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微尺寸探针测量技术
被引量：
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作者
孙涛
阎永达
+1 位作者
王洪祥
董申
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第z2期331-332,共2页
原子力微探针具有极高的垂直方向位置灵敏度 ,其针尖半径可达几十纳米量级 ,这就为微纳米尺度的三维坐标测量提供了可能性。本文基于原子力微探针瞄准原理并结合二维微位移系统和高精度电容传感器 。
关键词
原子力微探针
坐标测量
电容传感器
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职称材料
题名
微尺寸探针测量技术
被引量：
1
1
作者
孙涛
阎永达
王洪祥
董申
机构
哈尔滨工业大学精密工程研究所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第z2期331-332,共2页
文摘
原子力微探针具有极高的垂直方向位置灵敏度 ,其针尖半径可达几十纳米量级 ,这就为微纳米尺度的三维坐标测量提供了可能性。本文基于原子力微探针瞄准原理并结合二维微位移系统和高精度电容传感器 。
关键词
原子力微探针
坐标测量
电容传感器
Keywords
atomic force probe coordinate measurement capacitive sensor
分类号
TP2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微尺寸探针测量技术
孙涛
阎永达
王洪祥
董申
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
1
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