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具有C轴取向Al^(3+)掺杂型ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备及其性能研究
被引量:
3
1
作者
郑春满
宋植彦
+2 位作者
魏海博
帖楠
谢凯
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期33-37,共5页
以乙二醇甲醚为溶剂,采用Sol-Gel法制备出具有C轴取向、可导电的Al3+离子掺杂ZnO透明薄膜,并利用场发射扫描电镜、X-射线衍射、能谱分析、标准四探针和反射光谱仪等对薄膜的组成、结构和光学性能进行了分析。结果表明:Al3+离子掺杂ZnO...
以乙二醇甲醚为溶剂,采用Sol-Gel法制备出具有C轴取向、可导电的Al3+离子掺杂ZnO透明薄膜,并利用场发射扫描电镜、X-射线衍射、能谱分析、标准四探针和反射光谱仪等对薄膜的组成、结构和光学性能进行了分析。结果表明:Al3+离子掺杂ZnO薄膜为六方纤锌矿型结构,由六棱柱状阵列构成,具有C轴择优取向;薄膜电阻率随Al3+离子掺杂浓度的升高而降低;在可见光区域,薄膜透光率随Al3+离子掺杂浓度的升高而降低,掺杂3%ZnO薄膜的透光率达到90%左右,禁带宽度为3.25 eV,具备制作薄膜太阳能电池透明导电电极材料的应用价值。
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关键词
溶胶-凝胶
ZNO薄膜
al
3
+
离子
掺杂
制备
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职称材料
题名
具有C轴取向Al^(3+)掺杂型ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备及其性能研究
被引量:
3
1
作者
郑春满
宋植彦
魏海博
帖楠
谢凯
机构
国防科技大学航天与材料工程学院
出处
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期33-37,共5页
基金
湖南省自然科学基金资助项目(10JJ4045)
国防科技大学校预研资助项目(JC08-01-06)
文摘
以乙二醇甲醚为溶剂,采用Sol-Gel法制备出具有C轴取向、可导电的Al3+离子掺杂ZnO透明薄膜,并利用场发射扫描电镜、X-射线衍射、能谱分析、标准四探针和反射光谱仪等对薄膜的组成、结构和光学性能进行了分析。结果表明:Al3+离子掺杂ZnO薄膜为六方纤锌矿型结构,由六棱柱状阵列构成,具有C轴择优取向;薄膜电阻率随Al3+离子掺杂浓度的升高而降低;在可见光区域,薄膜透光率随Al3+离子掺杂浓度的升高而降低,掺杂3%ZnO薄膜的透光率达到90%左右,禁带宽度为3.25 eV,具备制作薄膜太阳能电池透明导电电极材料的应用价值。
关键词
溶胶-凝胶
ZNO薄膜
al
3
+
离子
掺杂
制备
Keywords
Sol-Gel
ZnO thin film
al
uminum-doped
preparation
分类号
O648 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
具有C轴取向Al^(3+)掺杂型ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备及其性能研究
郑春满
宋植彦
魏海博
帖楠
谢凯
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
3
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