期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
单晶黑硅微结构对其反射率影响的研究
被引量：
6
1
作者
岳之浩
沈鸿烈
+3 位作者
蒋晔
陈伟龙
唐群涛
商威
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第16期16056-16060,共5页
采用Ag辅助化学腐蚀法在不同H2O2 浓度、腐蚀温度和腐蚀时间条件下制备了单晶黑硅微结构,并系统地研究了这种微结构对表面反射率的影响规律.采用场发射扫描电子显微镜对样品形貌进行了观察,并利用分光光度计对样品的表面反射率进行了测...
采用Ag辅助化学腐蚀法在不同H2O2 浓度、腐蚀温度和腐蚀时间条件下制备了单晶黑硅微结构,并系统地研究了这种微结构对表面反射率的影响规律.采用场发射扫描电子显微镜对样品形貌进行了观察,并利用分光光度计对样品的表面反射率进行了测试,最终采用陷光模型对黑硅微结构与其反射率的关系进行了深入分析.发现当腐蚀液为7.8 mol/LHF和0.6mol/LH2O2 混合液、腐蚀温度为20 ℃以及腐蚀时间为90s时,所制备黑硅的腐蚀深度为900nm,其表面平均反射率为0.98% （400-900nm）.
展开更多
关键词
ag辅助化学腐蚀法
单晶硅
微结构
反射率
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
单晶黑硅微结构对其反射率影响的研究
被引量：
6
1
作者
岳之浩
沈鸿烈
蒋晔
陈伟龙
唐群涛
商威
机构
南京航空航天大学材料科学与技术学院
南京航空航天大学
中天光伏技术有限公司
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第16期16056-16060,共5页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA03Z219)
江苏省前瞻性联合创新资助项目(BY2013003-08)
文摘
采用Ag辅助化学腐蚀法在不同H2O2 浓度、腐蚀温度和腐蚀时间条件下制备了单晶黑硅微结构,并系统地研究了这种微结构对表面反射率的影响规律.采用场发射扫描电子显微镜对样品形貌进行了观察,并利用分光光度计对样品的表面反射率进行了测试,最终采用陷光模型对黑硅微结构与其反射率的关系进行了深入分析.发现当腐蚀液为7.8 mol/LHF和0.6mol/LH2O2 混合液、腐蚀温度为20 ℃以及腐蚀时间为90s时,所制备黑硅的腐蚀深度为900nm,其表面平均反射率为0.98% （400-900nm）.
关键词
ag辅助化学腐蚀法
单晶硅
微结构
反射率
Keywords
Crystalline materials
Etching
Hydrofluoric acid
Microstructure
Reflection
Scanning electron microscopy
Silver
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
TN36 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单晶黑硅微结构对其反射率影响的研究
岳之浩
沈鸿烈
蒋晔
陈伟龙
唐群涛
商威
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
