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化学溶液沉积法制备Nd和Sc/Al/(Sc,Al)共掺杂钛酸铋铁电薄膜的电性能研究
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作者 胡增顺 杨桦 晋玉星 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期61-63,共3页
利用化学溶液沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底和700℃条件下分别制备了Nd和Sc/Al/(Sc,Al)共掺杂的钛酸铋薄膜Bi3.15Nd0.85Ti2.94Sc0.06O12(BNTSc)、Bi3.15Nd0.85Ti2.94Al0.06O12(BNTAl)和Bi3.15Nd0.85Ti2.94(Sc0.03,Al0.03)O12(BNT(Sc,A... 利用化学溶液沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底和700℃条件下分别制备了Nd和Sc/Al/(Sc,Al)共掺杂的钛酸铋薄膜Bi3.15Nd0.85Ti2.94Sc0.06O12(BNTSc)、Bi3.15Nd0.85Ti2.94Al0.06O12(BNTAl)和Bi3.15Nd0.85Ti2.94(Sc0.03,Al0.03)O12(BNT(Sc,Al)),并研究和对比了这一系列薄膜的微结构、介电、铁电和漏电流等特性。结果发现BNT(Sc,Al)薄膜具有较高的剩余极化强度和介电常数,其漏电流密度低于BNTAl薄膜。另外,还讨论了相关的物理机制。 展开更多
关键词 铁电薄膜 共掺杂 BNT(Sc al)薄膜化学溶液沉积
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化学溶液沉积法制备铁掺杂镍酸镧薄膜的结构及电学性能研究 被引量:3
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作者 陈如麒 翁嘉文 +2 位作者 劳媚媚 徐军 朱贵文 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期60-62,共3页
采用化学溶液沉积法,在(100)取向单晶硅衬底上制备铁掺杂镍酸镧(LaNi1-xFexO3,LNFeO-x)薄膜,研究了其结构和室温下的导电特性。X射线衍射测试结果表明,经700℃1 h退火的薄膜呈钙钛矿结构,没有可以观察到的杂相生成。薄膜表面平整、致密... 采用化学溶液沉积法,在(100)取向单晶硅衬底上制备铁掺杂镍酸镧(LaNi1-xFexO3,LNFeO-x)薄膜,研究了其结构和室温下的导电特性。X射线衍射测试结果表明,经700℃1 h退火的薄膜呈钙钛矿结构,没有可以观察到的杂相生成。薄膜表面平整、致密,没有微裂痕出现。随着铁含量的增加,薄膜电阻率由1.7 mΩ.cm增加到3.9 mΩ.cm。 展开更多
关键词 LaNi1-xFexO3 LNFeO-x 化学溶液沉积 CSD
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化学溶液沉积法制备自取向BiFeO_3多铁薄膜 被引量:2
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作者 陈蕊 黄科科 +2 位作者 吴小峰 司文哲 冯守华 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期2270-2273,共4页
通过化学溶液沉积法在氧化铟锡(ITO)/导电玻璃上生长了BiFeO3多晶薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱分析仪(XPS)、磁性测量系统(MPMS)和铁电测试仪对样品的结构、形貌、元素价态、铁磁性和铁电性进行研... 通过化学溶液沉积法在氧化铟锡(ITO)/导电玻璃上生长了BiFeO3多晶薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱分析仪(XPS)、磁性测量系统(MPMS)和铁电测试仪对样品的结构、形貌、元素价态、铁磁性和铁电性进行研究.结果表明,薄膜为自取向生长,具有良好的[101]生长取向和平整的表面.室温下,样品呈铁磁性,沿样品取向方向为易磁化轴方向.铁电测试结果表明,其饱和电极化强度达到51.3μC/cm2. 展开更多
关键词 多铁材料 BIFEO3薄膜 化学溶液沉积 磁电效应
