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基于MOCVD技术的长波AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器 被引量:10
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作者 李献杰 刘英斌 +6 位作者 冯震 过帆 赵永林 赵润 周瑞 娄辰 张世祖 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第4期435-438,共4页
采用n型掺杂背面入射AlGaAs/GaAs量子阱结构,用MOCVD外延生长和GaAs集成电路工艺,设计制作了大面积AlGaAs/GaAs QWIP单元测试器件和128×128、128×160、256×256 AlGaAs/GaAsQWIP焦平面探测器阵列。用液氮温度下的暗电流... 采用n型掺杂背面入射AlGaAs/GaAs量子阱结构,用MOCVD外延生长和GaAs集成电路工艺,设计制作了大面积AlGaAs/GaAs QWIP单元测试器件和128×128、128×160、256×256 AlGaAs/GaAsQWIP焦平面探测器阵列。用液氮温度下的暗电流和傅里叶红外响应光谱对单元测试器件进行了评估,针对不同材料结构,实现了9μm和10.9μm的截止波长;黑体探测率最高达到2.6×109 cm.Hz1/2.W-1。将128×128 AlGaAs/GaAs QWIP阵列芯片与CMOS读出电路芯片倒装焊互连,成功演示了室温环境下目标的红外热成像;并进一步讨论了提高QWIP组件成像质量的途径。 展开更多
关键词 MOCVD algaas/gaas 量子阱红外探测器 红外热成像
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AlGaAs/GaAs多量子阱红外探测器暗电流特性 被引量:3
2
作者 赵永林 李献杰 +3 位作者 蔡道民 周洲 郭亚娜 韩丽丽 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第z5期68-71,共4页
介绍了 AlGaAs/GaAs 多量子阱红外探测器(QWIP)暗电流与噪声的关系和降低暗电流的途径;基手湿法化学腐蚀工艺制作了300μm×300μm台面单元器件,并用变温液氦杜瓦测试系统在不同温度下对红外探测器暗电流进行了测试并分析。在温度小... 介绍了 AlGaAs/GaAs 多量子阱红外探测器(QWIP)暗电流与噪声的关系和降低暗电流的途径;基手湿法化学腐蚀工艺制作了300μm×300μm台面单元器件,并用变温液氦杜瓦测试系统在不同温度下对红外探测器暗电流进行了测试并分析。在温度小于40 K 时,随着温度的改变暗电流没有明显的变化;当温度大于40 K 时,暗电流随着温度的升高迅速变大,正、负偏压下 QWIP 暗电流具有不对称特性。 展开更多
关键词 algaas/gaas 量子阱红外探测器 暗电流
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InGaAs/AlGaAs/GaAs单量子阱激光器的研究 被引量:2
3
作者 王玉霞 王晓华 +3 位作者 李林 赵英杰 芦鹏 张晶 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2003年第4期76-77,共2页
利用金属有机化合物气相沉积 (MOCVD)技术 ,研制出了高质量的InGaAs/AlGaAs/GaAs单量子阱激光器 ,其有源区采用了分别限制单量子阱结构 (SCH -SQW) ,利用该材料做出的半导体激光器的连续输出功率大于 1W ,峰值波长 91 0nm± 2nm。
关键词 单量子阱激光器 金属有机化合物气相沉积 MOCVD Ingaas/algaas/gaas 分别限制异质结构
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高功率AlGaAs/GaAs单量子阱远结激光器及其老化特性
4
作者 张素梅 石家纬 +1 位作者 赵世舜 胡贵军 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期267-271,共5页
