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GGNMOS叉指宽度与金属布线对ESD防护性能的影响
被引量:
1
1
作者
梁海莲
董树荣
+2 位作者
顾晓峰
李明亮
韩雁
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期194-198,共5页
栅接地NMOS(GGNMOS)器件具有与CMOS工艺兼容的制造优势,广泛用于静电放电(ESD)保护。鉴于目前GGNMOS的叉指宽度、叉指数及金属布线方式等外部因素对ESD鲁棒性的影响研究较少,设计了不同的实验对此开展对比分析。首先,基于0.5μm Bipolar...
栅接地NMOS(GGNMOS)器件具有与CMOS工艺兼容的制造优势,广泛用于静电放电(ESD)保护。鉴于目前GGNMOS的叉指宽度、叉指数及金属布线方式等外部因素对ESD鲁棒性的影响研究较少,设计了不同的实验对此开展对比分析。首先,基于0.5μm Bipolar-CMOS-DMOS(BCD)工艺设计并制备了一系列GGNMOS待测器件;其次,通过传输线脉冲测试,分析了叉指宽度与叉指数对GGNMOS器件ESD失效电流(It2)的影响,结果表明,在固定总宽度下适当减小叉指宽度有利于提高It2;最后,比较了平行式与交错式两种金属布线方案对It2的影响,结果表明,平行式金属布线下GGNMOS器件的ESD鲁棒性更好。
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关键词
栅接地N型
金属
氧化物
半导体
场效应晶体管
静电放电
双
极
型
-
互补
型
金属
氧化物
半导体
-
双
扩散
金属
氧化物
半导体
工艺
叉指
金属
布线
失效电流
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职称材料
一种PDP扫描驱动芯片的HV-PMOS的研究和实现
2
作者
韩成功
郭清
+3 位作者
韩雁
张斌
张世峰
胡佳贤
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第3期436-440,共5页
对一种适用于106.68cm PDP扫描驱动IC的HV-PMOS器件进行了分析研究。通过使用TCAD软件对HV-PMOS进行了综合仿真,得到了器件性能最优时的结构参数及工艺参数。HV-PMOS器件及整体扫描驱动IC在杭州士兰集成电路公司完成流片。PCM(Process c...
对一种适用于106.68cm PDP扫描驱动IC的HV-PMOS器件进行了分析研究。通过使用TCAD软件对HV-PMOS进行了综合仿真,得到了器件性能最优时的结构参数及工艺参数。HV-PMOS器件及整体扫描驱动IC在杭州士兰集成电路公司完成流片。PCM(Process control module)片上的HV-PMOS击穿电压达到了185V,阈值为6.5V。整体扫描驱动芯片的击穿电压达到了180V,满足了设计要求。
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关键词
高压P沟道
金属
氧化物
场效应晶体管
半导体
工艺及器件模拟工具
等离子扫描驱动芯片
双
极
-
互补
金属
氧化物
场效应晶体管
-
双
扩散
金属
氧化物
场效应晶体管工艺
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职称材料
基于全集成自提取结终端隔离BCD新工艺的场致发光高压驱动芯片
被引量:
1
3
作者
黄伟
胡南中
+1 位作者
李海鸥
于宗光
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期1858-1862,共5页
本文提出可集成自提取结终端的0135Lm 150V-BCD(双极-互补金属氧化物半导体-双重扩散金属氧化物半导体)全套新型高压工艺.利用此工艺研制出100V场致发光用高低侧驱动芯片,并提出了基于双极器件BC(双极集电极)结短路自提取结终端新工艺...
本文提出可集成自提取结终端的0135Lm 150V-BCD(双极-互补金属氧化物半导体-双重扩散金属氧化物半导体)全套新型高压工艺.利用此工艺研制出100V场致发光用高低侧驱动芯片,并提出了基于双极器件BC(双极集电极)结短路自提取结终端新工艺与新结构,既可满足场致发光高压驱动芯片应用,又能取代传统采用氧化扩散工艺的P-ISO(P型隔离结构)传统隔离结构,显著简化了工艺和提高了芯片的高集成度,确保片内集成的低电阻率VDNMOS/LDPMOS(N型垂直双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管/P型横向扩散金属氧化物半导体场效应晶体管)高压驱动模块与低压逻辑控制模块在100V高压脉冲交替工作状况下无负电位、EMMI(微光显微镜)等寄生现象出现.
