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高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究
被引量：
8
1
作者
王效顺
梁勖
+2 位作者
游利兵
赵家敏
方晓东
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期763-766,共4页
为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定,从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理,使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型,提...
为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定,从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理,使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型,提出一种基于实时检测脉冲能量的电压调节比例积分算法,并结合函数模型和控制算法进行了MATLAB仿真。结果表明,建立的脉冲能量模型是合理的,且提出的比例积分算法在提高激光器脉冲输出能量稳定性方面是有效的。
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关键词
激光器
能量稳定
比例积分算法
高重复频率
arf准分子激光器
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职称材料
题名
高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究
被引量：
8
1
作者
王效顺
梁勖
游利兵
赵家敏
方晓东
机构
中国科学院安徽光学精密机械研究所
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期763-766,共4页
文摘
为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定,从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理,使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型,提出一种基于实时检测脉冲能量的电压调节比例积分算法,并结合函数模型和控制算法进行了MATLAB仿真。结果表明,建立的脉冲能量模型是合理的,且提出的比例积分算法在提高激光器脉冲输出能量稳定性方面是有效的。
关键词
激光器
能量稳定
比例积分算法
高重复频率
arf准分子激光器
Keywords
lasers
energy stability
proportion-integration algorithm
high-repetition-rate
arf
excimer laser
分类号
TN248.2 [电子电信—物理电子学]
TP13 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究
王效顺
梁勖
游利兵
赵家敏
方晓东
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012
8
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