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用化学溶液沉积方法制备Pr_(0.7)Ca_(0.3)MnO_3薄膜 被引量:3
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作者 王群 董睿 陈立东 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期1087-1092,共6页
混合价态的锰氧化物Pr1-xCaxMnO3薄膜是近年来国际上超导体以及巨磁电阻领域的研究热点之一.本文采用化学溶液沉积方法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备出Pr1-xCaxMnO3薄膜,降低了材料成本;前驱体中不使用鳌和剂,简化了工艺.采用XRD、FT-IR、... 混合价态的锰氧化物Pr1-xCaxMnO3薄膜是近年来国际上超导体以及巨磁电阻领域的研究热点之一.本文采用化学溶液沉积方法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备出Pr1-xCaxMnO3薄膜,降低了材料成本;前驱体中不使用鳌和剂,简化了工艺.采用XRD、FT-IR、SEM、AFM、EPMA以及俄歇探针仪等方法对所制备的薄膜进行了表征.结果表明,实验中以较低的温度实现了PCMO钙钛矿结构的晶化;薄膜平整光滑致密,各组分分布均匀,C杂质含量处于很低的水平. 展开更多
关键词 混合价锰氧化物 薄膜 化学溶液沉积
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化学液相沉积法制备Al_xO_y薄膜 被引量:5
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作者 饶文雄 孙捷 +3 位作者 宋昌烈 李成仁 李淑凤 胡礼中 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期668-670,共3页
给出了用化学液相沉积法 (CLPD)制备AlxO y/Si薄膜的方法 ,室温下生长 2h得到AlxO y/Si薄膜 ,其退火温度为 10 0 0℃ ,退火时间 2h .对薄膜的显微硬度、成分和结构进行了检测和分析 .结果表明 ,薄膜的显微硬度在退火前为 5 2 0 2 .0N/mm... 给出了用化学液相沉积法 (CLPD)制备AlxO y/Si薄膜的方法 ,室温下生长 2h得到AlxO y/Si薄膜 ,其退火温度为 10 0 0℃ ,退火时间 2h .对薄膜的显微硬度、成分和结构进行了检测和分析 .结果表明 ,薄膜的显微硬度在退火前为 5 2 0 2 .0N/mm2 ,退火后为 14 5 33.5N/mm2 ,增加近 3倍 ;高温退火去掉了膜内的OH-1,同时使薄膜晶化 ,晶体薄膜的O/Al比例为 1 3. 展开更多
关键词 化学液相沉积 氧化铝薄膜 光波导放大器 生长液 双水解过程 退火 显微硬度 晶化
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化学溶液沉积法制备YBa_2Cu_3O_7超导薄膜 被引量:1
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作者 文自立 曹光旱 +3 位作者 许祝安 张年生 沙键 焦正宽 《浙江大学学报(理学版)》 CAS CSCD 2003年第3期268-270,共3页
用钇、钡、铜的环烷酸盐溶液为原料,采用化学溶液沉积法在LaAlO3(001)衬底上制备了YBa2Cu3O7超导薄膜.X射线衍射分析表明薄膜主要沿[001]方向外延生长.原子力显微研究显示晶粒排列严密、整齐有序,表面也较为平整.电阻测量显示该薄膜的... 用钇、钡、铜的环烷酸盐溶液为原料,采用化学溶液沉积法在LaAlO3(001)衬底上制备了YBa2Cu3O7超导薄膜.X射线衍射分析表明薄膜主要沿[001]方向外延生长.原子力显微研究显示晶粒排列严密、整齐有序,表面也较为平整.电阻测量显示该薄膜的超导起始转变温度为87K.本方法有望应用于大面积高温超导薄膜及带材的制备. 展开更多
关键词 YBa2Cu3O7超导薄膜 化学溶液沉积 制备方 薄膜结构 超导起始转变温度 高温超导薄膜
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化学溶液沉积法制备BiFeO_3薄膜的结构及性能研究 被引量:1
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作者 陈如麒 朱贵文 徐初东 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期79-83,共5页