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关键词
bcd
(
双
极
-
互补
金属
氧化物
半导体
-
双重
扩散
金属
氧化物
半导体
)
场致发光
自提取结终端
高低
侧全桥驱动
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职称材料
三种低压高速低耗BiCMOS三态逻辑门
被引量:
5
4
作者
成立
王振宇
+1 位作者
张兵
武小红
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期166-170,共5页
采用0.35μm BiCMOS工艺技术,设计了三种高性能的BiCMOS三态逻辑门电路,并提出了改进三态门电路结构和优化器件参数的方法和措施。仿真和实验结果表明.所优化设计的BiCMOS三态门的电源电压均小于3.3V,工作速度比常用的CMOS三态门快...
采用0.35μm BiCMOS工艺技术,设计了三种高性能的BiCMOS三态逻辑门电路,并提出了改进三态门电路结构和优化器件参数的方法和措施。仿真和实验结果表明.所优化设计的BiCMOS三态门的电源电压均小于3.3V,工作速度比常用的CMOS三态门快约5倍。功耗在60MHz下仅高出约2.2~3.7mW.而延迟一功耗积却比该常用的CMOS三态门平均降低了38.1%,因此它们特别适用于低压、高速、低功耗的数字系统。
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关键词
超大规模集成电路
双
极
互补
金属
氧化物
半导体
器件
三态逻辑门电路
数字逻辑单元
延迟
-
功耗积
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职称材料
一种抗辐射高压MOSFET驱动器的设计
被引量:
5
5
作者
王鹏
徐青
+1 位作者
杭丽
付晓君
《太赫兹科学与电子信息学报》
2016年第6期-,共5页
在航天和核物理技术中对抗辐射高压功率电路的需求也越来越强烈。介绍了一种抗辐射高压金属氧化物半导体场效应管(MOSFET)驱动器的设计,该电路基于0.5μm双极-互补金属氧化物半导体-双重扩散金属氧化物半导体(BCD)工艺研制,采用特殊的...
在航天和核物理技术中对抗辐射高压功率电路的需求也越来越强烈。介绍了一种抗辐射高压金属氧化物半导体场效应管(MOSFET)驱动器的设计,该电路基于0.5μm双极-互补金属氧化物半导体-双重扩散金属氧化物半导体(BCD)工艺研制,采用特殊的线路结构,并通过版图设计对闩锁效应、场区和电参数进行抗辐射加固,抗总剂量辐射效应可达到300 krad(Si)。同时,该电路工作电压可达40 V,兼容逻辑门电路(TTL)/互补金属氧化物半导体(CMOS)输入,输出峰值电流1.5 A,可广泛用于航天、核物理实验装备等功率驱动部位。
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关键词
抗辐射加固
金属
氧化物
半导体
场效应管驱动器
高压集成电路(IC)
双
极
-
互补
金属
氧化物
半导体
-
双重
扩散
金属
氧化物
半导体
工艺
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职称材料
应用于802.11ac的SiGe BiCMOS低噪声放大器
被引量:
2
6
作者
魏启迪
林俊明
+1 位作者
章国豪
陈亮
《电子技术应用》
2018年第7期42-45,51,共5页
基于IBM 0.36μm SiGe BiCMOS工艺设计应用于802.11ac的全集低噪声放大器,工作频段为5~6 GHz,且带有旁路功能。低噪声放大器的主体电路采用单端发射极电感负反馈结构。模拟结果显示,在工作电压为5 V的情况下,当低噪声放大器工作时,HBT...
