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溅射稳定态合金靶表面的化学成分
1
作者
张竹林
张秉楚
《四川大学学报（工程科学版）》
EI
CAS
CSCD
2001年第2期27-29,共3页
基于多元素靶溅射的Andersen Sigmund关系式 ,分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化 ,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关。只要给各元素之间设定适当的表面结合能比 ,就能计算出稳定态表面化学...
基于多元素靶溅射的Andersen Sigmund关系式 ,分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化 ,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关。只要给各元素之间设定适当的表面结合能比 ,就能计算出稳定态表面化学成分 ,计算结果与实验值一致。因为文中所分析的实验数据是在常温下取得的 ,所以可不考虑离子轰击诱发的Gibbs偏析。
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关键词
择优溅射
表面结合能
andersen
-
sigmund
关系式
稳定态合金靶
化学成分
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职称材料
合金靶择优溅射中的表面结合能效应
2
作者
张秉楚
张竹林
《焦作工学院学报》
2000年第2期151-154,共4页
基于多元素靶溅射的Audersen Sigmund关系式 ,在分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化之后 ,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关 .即只要给各元素之间设定适当的表面结合能比 ,就可以很容易地计...
基于多元素靶溅射的Audersen Sigmund关系式 ,在分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化之后 ,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关 .即只要给各元素之间设定适当的表面结合能比 ,就可以很容易地计算出稳定态表面化学成分并且计算结果都与实验值一致 .因为所分析的实验数据是在常温下取得的 ,所以可不考虑离子轰击诱发的Gibbs偏析 .所得的结论很可能是多元合金靶溅射的一般规律 ,而这个结论与Kelly和Urbassek等建立的合金表面结合能理论直接矛盾 ,可以断定 ,他们的理论是有问题的 .
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关键词
靶溅射
择优溅射
表面结合能
A-S关系式
合金
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职称材料
题名
溅射稳定态合金靶表面的化学成分
1
作者
张竹林
张秉楚
机构
安徽省淮南工业学院
出处
《四川大学学报（工程科学版）》
EI
CAS
CSCD
2001年第2期27-29,共3页
基金
安徽省教育厅自然科学基金资助项目 !(2 0 0 0j12 0 8)
文摘
基于多元素靶溅射的Andersen Sigmund关系式 ,分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化 ,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关。只要给各元素之间设定适当的表面结合能比 ,就能计算出稳定态表面化学成分 ,计算结果与实验值一致。因为文中所分析的实验数据是在常温下取得的 ,所以可不考虑离子轰击诱发的Gibbs偏析。
关键词
择优溅射
表面结合能
andersen
-
sigmund
关系式
稳定态合金靶
化学成分
Keywords
surface binding energy
preferential sputtering
andersen
sigmund
relation
分类号
O571.33 [理学—粒子物理与原子核物理]
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职称材料
题名
合金靶择优溅射中的表面结合能效应
2
作者
张秉楚
张竹林
机构
淮南工业学院机械系
出处
《焦作工学院学报》
2000年第2期151-154,共4页
文摘
基于多元素靶溅射的Audersen Sigmund关系式 ,在分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化之后 ,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关 .即只要给各元素之间设定适当的表面结合能比 ,就可以很容易地计算出稳定态表面化学成分并且计算结果都与实验值一致 .因为所分析的实验数据是在常温下取得的 ,所以可不考虑离子轰击诱发的Gibbs偏析 .所得的结论很可能是多元合金靶溅射的一般规律 ,而这个结论与Kelly和Urbassek等建立的合金表面结合能理论直接矛盾 ,可以断定 ,他们的理论是有问题的 .
关键词
靶溅射
择优溅射
表面结合能
A-S关系式
合金
Keywords
surface binding energy
andersen
-
sigmund
relation
preferential sputteringurface binding energy
andersen
*.
sigmund
relation
preferential sputteringauthors have discovered that the binding energy ratio is almost independent of
分类号
TG146 [金属学及工艺—金属材料]
O571.33 [理学—粒子物理与原子核物理]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
溅射稳定态合金靶表面的化学成分
张竹林
张秉楚
《四川大学学报（工程科学版）》
EI
CAS
CSCD
2001
0
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职称材料
2
合金靶择优溅射中的表面结合能效应
张秉楚
张竹林
《焦作工学院学报》
2000
0
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职称材料
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参考文献
引证文献
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