采用化学溶液沉积法在ITO玻璃基片上制备铁酸铋Bi Fe O3薄膜。薄膜呈纯钙钛矿结构,无杂相生成。此外,薄膜表面光滑致密、没有微裂痕。薄膜得到的晶粒尺寸较小,约为45 nm。在550℃1 h退火的薄膜有良好的电学特性,在1 k Hz频率下测得的相... 采用化学溶液沉积法在ITO玻璃基片上制备铁酸铋Bi Fe O3薄膜。薄膜呈纯钙钛矿结构,无杂相生成。此外,薄膜表面光滑致密、没有微裂痕。薄膜得到的晶粒尺寸较小,约为45 nm。在550℃1 h退火的薄膜有良好的电学特性,在1 k Hz频率下测得的相对介电常数、损耗因子分别约为198、3%;此外,在760 k V/cm电场驱动下,薄膜得到的剩余极化(2Pr)约为25μC/cm2,矫顽电场(2Ec)约为650 k V/cm。BFO薄膜在550℃退后,通过吸收光谱分析得到BFO薄膜的光学带隙为2.7 e V。这些结果表明,退火温度550℃制备的Bi Fe O3固溶体薄膜具有较好的性能,有望成为光电器件的候选材料。 展开更多
关键词 化学溶液沉积 BIFEO3 相对介电常数 损耗因子 光学带隙
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高分子辅助化学溶液沉积法制备La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3/Si薄膜及电磁输运研究 被引量:1
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作者 刘其娅 张敏 宋婷婷 《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2017年第4期621-626,共6页
利用高分子辅助化学溶液沉积法在Si(100)衬底上外延生长La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3薄膜。并利用X射线衍射仪结果、扫描电子显微镜结果和电阻率-温度曲线(ρ-T曲线)结果、磁电阻(MR)曲线结果对其晶体结构、表面形貌和电磁输运机制进行了研究... 利用高分子辅助化学溶液沉积法在Si(100)衬底上外延生长La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3薄膜。并利用X射线衍射仪结果、扫描电子显微镜结果和电阻率-温度曲线(ρ-T曲线)结果、磁电阻(MR)曲线结果对其晶体结构、表面形貌和电磁输运机制进行了研究。结果显示实验制备的La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3薄膜为赝立方钙钛矿多晶结构,薄膜表面均匀平滑,结晶性好,晶粒尺寸约为50~70 nm。随着温度降低,薄膜电输运机制从绝缘体行为向转变金属导电行为。金属绝缘转变转变点温度(T_(MI))随磁场的增加而升高,在0 T和1 T分别为T_(MI)=238K、246 K。电输运测试结果说明,低温(T<T_(MI))时,电子-电子的散射对薄膜的电导性能起主导作用,高温(T>T_(MI))时薄膜按照绝热近似的小极化子输运。 展开更多
关键词 La0.7Sr0.3Mn O3薄膜 高分子辅助化学溶液沉积 电磁输运性质
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化学溶液沉积法制备Pb_(0.5)Ba_(0.5)TiO_3薄膜的结构及电学性能研究
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作者 陈如麒 朱贵文 刘为方 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期78-81,共4页
采用化学溶液沉积法在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上制备钛酸铅钡Pb0.5Ba0.5TiO3(PBT)薄膜。薄膜呈纯钙钛矿结构,无杂相生成。此外,薄膜表面光滑致密、没有微裂痕.薄膜得到的晶粒尺寸较小,约为17 nm。在700℃1 h退火的薄膜有良好的电学特性,在1... 采用化学溶液沉积法在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上制备钛酸铅钡Pb0.5Ba0.5TiO3(PBT)薄膜。薄膜呈纯钙钛矿结构,无杂相生成。此外,薄膜表面光滑致密、没有微裂痕.薄膜得到的晶粒尺寸较小,约为17 nm。在700℃1 h退火的薄膜有良好的电学特性,在1 kHz频率下测量得到的介电常数、损耗因子分别约为265和5%;此外,在500 kV/cm电场驱动下,薄膜得到的剩余极化(2Pr)约为16μC/cm2,矫顽电场(Ec)约为110 kV/cm。这些结果表明,PBT固溶体薄膜有望成为铁电器件的候选材料。 展开更多