基于IBM 0.36μm SiGe BiCMOS工艺设计应用于802.11ac的全集低噪声放大器,工作频段为5~6 GHz,且带有旁路功能。低噪声放大器的主体电路采用单端发射极电感负反馈结构。模拟结果显示,在工作电压为5 V的情况下,当低噪声放大器工作时,HBT低噪声放大器工作稳定,常温下,整体的噪声系数为2.2 dB@5.5 GHz,小信号增益为13.3 dB,旁路噪声系数为7.2 dB@5.5 GHz,插入损耗为6.8 dB。当输入总功率为0 dBm的双音信号(-3 dBm/tone)时,输入三阶交调点约为10.2 dBm。
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关键词
低噪声放大器
802.11ac
锗化硅
双
极
-
互补
金属
氧化物
半导体
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职称材料
SiGe BiCMOS工艺中HBT的关键制造工艺研究
7
作者
肖胜安
刘鹏
+3 位作者
季伟
王雷
陈帆
钱文生
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期346-350,385,共6页
研究了0.18μm SiGe BiCMOS中的核心器件SiGe HBT的关键制造工艺,包括集电极的形成、SiGe基区的淀积、发射极窗口的形成、发射极多晶的淀积、深孔刻蚀等,指出了这些制造工艺的难点和问题,提出了解决办法,并报导了解决相关难题的实验结果。
关键词
锗硅
双
极
-
互补
金属
氧化物
半导体
锗硅异质结
双
极
晶体管
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职称材料
题名
GGNMOS叉指宽度与金属布线对ESD防护性能的影响
被引量:
1
1
作者
梁海莲
董树荣
顾晓峰
李明亮
韩雁
机构
轻工过程先进控制教育部重点实验室
浙江大学微电子与光电子研究所
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期194-198,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(11074280
61171038
+3 种基金
61150110485)
江苏高校优势学科建设工程资助项目(PAPD)
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(JUDCF12027
JUDCF12032)
文摘
栅接地NMOS(GGNMOS)器件具有与CMOS工艺兼容的制造优势,广泛用于静电放电(ESD)保护。鉴于目前GGNMOS的叉指宽度、叉指数及金属布线方式等外部因素对ESD鲁棒性的影响研究较少,设计了不同的实验对此开展对比分析。首先,基于0.5μm Bipolar-CMOS-DMOS(BCD)工艺设计并制备了一系列GGNMOS待测器件;其次,通过传输线脉冲测试,分析了叉指宽度与叉指数对GGNMOS器件ESD失效电流(It2)的影响,结果表明,在固定总宽度下适当减小叉指宽度有利于提高It2;最后,比较了平行式与交错式两种金属布线方案对It2的影响,结果表明,平行式金属布线下GGNMOS器件的ESD鲁棒性更好。
关键词
栅接地N型
金属
氧化物
半导体
场效应晶体管
静电放电
双
极
型
-
互补
型
金属
氧化物
半导体
-
双
扩散
金属
氧化物
半导体
工艺
叉指
金属
布线
失效电流
Keywords
GGNMOS
ESD
BeD process
finger
metal routing
failure current
分类号
TN306 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
一种PDP扫描驱动芯片的HV-PMOS的研究和实现
2
作者
韩成功
郭清
韩雁
张斌
张世峰
胡佳贤
机构
浙江大学微电子与光电子研究所
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第3期436-440,共5页
基金
浙江省科技计划资助项目(2004C31094)
文摘
对一种适用于106.68cm PDP扫描驱动IC的HV-PMOS器件进行了分析研究。通过使用TCAD软件对HV-PMOS进行了综合仿真,得到了器件性能最优时的结构参数及工艺参数。HV-PMOS器件及整体扫描驱动IC在杭州士兰集成电路公司完成流片。PCM(Process control module)片上的HV-PMOS击穿电压达到了185V,阈值为6.5V。整体扫描驱动芯片的击穿电压达到了180V,满足了设计要求。
关键词
高压P沟道
金属
氧化物
场效应晶体管
半导体
工艺及器件模拟工具
等离子扫描驱动芯片
双
极
-
互补
金属
氧化物
场效应晶体管
-
双
扩散
金属
氧化物
场效应晶体管工艺
Keywords
HV
-
PMOS
TCAD
PDP scan driver IC
bcd
