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采用 PWM 静电伺服技术的微型角速度传感器
1
作者
罗晓章
张燕娥
周百令
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998年第1期1-3,共3页
本文介绍了采用ＰＷＭ静电伺服技术的微型角速度传感器的结构组成，分析了其工作机理，提出了其基本的检测原理。采用ＰＷＭ检测技术，使微弱、低频信号的高精度检测成为现实。
关键词
角速度传感器
静电伺服技术
硅微结构
传感器
在线阅读
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职称材料
题名
采用 PWM 静电伺服技术的微型角速度传感器
1
作者
罗晓章
张燕娥
周百令
机构
东南大学
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998年第1期1-3,共3页
基金
国防科技预研基金
文摘
本文介绍了采用ＰＷＭ静电伺服技术的微型角速度传感器的结构组成，分析了其工作机理，提出了其基本的检测原理。采用ＰＷＭ检测技术，使微弱、低频信号的高精度检测成为现实。
关键词
角速度传感器
静电伺服技术
硅微结构
传感器
Keywords
aangular speed microsensor
,
electrostatic servo technique
,
detection.
分类号
TH824.303 [机械工程—精密仪器及机械]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
采用 PWM 静电伺服技术的微型角速度传感器
罗晓章
张燕娥
周百令
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998
0
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