关键词 钛酸铅钡 PBT 介电 铁电 化学溶液沉积
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化学溶液沉积法制备WO_3·2H_2O薄膜及其电致变色性能 被引量:4
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作者 李晓静 葛传鑫 +1 位作者 王明松 乔冠军 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期161-166,共6页
目的研究具有不同微观结构的WO_3·2H_2O薄膜的电致变色性能。方法采用化学溶液沉积法在FTO玻璃上制备WO_3·2H_2O薄膜,通过加入不同的形貌控制剂(柠檬酸或草酸铵),制备不同纳米结构的WO_3·2H_2O薄膜。采用X射线衍射仪(XRD... 目的研究具有不同微观结构的WO_3·2H_2O薄膜的电致变色性能。方法采用化学溶液沉积法在FTO玻璃上制备WO_3·2H_2O薄膜,通过加入不同的形貌控制剂(柠檬酸或草酸铵),制备不同纳米结构的WO_3·2H_2O薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析薄膜的成分结构和微观形貌,利用紫外可见光分光光度计对薄膜在波长为200~1000nm范围内的透光性进行研究,并通过电化学工作站对薄膜进行电化学性能分析。结果采用柠檬酸作为形貌控制剂制备的WO_3·2H_2O薄膜的透光性高达82%左右,其在着色和褪色状态的透过率差值为36.2%。通过添加柠檬酸或草酸铵作为形貌控制剂制备的WO_3·2H_2O薄膜均呈现出纳米片状结构,纳米片的厚度分别为5~15 nm和50~60 nm,但是采用柠檬酸制备的WO_3·2H_2O具有较多的间隙和裂缝,使其表现出了较好的电致变色性能。结论具有间隙和裂缝的纳米WO_3·2H_2O薄膜增加了薄膜与电解质的接触面积,减少了离子扩散的路径距离,更小的纳米结构可以提供更多的化学活性位点,从而表现出较好的电致变色性能。 展开更多
关键词 WO3·2H2O薄膜 化学溶液沉积 纳米薄膜 电致变色 离子扩散 活性位点
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化学溶液电沉积法制备Li2SiO3薄膜研究
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作者 黄昕 余萍 +4 位作者 肖定全 田云飞 王辉 安红娜 谢瑞士 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A04期1675-1677,共3页
利用化学溶液电沉积方法,在阴极和阳极衬底材料上都成功制备出了单相的含氧酸盐硅酸锂(Li2SiO3)薄膜。探讨了该工艺下的实验反应机理。通过X射线衍射技术(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)分别表征研究了不同实验条件下薄膜的晶体结构... 利用化学溶液电沉积方法,在阴极和阳极衬底材料上都成功制备出了单相的含氧酸盐硅酸锂(Li2SiO3)薄膜。探讨了该工艺下的实验反应机理。通过X射线衍射技术(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)分别表征研究了不同实验条件下薄膜的晶体结构和表面形貌。研究结果表明,采用化学溶液电沉积法制备的Li2SiO3薄膜具有物相结构单一,表面形貌平整致密的特点。与制备Li2SiO3的传统方法相比,这一技术具有廉价、简单、低温等特点。 展开更多
关键词 硅酸锂 薄膜 化学溶液
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化学溶液沉积法La_2CuMnO_6缓冲层薄膜的制备与结构表征
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作者 马高峰 雷宁 +5 位作者 张国防 卢亚峰 郗大来 白宏斌 王炳旭 冯宝奇 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期67-69,73,共4页
