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溶胶-凝胶法制备Al^(3+)离子掺杂型ZnO薄膜与评价
被引量：
20
1
作者
姜海青
王连星
+1 位作者
赵世民
惠春
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第3期278-280,共3页
采用溶胶 -凝胶 (Sol -Gel)工艺在普通Na -Ca -Si玻璃基体上成功地制备出高c轴择优取向性、高可见光透光率以及高电导率的Al3 + 离子掺杂型ZnO薄膜。利用SEM、XRD以及UVS光谱仪等分析方法对不同工艺下制备的薄膜进行了研究 ,结果显示 ,...
采用溶胶 -凝胶 (Sol -Gel)工艺在普通Na -Ca -Si玻璃基体上成功地制备出高c轴择优取向性、高可见光透光率以及高电导率的Al3 + 离子掺杂型ZnO薄膜。利用SEM、XRD以及UVS光谱仪等分析方法对不同工艺下制备的薄膜进行了研究 ,结果显示 ,所制备的薄膜为纤锌矿型结构 ,表面均匀、致密 ,薄膜材料晶粒尺寸大约为 5 0～ 2 0 0nm左右 ,薄膜可见光透光率最大可达 99% ;对薄膜的厚度以及电学性能进行了测定后发现 :单次镀膜厚度约为 3 0～ 5 0nm ,Al3 + 离子掺杂型氧化锌薄膜的电阻率在 2 .5 2× 10 -3 ～ 2 .94× 10 -3 Ω·cm范围内 ,其霍尔系数在 6.2 5× 10 -7～ 2 .3 6× 10 -7cm3 /C范围内 ,载流子浓度在 1×10 2 5～ 2 .64× 10 2 5cm-3 范围内 ,霍尔迁移率在 2 .48× 10 -4 ～ 8.0 3× 10 -5cm2 /V·s范围内 ,在太阳能电池透明光电极领域中极具潜在的应用价值。
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关键词
溶胶-凝胶法
Al^
3
+
离子
掺杂
ZNO薄膜
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职称材料
题名
溶胶-凝胶法制备Al^(3+)离子掺杂型ZnO薄膜与评价
被引量：
20
1
作者
姜海青
王连星
赵世民
惠春
机构
西安电子科技大学技术物理学院
西北轻工业学院材料工程系
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第3期278-280,共3页
文摘
采用溶胶 -凝胶 (Sol -Gel)工艺在普通Na -Ca -Si玻璃基体上成功地制备出高c轴择优取向性、高可见光透光率以及高电导率的Al3 + 离子掺杂型ZnO薄膜。利用SEM、XRD以及UVS光谱仪等分析方法对不同工艺下制备的薄膜进行了研究 ,结果显示 ,所制备的薄膜为纤锌矿型结构 ,表面均匀、致密 ,薄膜材料晶粒尺寸大约为 5 0～ 2 0 0nm左右 ,薄膜可见光透光率最大可达 99% ;对薄膜的厚度以及电学性能进行了测定后发现 :单次镀膜厚度约为 3 0～ 5 0nm ,Al3 + 离子掺杂型氧化锌薄膜的电阻率在 2 .5 2× 10 -3 ～ 2 .94× 10 -3 Ω·cm范围内 ,其霍尔系数在 6.2 5× 10 -7～ 2 .3 6× 10 -7cm3 /C范围内 ,载流子浓度在 1×10 2 5～ 2 .64× 10 2 5cm-3 范围内 ,霍尔迁移率在 2 .48× 10 -4 ～ 8.0 3× 10 -5cm2 /V·s范围内 ,在太阳能电池透明光电极领域中极具潜在的应用价值。
关键词
溶胶-凝胶法
Al^
3
+
离子
掺杂
ZNO薄膜
Keywords
sol-gel process
Al^(
3
+) doping
ZnO thin film
transparent electrode
分类号
TN304.21 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
溶胶-凝胶法制备Al^(3+)离子掺杂型ZnO薄膜与评价
姜海青
王连星
赵世民
惠春
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
20
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职称材料
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