process
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
基于全集成自提取结终端隔离BCD新工艺的场致发光高压驱动芯片
被引量:
1
3
作者
黄伟
胡南中
李海鸥
于宗光
机构
中国电子科技集团公司第五十八研究所
桂林电子科技大学信息与通信学院
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期1858-1862,共5页
基金
国家自然科学基金(No.61274077)
江苏省自然科学基金(No.BK2011173
No.BK20120094)
文摘
本文提出可集成自提取结终端的0135Lm 150V-BCD(双极-互补金属氧化物半导体-双重扩散金属氧化物半导体)全套新型高压工艺.利用此工艺研制出100V场致发光用高低侧驱动芯片,并提出了基于双极器件BC(双极集电极)结短路自提取结终端新工艺与新结构,既可满足场致发光高压驱动芯片应用,又能取代传统采用氧化扩散工艺的P-ISO(P型隔离结构)传统隔离结构,显著简化了工艺和提高了芯片的高集成度,确保片内集成的低电阻率VDNMOS/LDPMOS(N型垂直双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管/P型横向扩散金属氧化物半导体场效应晶体管)高压驱动模块与低压逻辑控制模块在100V高压脉冲交替工作状况下无负电位、EMMI(微光显微镜)等寄生现象出现.
关键词
bcd
(
双
极
-
互补
金属
氧化物
半导体
-
双重
扩散
金属
氧化物
半导体
)
场致发光
自提取结终端
高低
侧全桥驱动
Keywords
bipolar
-
CMOS
-
DMOS(
bcd
)
electroluminescent lamps(EL)
self
-
extracted JTE french(SEJTET)
full
-
bridge
分类号
TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
三种低压高速低耗BiCMOS三态逻辑门
被引量:
5
4
作者
成立
王振宇
张兵
武小红
机构
江苏大学电气与信息工程学院
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期166-170,共5页
基金
江苏省高校自然科学研究基金项目(02KJB510005)
江苏大学高级人才启动项目(1283000149)
文摘
采用0.35μm BiCMOS工艺技术,设计了三种高性能的BiCMOS三态逻辑门电路,并提出了改进三态门电路结构和优化器件参数的方法和措施。仿真和实验结果表明.所优化设计的BiCMOS三态门的电源电压均小于3.3V,工作速度比常用的CMOS三态门快约5倍。功耗在60MHz下仅高出约2.2~3.7mW.而延迟一功耗积却比该常用的CMOS三态门平均降低了38.1%,因此它们特别适用于低压、高速、低功耗的数字系统。
关键词
超大规模集成电路
双
极
互补
金属
氧化物
半导体
器件
三态逻辑门电路
数字逻辑单元
延迟
-
功耗积
Keywords
VLSI
BiCMOS device
tristate logic gate
digital logic unit
delay
-
consumption product
分类号
TN433 [电子电信—微电子学与固体电子学]
在线阅读
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职称材料
题名
一种抗辐射高压MOSFET驱动器的设计
被引量:
5
5
作者
王鹏
徐青
杭丽
付晓君
机构
中国电子科技集团公司第
出处
《太赫兹科学与电子信息学报》
2016年第6期-,共5页
文摘
在航天和核物理技术中对抗辐射高压功率电路的需求也越来越强烈。介绍了一种抗辐射高压金属氧化物半导体场效应管(MOSFET)驱动器的设计,该电路基于0.5μm双极-互补金属氧化物半导体-双重扩散金属氧化物半导体(BCD)工艺研制,采用特殊的线路结构,并通过版图设计对闩锁效应、场区和电参数进行抗辐射加固,抗总剂量辐射效应可达到300 krad(Si)。同时,该电路工作电压可达40 V,兼容逻辑门电路(TTL)/互补金属氧化物半导体(CMOS)输入,输出峰值电流1.5 A,可广泛用于航天、核物理实验装备等功率驱动部位。
关键词
抗辐射加固
金属
氧化物
半导体
场效应管驱动器
高压集成电路(IC)
双
极
-
互补
金属
氧化物
半导体
-
双重
扩散
金属
氧化物
半导体
工艺
Keywords
radiation hardening
Metal
-
Oxide
-
Semiconductor Field
-
Effect
-
Transistor Driver
high
-
voltage Integrated Circuit
Bipolar
-
Complementary Metal Oxide Semiconductor
-
Double
-
Diffused Metal
-
Oxide