根据镧、铜及锰盐在不同溶剂中的溶解性,选择合适的溶剂及镧、铜及锰盐为前驱体,配制成前驱溶液进行润湿性、稳定性及不同衬底热处理实验,成功筛选出制备La2CuMnO6(LCMO)缓冲层薄膜的前驱体,利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对化... 根据镧、铜及锰盐在不同溶剂中的溶解性,选择合适的溶剂及镧、铜及锰盐为前驱体,配制成前驱溶液进行润湿性、稳定性及不同衬底热处理实验,成功筛选出制备La2CuMnO6(LCMO)缓冲层薄膜的前驱体,利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对化学溶液沉积法(CSD)合成的La2CuMnO6薄膜的相组成和形貌结构进行了表征。结果表明,选择合适的前驱体(La(CH3COO)3·1.5H2O、Cu(CH3COO)2·1.0H2O、Mn(CH3COO)2·4.0H2O)及SrTiO3(STO)(100)衬底,在1000℃、保温时间3h、空气气氛及总离子浓度为1.0mol/L工艺条件下制备的La2CuMnO6薄膜具有很好的c轴织构,薄膜表面较平整、均匀、无裂纹、无孔洞,分布均匀且排列致密,完全满足缓冲层对薄膜的要求。 展开更多
关键词 化学溶液沉积 La2CuMnO6 前驱体金属盐 衬底 筛选 缓冲层薄膜 制备 结构表征
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化学溶液沉积法制备的Bi_4Ti_3O_(12)铁电薄膜的电学性能研究 被引量:1
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作者 吴显明 王弘 +2 位作者 王卓 尚淑霞 王民 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第B05期67-68,共2页
采用化学溶液沉积工艺在电阻率为 6~ 9Ω·cm的n -Si(10 0 )衬底上生长Bi4Ti3O1 2 铁电多晶膜 ,研究了薄膜的电学性能 ,结果表明在 6 50℃下退火 1h得到的Bi4Ti3O1 2 薄膜具有良好的介电和铁电性能 ,其介电常数ε =12 9,剩余极化Pr... 采用化学溶液沉积工艺在电阻率为 6~ 9Ω·cm的n -Si(10 0 )衬底上生长Bi4Ti3O1 2 铁电多晶膜 ,研究了薄膜的电学性能 ,结果表明在 6 50℃下退火 1h得到的Bi4Ti3O1 2 薄膜具有良好的介电和铁电性能 ,其介电常数ε =12 9,剩余极化Pr=5.1μC/cm2 ,矫顽电场Ec=96kV/cm。 展开更多
关键词 化学溶液沉积 铁电薄膜 介电常数 电滞回线
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气溶胶辅助化学气相沉积制备Al掺杂ZnO透明导电薄膜 被引量:9
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作者 秦秀娟 韩司慧智 +2 位作者 赵琳 左华通 宋士涛 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期607-612,共6页
采用气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)法在玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜.研究了Al掺杂(2at%~8at%)对ZnO薄膜结构及光电性能的影响.利用XRD、SEM、EDAX、紫外可见分光光度计等手段对样品进行测试.结果表明,制备的所有AZO薄膜均具... 采用气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)法在玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜.研究了Al掺杂(2at%~8at%)对ZnO薄膜结构及光电性能的影响.利用XRD、SEM、EDAX、紫外可见分光光度计等手段对样品进行测试.结果表明,制备的所有AZO薄膜均具有纤锌矿结构,不具有沿c轴方向的择优取向,XRD图谱中未观察出Al的相关分相.在可见光范围内,AZO薄膜的平均透过率大于72%,光学禁带宽度随Al掺杂量的增加而变窄.同时根据四探针技术所得的数据得知:Al的掺杂导致薄膜方块电阻的变化,随着Al掺杂量的增加,方块电阻有明显变小的现象,掺杂6at%Al的AZO薄膜具有最低方块电阻(18Ω/□). 展开更多
关键词 气溶胶 化学气相沉积 al:ZnO 透明导电薄膜
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化学浴沉积法制备纳米氧化亚铜薄膜 被引量:12
