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AMHS在集成电路产业的发展趋势分析
被引量：
2
1
《电子工业专用设备》
2018年第3期4-6,共3页
阐述了AMHS技术在集成电路制造产业的发展历程,并结合AMHS系统的优势和国内外技术现状,通过分析国内集成电路产业的发展趋势,认为开发适用于国内集成电路生产厂家的AMHS系统是未来AMHS系统的一个发展趋势。
关键词
自动物料搬运系统
空中走行式无人搬送车
空中走行式穿梭车
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职称材料
基于双层编码遗传算法的晶圆制造排产系统
被引量：
3
2
作者
张乐
李锦华
杨红
《沈阳大学学报（自然科学版）》
CAS
2023年第2期132-140,共9页
为了解决晶圆制造排产系统的全局优化问题,首先考虑晶圆制造系统各设备之间的约束关系及晶圆卡等待时间成本、缓冲时间成本、搬运时间成本、设备状态转换时间成本,建立以晶圆制造整体加工时间成本最小为目标函数的数学模型;其次对遗传...
为了解决晶圆制造排产系统的全局优化问题,首先考虑晶圆制造系统各设备之间的约束关系及晶圆卡等待时间成本、缓冲时间成本、搬运时间成本、设备状态转换时间成本,建立以晶圆制造整体加工时间成本最小为目标函数的数学模型;其次对遗传算法编码方式进行改进寻找较优排产顺序;最后利用MATLAB对某晶圆加工制造企业真实数据进行仿真、求解,并与经典遗传算法和蚁群算法对比。3种算法迭代过程表明,改进的双层编码遗传算法在解决晶圆制造系统的排产问题中有明显优势,求解速度更快,搜索到较优解的时间更短、更准确,验证了模型的有效性。
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关键词
晶圆制造
自动物料搬运系统
排产系统
遗传算法
模型优化
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职称材料
整体式半导体自动物料搬运系统解死锁算法
3
作者
周琪
周炳海
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期1183-1189,共7页
为了有效地解决300 mm晶圆制造中整体式自动物料搬运系统的设备缓冲约束引起死锁的问题,构建了基于图论的两阶段解死锁算法.首先对问题域进行了形式化描述,在此基础上,证明了死锁产生和解除的充分条件,以关键设备死锁解除时间最小化为目...
为了有效地解决300 mm晶圆制造中整体式自动物料搬运系统的设备缓冲约束引起死锁的问题,构建了基于图论的两阶段解死锁算法.首先对问题域进行了形式化描述,在此基础上,证明了死锁产生和解除的充分条件,以关键设备死锁解除时间最小化为目标,建立了数学规划模型,并构造了解死锁算法.该启发式算法使用存储柜转存晶圆批来释放死锁的小车资源,并应用图论理论构造了多个并行路径来解除死锁.最后,对算法进行了仿真实验,结果表明该算法能有效求解设备缓冲约束引起的死锁问题.与其他解死锁方法相比,上述算法能有效减少解死锁时间,提高了关键设备的可用率.
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关键词
死锁
自动物料搬运系统
整体式布局
图论
缓冲约束
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职称材料
题名
AMHS在集成电路产业的发展趋势分析
被引量：
2
1
机构
上海新创达智能科技有限公司
出处
《电子工业专用设备》
2018年第3期4-6,共3页
文摘
阐述了AMHS技术在集成电路制造产业的发展历程,并结合AMHS系统的优势和国内外技术现状,通过分析国内集成电路产业的发展趋势,认为开发适用于国内集成电路生产厂家的AMHS系统是未来AMHS系统的一个发展趋势。
关键词
自动物料搬运系统
空中走行式无人搬送车
空中走行式穿梭车
Keywords
amhs （automatic material handling system）
OHT （Overhead Hoist Transfer）
OHS（Overhead Shuttle）
分类号
TN401 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
基于双层编码遗传算法的晶圆制造排产系统
被引量：
3
2
作者
张乐
李锦华
杨红
机构
沈阳大学智能科学与工程学院
沈阳大学信息工程学院
出处
《沈阳大学学报（自然科学版）》
CAS
2023年第2期132-140,共9页
基金
辽宁省兴辽英才计划项目(XLYC1807138)
沈阳市中青年科技创新人才支持计划项目(RC200530)。
文摘
为了解决晶圆制造排产系统的全局优化问题,首先考虑晶圆制造系统各设备之间的约束关系及晶圆卡等待时间成本、缓冲时间成本、搬运时间成本、设备状态转换时间成本,建立以晶圆制造整体加工时间成本最小为目标函数的数学模型;其次对遗传算法编码方式进行改进寻找较优排产顺序;最后利用MATLAB对某晶圆加工制造企业真实数据进行仿真、求解,并与经典遗传算法和蚁群算法对比。3种算法迭代过程表明,改进的双层编码遗传算法在解决晶圆制造系统的排产问题中有明显优势,求解速度更快,搜索到较优解的时间更短、更准确,验证了模型的有效性。
关键词
晶圆制造
自动物料搬运系统
排产系统
遗传算法
模型优化
Keywords
wafer fabrication
automatic
material
handling
system(
amhs
)
scheduling system
equilibrium analysis
model optimization
分类号
TH166 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
整体式半导体自动物料搬运系统解死锁算法
3
作者
周琪
周炳海
机构
同济大学机械与能源工程学院
出处
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期1183-1189,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(61273035)
2013"大型智能化装卸码头"智能制造装备发展专项
文摘
为了有效地解决300 mm晶圆制造中整体式自动物料搬运系统的设备缓冲约束引起死锁的问题,构建了基于图论的两阶段解死锁算法.首先对问题域进行了形式化描述,在此基础上,证明了死锁产生和解除的充分条件,以关键设备死锁解除时间最小化为目标,建立了数学规划模型,并构造了解死锁算法.该启发式算法使用存储柜转存晶圆批来释放死锁的小车资源,并应用图论理论构造了多个并行路径来解除死锁.最后,对算法进行了仿真实验,结果表明该算法能有效求解设备缓冲约束引起的死锁问题.与其他解死锁方法相比,上述算法能有效减少解死锁时间,提高了关键设备的可用率.
关键词
死锁
自动物料搬运系统
整体式布局
图论
缓冲约束
Keywords
deadlock
automatic
material
handling
system （
amhs
）
unified layout
graph theory
buffer-constraint
分类号
TP27 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
AMHS在集成电路产业的发展趋势分析
《电子工业专用设备》
2018
2
在线阅读
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职称材料
2
基于双层编码遗传算法的晶圆制造排产系统
张乐
李锦华
杨红
《沈阳大学学报（自然科学版）》
CAS
2023
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
整体式半导体自动物料搬运系统解死锁算法
周琪
周炳海
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
0
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