Semiconductor
分类号
TN386 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
应用于802.11ac的SiGe BiCMOS低噪声放大器
被引量:
2
6
作者
魏启迪
林俊明
章国豪
陈亮
机构
广东工业大学信息工程学院
中国电子科技集团公司第五十五研究所
南京国博电子有限公司
出处
《电子技术应用》
2018年第7期42-45,51,共5页
基金
国家自然科学基金(61574049)
文摘
基于IBM 0.36μm SiGe BiCMOS工艺设计应用于802.11ac的全集低噪声放大器,工作频段为5~6 GHz,且带有旁路功能。低噪声放大器的主体电路采用单端发射极电感负反馈结构。模拟结果显示,在工作电压为5 V的情况下,当低噪声放大器工作时,HBT低噪声放大器工作稳定,常温下,整体的噪声系数为2.2 dB@5.5 GHz,小信号增益为13.3 dB,旁路噪声系数为7.2 dB@5.5 GHz,插入损耗为6.8 dB。当输入总功率为0 dBm的双音信号(-3 dBm/tone)时,输入三阶交调点约为10.2 dBm。
关键词
低噪声放大器
802.11ac
锗化硅
双
极
-
互补
金属
氧化物
半导体
Keywords
LNA
802.11ac
SiGe
BiCMOS
分类号
TN433 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
SiGe BiCMOS工艺中HBT的关键制造工艺研究
7
作者
肖胜安
刘鹏
季伟
王雷
陈帆
钱文生
机构
上海华虹NEC电子有限公司
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期346-350,385,共6页
基金
国家科技重大专项支持项目(2009ZX02303)
文摘
研究了0.18μm SiGe BiCMOS中的核心器件SiGe HBT的关键制造工艺,包括集电极的形成、SiGe基区的淀积、发射极窗口的形成、发射极多晶的淀积、深孔刻蚀等,指出了这些制造工艺的难点和问题,提出了解决办法,并报导了解决相关难题的实验结果。
关键词
锗硅
双
极
-
互补
金属
氧化物
半导体
锗硅异质结
双
极
晶体管
Keywords
SiGe BiCMOS
SiGe HBT
分类号
TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN322.8 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
GGNMOS叉指宽度与金属布线对ESD防护性能的影响
梁海莲
董树荣
顾晓峰
李明亮
韩雁
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2013
1
在线阅读
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职称材料
2
一种PDP扫描驱动芯片的HV-PMOS的研究和实现
韩成功
郭清
韩雁
张斌
张世峰
胡佳贤
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于全集成自提取结终端隔离BCD新工艺的场致发光高压驱动芯片
黄伟
胡南中
李海鸥
于宗光
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
1
在线阅读
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职称材料
4
三种低压高速低耗BiCMOS三态逻辑门
成立
王振宇
张兵
武小红
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2006
5
在线阅读
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职称材料
5
一种抗辐射高压MOSFET驱动器的设计
王鹏
徐青
杭丽
付晓君
《太赫兹科学与电子信息学报》
2016
5
在线阅读
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职称材料
6
应用于802.11ac的SiGe BiCMOS低噪声放大器
魏启迪
林俊明
章国豪
陈亮
《电子技术应用》
2018
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
7
SiGe BiCMOS工艺中HBT的关键制造工艺研究
肖胜安
刘鹏
季伟
王雷
陈帆
钱文生
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2012
0
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职称材料
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