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基于激光微加工Al_2O_3微结构Cl_2传感器的制作及性能研究
被引量：
1
1
作者
施云波
张洪泉
+3 位作者
胡竹平
冯桥华
项金娟
郭建英
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05B期2103-2106,共4页
以膜厚为250μm的Al2O3膜为微结构基板、95# Al2O3瓷板为微壳结构体，设计并采用激光微加工技术制作了具有Ф0．2mm微孔通道的微结构传感器．阐述了CuCl杂化修饰CuPc的工艺过程，并通过真空镀膜形成气敏膜．实现了主动吸气的检测模式，...
以膜厚为250μm的Al2O3膜为微结构基板、95# Al2O3瓷板为微壳结构体，设计并采用激光微加工技术制作了具有Ф0．2mm微孔通道的微结构传感器．阐述了CuCl杂化修饰CuPc的工艺过程，并通过真空镀膜形成气敏膜．实现了主动吸气的检测模式，提高了响应时间和气敏性．通过SEM分析得到了良好的表面形貌和膜尺寸，用做电极和加热器Pt膜厚为500nm，敏感膜厚为150nm，微壳深度为150～200μm测试结果表明对Cl2具有较好的敏感响应，灵敏度为0．01％浓度下0．25倍，并呈现P型半导体的变化规律．研究了通气状态和加热电压对传感器响应和气敏性的影响．
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关键词
激光微加工
al2o3微结构
微壳
Cl
2
传感器
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职称材料
题名
基于激光微加工Al_2O_3微结构Cl_2传感器的制作及性能研究
被引量：
1
1
作者
施云波
张洪泉
胡竹平
冯桥华
项金娟
郭建英
机构
哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05B期2103-2106,共4页
基金
黑龙江省科技攻关项目资助(GC03A121)
国家自然科学基金资助项目(60272002)
重大基础研究(973)前期研究专项(2003CCC01100)
文摘
以膜厚为250μm的Al2O3膜为微结构基板、95# Al2O3瓷板为微壳结构体，设计并采用激光微加工技术制作了具有Ф0．2mm微孔通道的微结构传感器．阐述了CuCl杂化修饰CuPc的工艺过程，并通过真空镀膜形成气敏膜．实现了主动吸气的检测模式，提高了响应时间和气敏性．通过SEM分析得到了良好的表面形貌和膜尺寸，用做电极和加热器Pt膜厚为500nm，敏感膜厚为150nm，微壳深度为150～200μm测试结果表明对Cl2具有较好的敏感响应，灵敏度为0．01％浓度下0．25倍，并呈现P型半导体的变化规律．研究了通气状态和加热电压对传感器响应和气敏性的影响．
关键词
激光微加工
al2o3微结构
微壳
Cl
2
传感器
Keywords
laser micr
o
-machining
al
2
o
3
micr
o
structure
micr
o
shell
Cl
2
sens
o
r
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于激光微加工Al_2O_3微结构Cl_2传感器的制作及性能研究
施云波
张洪泉
胡竹平
冯桥华
项金娟
郭建英
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
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