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Si^+/As^+双离子注入SI-GaAs对注入层电激活均匀性改善的研究
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作者 鲁光沅 刘福润 +2 位作者 刘明成 赵杰 王永晨 《天津师大学报(自然科学版)》 2000年第3期22-27,共6页
研究了单 (Si+ )双 (Si+ / As+ )离子注入半绝缘砷化镓 (SI-Ga As)电激活的均匀性 .结果表明 ,L ECSi-Ga As衬底中深电子陷阱能级 (EL 2 )均匀性分布好坏 ,对注入层电激活性有一定影响 .当 SI-Ga As中碳含量小于 5× 1 0 15cm- 3时 ... 研究了单 (Si+ )双 (Si+ / As+ )离子注入半绝缘砷化镓 (SI-Ga As)电激活的均匀性 .结果表明 ,L ECSi-Ga As衬底中深电子陷阱能级 (EL 2 )均匀性分布好坏 ,对注入层电激活性有一定影响 .当 SI-Ga As中碳含量小于 5× 1 0 15cm- 3时 ,对注入层电激活影响不大 .采用多重能量 Si+注入 ,可改善栽流子纵向分布的均匀性 ,采用 Si+ / As+ 双离子注入可改善 L EC SI-Ga As衬底中 EL 2横向不均匀分布对电激活均匀性的影响 ,可获得注入层横向的电激活 . 展开更多
关键词 离子注入 gaas 电激活均匀性 半导体
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离子注入SI-GaAs做激光器被动调Q元件的研究
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作者 李朝阳 王勇刚 黄骝 《应用光学》 CAS CSCD 2004年第4期59-62,共4页
 本文从半导体材料GaAs的能级结构出发,探讨了GaAs做固体激光器被动调Q器件的可行性,对离子注入半绝缘GaAs用做Nd:YAG激光器中被动调Q元件的机理进行了实验研究,实验中腔型选择直腔式平平腔,Nd:YAG采用脉冲氙灯抽运,在腔型1Hz下获得了...  本文从半导体材料GaAs的能级结构出发,探讨了GaAs做固体激光器被动调Q器件的可行性,对离子注入半绝缘GaAs用做Nd:YAG激光器中被动调Q元件的机理进行了实验研究,实验中腔型选择直腔式平平腔,Nd:YAG采用脉冲氙灯抽运,在腔型1Hz下获得了单脉冲宽度为62ns的调Q波形输出。 展开更多
关键词 gaas 被动调Q 离子注入 ND:YAG激光器
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短沟道离子注入GaAs MESFET解析模型
3
作者 黄庆安 吕世骥 童勤义 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1992年第6期23-29,共7页
本文提出了一种新的离子注入短沟道GaAsMESFET直流解析模型,并将解析模型与实验数据进行了比较。结果表明,本文提出的解析模型可以同时描述高、中和低夹断电压的短沟道离子注入GaAs MESFET直流特性.
关键词 离子注入 晶体管模型 MESFET gaas
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稀土Er离子注入GaAs:Er光学性质的研究
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作者 黄钟英 王飞武 +2 位作者 王小军 周必忠 王南钦 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1993年第S2期102-104,共3页
用离子注入法掺Er,制成发光材料GaAs:Er.探索了离子注入和退火最佳条件,通过对GaAs:Er样品的光致发光谱和吸收光谱的测量,分析、探讨发光中心Er的光激发和能量传输机制.