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作者 刘明辉 张丽莎 +2 位作者 贾志勇 唐一文 余颖 《华中师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2006年第1期75-78,共4页
用改进后的化学浴沉积法制备了纳米Cu2O薄膜,并对成膜条件及膜的性能进行了研究.结果表明:化学浴沉积法改进后有利于制备高质量的纳米Cu2O薄膜;最佳反应温度为60~70C,此温度范围内Cu2O薄膜的膜厚随着循环次数线性增加.制备的薄... 用改进后的化学浴沉积法制备了纳米Cu2O薄膜,并对成膜条件及膜的性能进行了研究.结果表明:化学浴沉积法改进后有利于制备高质量的纳米Cu2O薄膜;最佳反应温度为60~70C,此温度范围内Cu2O薄膜的膜厚随着循环次数线性增加.制备的薄膜纯度较高.表面较平整和致密,Cu2O粒径为14~22nm,其禁带宽度为2.01eV. 展开更多
关键词 纳米氧化亚铜 化学沉积 改进 薄膜
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化学溶液法制备的Ba_(0.9)Sr_(0.1)TiO_3薄膜的结构及光学特性研究 被引量:10
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作者 王根水 赖珍荃 +7 位作者 于剑 孟祥建 孙憬兰 郭少令 褚君浩 金承钰 李刚 路庆华 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期37-40,共4页
采用高度稀释的前驱体溶液在LaNiO3 (LNO)薄膜上沉积了Ba0 .9Sr0 .1TiO3 (BST)薄膜 .X 射线衍射分析表明BST薄膜呈高度的 (10 0 )择优取向 .原子力显微镜测量发现制备的BST薄膜具有大的晶粒尺寸 80~ 2 0 0nm .用椭偏光谱仪测量了光子... 采用高度稀释的前驱体溶液在LaNiO3 (LNO)薄膜上沉积了Ba0 .9Sr0 .1TiO3 (BST)薄膜 .X 射线衍射分析表明BST薄膜呈高度的 (10 0 )择优取向 .原子力显微镜测量发现制备的BST薄膜具有大的晶粒尺寸 80~ 2 0 0nm .用椭偏光谱仪测量了光子能量为 0 .7~ 3.4eV范围内BST薄膜的椭偏光谱 ,用Cauchy模型描述BST薄膜的光学性质 ,获得了BST薄膜的光学常数谱和禁带宽度Eg=3.36eV . 展开更多
关键词 化学溶液 BST薄膜 椭偏光谱 光学常数谱 制备 结构 光学特性 钛酸锶钡化合物 钛电薄膜 Ba0.9Sr0.1TiO3
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一步法电化学沉积Cu(In1-x, Gax)Se2薄膜的特性 被引量:8
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作者 敖建平 孙国忠 +6 位作者 闫礼 康峰 杨亮 何青 周志强 李凤岩 孙云 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1073-1079,共7页
在CuCl2、InCl3、GaCl3及H2SeO3组成的酸性水溶液电沉积体系中,对Mo/玻璃衬底上一步法电沉积Cu(In1-x,Gax)Se2(简写为CIGS)薄膜进行了研究.为了稳定溶液的化学性质,在溶液中加入邻苯二甲酸氢钾和氨基磺酸作为pH缓冲剂,将溶液的pH值控制... 在CuCl2、InCl3、GaCl3及H2SeO3组成的酸性水溶液电沉积体系中,对Mo/玻璃衬底上一步法电沉积Cu(In1-x,Gax)Se2(简写为CIGS)薄膜进行了研究.为了稳定溶液的化学性质,在溶液中加入邻苯二甲酸氢钾和氨基磺酸作为pH缓冲剂,将溶液的pH值控制在约2.5,并提高薄膜中Ga的含量.通过大量实验优化了溶液组成及电沉积条件,得到接近化学计量比贫Cu的CIGS薄膜(当Cu与In+Ga的摩尔比为1时,称为符合化学计量比的CIGS薄膜;当其比值为0.8-1时,称为贫Cu或富In的CIGS薄膜)预置层,薄膜表面光亮、致密、无裂纹.利用循环伏安法初步研究了一步法电沉积CIGS薄膜的反应机理,在沉积过程中,Se4+离子先还原生成单质Se,再诱导Cu2+、Ga3+和In3+发生共沉积.电沉积CIGS薄膜预置层在固态硒源280℃蒸发的硒气氛中进行硒化再结晶,有效改善了薄膜的结晶结构,且成份基本不发生变化,但是表面会产生大量的裂纹. 展开更多
关键词 沉积 Cu(In1-x Gax)Se2薄膜 循环伏安 pH缓冲溶液
