期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
准分子激光对Al、Au刻蚀的技术研究
1
作者
刘军
张玉书
+1 位作者
燕方龙
周大凡
《激光技术》
CAS
CSCD
1990年第3期55-58,共4页
本文报导了准分子激光对Al、Au等金属的直接刻蚀和诱导刻蚀技术,给出了刻蚀过程中激光能量密度、刻蚀速率及反应气体压力之间的关系,分析讨论了准分子激光对Al、Au的刻蚀机理和规律。
关键词
激光
alau
刻蚀技术
准分子
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
准分子激光对Al、Au刻蚀的技术研究
1
作者
刘军
张玉书
燕方龙
周大凡
机构
吉林大学
长春应用化学研究所
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
1990年第3期55-58,共4页
文摘
本文报导了准分子激光对Al、Au等金属的直接刻蚀和诱导刻蚀技术,给出了刻蚀过程中激光能量密度、刻蚀速率及反应气体压力之间的关系,分析讨论了准分子激光对Al、Au的刻蚀机理和规律。
关键词
激光
alau
刻蚀技术
准分子
分类号
TN405.98 [电子电信—微电子学与固体电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
准分子激光对Al、Au刻蚀的技术研究
刘军
张玉书
燕方龙
周大凡
《激光技术》
CAS
CSCD
1990
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