关键词 离子注入gaas:Er 光致发光谱 吸收光谱 光激发机制
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In(Ga)As/GaAs量子点的生长、表面局域电流及离子注入改性研究通过验收
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《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期213-213,共1页
近日,由中科院上海技物所李天信博士后负责承担的上海市纳米专项“In(Ga)As/GaAs量子点的生长、表面局域电流及离子注入改性研究”通过专家组验收。项目组通过对异质外延的量子点生长动力学和摸索和掌握,应用分子束外延方法在GaAs... 近日,由中科院上海技物所李天信博士后负责承担的上海市纳米专项“In(Ga)As/GaAs量子点的生长、表面局域电流及离子注入改性研究”通过专家组验收。项目组通过对异质外延的量子点生长动力学和摸索和掌握,应用分子束外延方法在GaAs衬底上生长了InAs表面量子点和In(Ga)As5—10层嵌埋量子点。获得了高密度、尺寸相对均匀的量子点样品。通过在原子力显微镜上加装电流模块,选择使用导电微悬背,对In(Ga)As/GaAs量子点的局域电导特性进行了系统研究。得到了生长在不同掺杂特性(n型、p型)缓冲层上的表面量子点的扫描电流像。 展开更多
关键词 gaas衬底 生长动力学 扫描电流 量子点 离子注入 表面 通过验收 局域
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用拉曼光谱测量离子注入引起的晶格应变 被引量:1
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作者 英敏菊 董西亮 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期671-674,共4页
对于10个周期的A1As/GaAs超晶格和25个周期的GaAs/Ga0.92In0.08As超晶格,在室温下进行0.28MeV的Zn^+注入,注入剂量为5×10^13~5×10^14cm^-2。通过拉曼光谱测量,定量地分析了由于离子注入所引起的晶格内应变。实验结... 对于10个周期的A1As/GaAs超晶格和25个周期的GaAs/Ga0.92In0.08As超晶格,在室温下进行0.28MeV的Zn^+注入,注入剂量为5×10^13~5×10^14cm^-2。通过拉曼光谱测量,定量地分析了由于离子注入所引起的晶格内应变。实验结果表明:在所选用的注入剂量下,由于离子注入引起的应变小于体材料GaAs的最大非驰豫应变值0.038,说明该注入条件下,注入区的结晶态仍然保持得比较好。在较高注入剂量下应变达到饱和,说明缺陷的产生和复合达到了平衡,从而形成了均衡的应变场分布。 展开更多
关键词 离子注入 gaas 超晶格 晶格应变 拉曼光谱
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Si^+和S^+注入SI-GaAs白光快速退火特性
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作者 李国辉 朱德华 +2 位作者 张通和 罗晏 韩德俊 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1990年第4期23-27,共5页
研究了 Si^+和 S^+注入 SI-GaAs 经白光瞬态退火后的电特性,得出最佳的退火条件为930~960℃,5s.在适当的注入和退火条件下,得到了陡峭的载流子剖面分布没有拖长的尾巴.发现Si^+注入白光快速退火样品比常规热退火样品有较好的电特性.使... 研究了 Si^+和 S^+注入 SI-GaAs 经白光瞬态退火后的电特性,得出最佳的退火条件为930~960℃,5s.在适当的注入和退火条件下,得到了陡峭的载流子剖面分布没有拖长的尾巴.发现Si^+注入白光快速退火样品比常规热退火样品有较好的电特性.使用 Si^+注入白光快速退火制作出了性能良好的全离子注入平面型 MESFET. 展开更多
关键词 离子注入 Si^+ S^+ gaas 快速退华
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N、Zn离子注入GaAs_(1-x)P_x(x=0.39)的研究补充
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《发光学报》 EI CAS 1979年第Z1期114-116,共3页
关于N、Zn离子注入GaAs1-xPx的阴极萤光及电特性的测量在正文中已经做了介绍。在这里我们再小结一下器件制造结果。 对于N注入GaAs1-xPx中的电致发光情况,我们做的工作不多。在这里只就最近所做二批器件的情况做一个小结。
关键词 gaas x=0.39 离子注入 离子掺杂 发光强度 光强 X x)P_x Zn
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脉冲LDA泵浦Nd:YVO_4/GaAs被动调Q锁模激光器
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作者 刘晓娟 傅汝廉 +2 位作者 卓然然 薛兵招 方涛 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1578-1581,共4页
用脉冲激光二极管阵列(LDA)作为泵浦源、微柱透镜阵列和透镜导管作为耦合系统,以As+注入GaAs可饱和吸收片作为被动调Q锁模元件,实现了Nd∶YVO4激光器调Q锁模运转.调Q运转阶段,激光器每泵浦脉宽内输出一个调Q脉冲,调Q脉宽7ns.调Q锁模运... 用脉冲激光二极管阵列(LDA)作为泵浦源、微柱透镜阵列和透镜导管作为耦合系统,以As+注入GaAs可饱和吸收片作为被动调Q锁模元件,实现了Nd∶YVO4激光器调Q锁模运转.调Q运转阶段,激光器每泵浦脉宽内输出一个调Q脉冲,调Q脉宽7ns.调Q锁模运转阶段,初始透过率60%的GaAs晶片对调Q包络内的锁模脉冲的调制深度达到95%以上,锁模脉冲重复频率991MHz.研究了加在LDA上的电压、方波脉冲的脉宽和重复频率对调Q锁模脉冲特性的影响,并对实验结果进行了讨论. 展开更多
关键词 激光二极管阵列(LDA) As^+离子注入gaas 调Q锁模 Nd:YVO1晶体
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