975O3/Pb(Zr0.20Ti0.80)O3]n(n=1,2){筒记为[PLT/PZT]。)多层铁电薄膜,研究了层数对多层铁电薄膜介电性能和铁电性能的影响。研究得出,(100)取向的PbOx,过渡层导致了[PLT/PZT]。多层铁电薄膜的(100)择优取向;高度(100)择优取向的[PLT/PZT]2薄膜具有更大的剩余极(2Pr=31.45μC/cm)和更好的“蝴蝶”状C-V曲线。这些研究结果表明,所制备的(100)取向的[PLT/PZT]2多层铁电薄膜具有优良的铁电性能。 展开更多
关键词 PLT/pzt 多层铁电薄膜 磁控溅射 (100)取向 电学性质
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准分子激光制备多层铁电薄膜的C-V特性研究 被引量:3
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作者 李兴教 赵建洪 +2 位作者 安承武 李再光 李少平 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1997年第2期112-115,138,共5页
采用脉冲准分子激光工艺,在p型Si(100)单晶基片上,成功地淀积了BIT、PZT/BIT和BIT/PZT/BIT等多层结构的铁电薄膜;采用低频阻抗分析仪,分析了它们的C-V特性曲线的记忆窗口,讨论了记忆窗口与频率的关系,记忆窗口与多层结构的关系。结果表... 采用脉冲准分子激光工艺,在p型Si(100)单晶基片上,成功地淀积了BIT、PZT/BIT和BIT/PZT/BIT等多层结构的铁电薄膜;采用低频阻抗分析仪,分析了它们的C-V特性曲线的记忆窗口,讨论了记忆窗口与频率的关系,记忆窗口与多层结构的关系。结果表明,三层结构铁电薄膜的C-V特性的记忆窗口优于双层和单层结构的铁电薄膜。 展开更多
关键词 bit pzt bit 铁电薄膜 记忆特性 C-V特性
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多层结构铁电薄膜的I-V特性性能的研究 被引量:2
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作者 李兴教 黄新堂 +5 位作者 赵建洪 郑远开 董晓敏 李再光 王新兵 李少平 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1997年第6期398-404,共7页
为FRAM、FFET和FDM的实际应用研究,提出了多层结构铁电薄膜的设计思想,实际制备了M/BIT/p-Si、M/PZT/BIT/p-Si、M/BIT/PZT/BIT/p-Si三种结构铁电薄膜,并测量了它们的I-V特... 为FRAM、FFET和FDM的实际应用研究,提出了多层结构铁电薄膜的设计思想,实际制备了M/BIT/p-Si、M/PZT/BIT/p-Si、M/BIT/PZT/BIT/p-Si三种结构铁电薄膜,并测量了它们的I-V特性曲线。结果表明,夹层结构铁电薄膜M/BIT/PZT/BIT/p-Si漏电流密度J最小,在500nm厚时J+(+3V)约2.8×10-10A/mm2,J-(-3V)约1.2×10-12A/mm2优于单层和双层结构铁电薄膜的结果。 展开更多
关键词 多层铁电薄膜 PLD方法 I-V特性曲线 铁电体
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激光制备多层铁电薄膜的C-V保持特性研究 被引量:1
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作者 李兴教 赵建洪 +2 位作者 安承武 李再光 李少平 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1997年第3期192-195,共4页
采用脉冲准分子激光工艺在Si(100)单晶基片上,成功地淀积了BIT、PZT/BIT和BIT/PZT/BIT等多层结构的铁电薄膜。通过测量金属/BIT/PZT/BIT/Si多层结构的非回线型C-V特性曲线、电容与保持... 采用脉冲准分子激光工艺在Si(100)单晶基片上,成功地淀积了BIT、PZT/BIT和BIT/PZT/BIT等多层结构的铁电薄膜。通过测量金属/BIT/PZT/BIT/Si多层结构的非回线型C-V特性曲线、电容与保持时间的关系,发现三层BIT/PZT/BIT薄膜具有很好的电容保持特性。 展开更多
关键词 多层铁电薄膜 电容保持特性 PLD方法 激光技术
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钛酸铋基铁电薄膜研究进展 被引量:1
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作者 张端明 杨斌 +9 位作者 魏念 李智华 郑朝丹 吴云翼 郭冬云 王龙海 杨卫明 王耘波 高俊雄 于军 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期351-354,357,共5页
钛酸铋基铁电薄膜具有优良的铁电、介电性能,在非挥发性存储器件方面有很好的应用前景。本文分别从制备工艺、掺杂改性、疲劳特性的研究等方面综述了最新的研究进展,并对当前研究中存在的问题进行了讨论。
关键词 钛酸铋 铁电薄膜 制备工艺 掺杂改性 疲劳
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