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化学溶液分解法制备LaNiO_3薄膜的研究 被引量:7
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作者 李亚巍 孟祥建 +4 位作者 于剑 王根水 孙璟兰 褚君浩 张伟风 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期269-272,共4页
采用化学溶液分解法直接在单晶Si(10 0 )衬底上制备了LaNiO3 薄膜 ,研究了不同热处理气氛 (空气和氧气 )对薄膜的结晶性、晶粒尺寸、电阻率以及其上面生长的锆钛酸铅 (PZT)薄膜的影响 .结果发现二种气氛得到的LaNiO3 薄膜的电阻率相差较... 采用化学溶液分解法直接在单晶Si(10 0 )衬底上制备了LaNiO3 薄膜 ,研究了不同热处理气氛 (空气和氧气 )对薄膜的结晶性、晶粒尺寸、电阻率以及其上面生长的锆钛酸铅 (PZT)薄膜的影响 .结果发现二种气氛得到的LaNiO3 薄膜的电阻率相差较大 ,其中在氧气中制备的薄膜电阻率仅为在空气中得到的 1/ 2 .对LaNiO3 薄膜的导电机制进行了讨论 . 展开更多
关键词 化学溶液分解 镍酸镧薄膜 锆钛酸铅 电阻率 CSD 退火气氛 光电材料
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化学池沉积法制备CdS多晶薄膜及其性质 被引量:4
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作者 黎兵 蔡伟 +5 位作者 冯良桓 蔡亚平 李卫 郑家贵 张静全 武莉莉 《四川大学学报(工程科学版)》 EI CAS CSCD 2004年第1期49-52,共4页
采用化学池沉积(CBD)法,在3种不同衬底(玻片、ITO玻片、SnO2玻片)上沉积制备CdS多晶薄膜,并利用扫描电镜(SEM)、透射光谱、X射线衍射(XRD)和微电流高阻计等方法对沉积膜进行了测试分析,算出了CdS多晶薄膜的能隙宽度E0和电导激活能Ea,研... 采用化学池沉积(CBD)法,在3种不同衬底(玻片、ITO玻片、SnO2玻片)上沉积制备CdS多晶薄膜,并利用扫描电镜(SEM)、透射光谱、X射线衍射(XRD)和微电流高阻计等方法对沉积膜进行了测试分析,算出了CdS多晶薄膜的能隙宽度E0和电导激活能Ea,研究了CBD法中CdS多晶薄膜的生长沉积机制以及不同衬底对沉积效果的影响。结果表明:不同衬底的成膜效果差异较大,其中以SnO2玻片为衬底的沉积效果最佳。 展开更多
关键词 CdS多晶薄膜 化学沉积 太阳电池 制备工艺 薄膜结构 生长机制
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液相电化学沉积法制备高氮含量CN_x薄膜及性能的研究 被引量:3
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作者 张加涛 曹传宝 +2 位作者 吕强 李超 朱鹤孙 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期1251-1255,共5页
采用液相电化学沉积法 ,以二氰二胺的丙酮溶液为沉积液 ,以镀有 ITO(铟锡氧化膜 )的导电玻璃为衬底制备了 CNx 薄膜 .初步探讨了沉积温度和沉积电压对薄膜中氮含量的影响 .通过 XPS、 FTIR光谱、SEM和 US-Vis光谱对得到的 CNx 薄膜的化... 采用液相电化学沉积法 ,以二氰二胺的丙酮溶液为沉积液 ,以镀有 ITO(铟锡氧化膜 )的导电玻璃为衬底制备了 CNx 薄膜 .初步探讨了沉积温度和沉积电压对薄膜中氮含量的影响 .通过 XPS、 FTIR光谱、SEM和 US-Vis光谱对得到的 CNx 薄膜的化学结合状态、结构形貌和光学性质进行了表征 ,并用高电阻仪对薄膜的绝缘性进行了分析 .XPS结果表明 ,CNx 薄膜中碳氮主要以单键连接 ,sp3 杂化的 C— N键占 85 % .在 IR光谱中 ,仅出现了 C—N键和 C N双键的吸收峰 .SEM图谱显示 CNx 薄膜呈颗粒状 ,粒径平均为80 nm左右 .在水浴加热条件下沉积的 CNx 薄膜在 2 0 0~ 30 0 nm近紫外区为非线性吸收 .薄膜的电阻率随氮含量的增加而增大 ,测量值在 1 0 1 2~ 1 0 1 6Ω·cm之间 . 展开更多
关键词 液相电化学沉积 制备 CNX 薄膜 性能 碳氮键 膜材料
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