为了提高器件的可靠性和使用寿命 ,设计并研制了一种将p n结和有源层分开的高功率AlGaAs GaAs单量子阱远异质结 (SQW RJH)激光器 ,发射波长为 80 8nm ,腔长 90 0 μm ,条宽 1 0 0 μm ,其外延结构与通常的 80 8nmAlGaAs GaAs单量子阱半... 为了提高器件的可靠性和使用寿命 ,设计并研制了一种将p n结和有源层分开的高功率AlGaAs GaAs单量子阱远异质结 (SQW RJH)激光器 ,发射波长为 80 8nm ,腔长 90 0 μm ,条宽 1 0 0 μm ,其外延结构与通常的 80 8nmAlGaAs GaAs单量子阱半导体激光器的结构不同 ,在p n结和有源区间多了一层p型AlGaAs层 ,其厚度约为 0 1 μm。为减小衬底表面位错对外延层质量的影响 ,在n+ GaAs衬底和n Al0 5Ga0 5As下包层间加一层n+ GaAs缓冲层。对器件进行了电导数测试及恒流电老化实验。与常规AlGaAs GaAs大功率半导体激光器相比 ,远结大功率半导体激光器具有阈值电流Ith偏大、导通电压Vth偏高的直流特性。 30 0 0h的恒流电老化结果表明 ,器件在老化初期表现出阈值电流随老化时间缓慢下降 。 展开更多
关键词 高功率半导体激光器 远结 单量子阱 algaas/gaas
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AlGaAs/GaAs多量子阱光激发载流子弛豫过程的研究
5
作者 彭文基 林位株 +1 位作者 丘志仁 余振新 《量子电子学报》 CAS CSCD 1992年第1期17-18,共2页
当激发光子能量大于多量子阱中势垒层的能带隙时,自由载流子同时可以在势垒层以及势阱层产生,对这些载流子的弛豫过程的研究不论对其基本的物理过程的认识,还是对新的光电子器件的研制和应用都有着重要的意义。 本文首先采用飞秒(10<... 当激发光子能量大于多量子阱中势垒层的能带隙时,自由载流子同时可以在势垒层以及势阱层产生,对这些载流子的弛豫过程的研究不论对其基本的物理过程的认识,还是对新的光电子器件的研制和应用都有着重要的意义。 本文首先采用飞秒(10<sup>-15</sup>秒)饱和吸收光谱技术研究了Al<sub>0.3</sub>Ga<sub>0.7</sub>As(100?)/GaAs(60?)11层量子阱样品受激载流子的初始弛豫过程。飞秒激光脉冲是由对碰脉冲锁模环形染料激光器(CPM)产生的,脉冲的时间宽度为 58fs。 展开更多
关键词 多量子阱 algaas/gaas 弛豫过程 光激发 自由载流子 势垒层 染料激光器 荧光衰减时间 饱和吸收光谱 势阱
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微空气桥隔离的自对准AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管
6
作者 严北平 张鹤鸣 戴显英 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第11期132-133,136,共3页
利用微空气桥隔离和自对准技术成功地研制出了自对准结构的AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管 .器件展现出良好的直流和高频特性 .对于发射极面积为 2 μm× 15 μm的器件 ,直流电流增益大于 10 ,失调电压 (Offsetvoltage)2 0 0mV ;电流... 利用微空气桥隔离和自对准技术成功地研制出了自对准结构的AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管 .器件展现出良好的直流和高频特性 .对于发射极面积为 2 μm× 15 μm的器件 ,直流电流增益大于 10 ,失调电压 (Offsetvoltage)2 0 0mV ;电流增益截止频率fT 大于 30GHz,最高振荡频率fmax约为 5 0GHz. 展开更多
关键词 algaas/gaas 异质结 双极晶体管 微空气桥隔离
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AlGaAs/GaAs HBT基区电流的研究
7
作者 廖小平 魏同立 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1998年第6期34-39,共6页
在AlGaAs/GaAsHBTEM模型直流参数的研究基础上,对HBT的基区电流进行了研究,特别是针对BE结空间电荷区的复合电流和基区表面复合电流,因为在HBT的小偏置情况下,HBT的BE结空间电荷区的复合电流和基区表... 在AlGaAs/GaAsHBTEM模型直流参数的研究基础上,对HBT的基区电流进行了研究,特别是针对BE结空间电荷区的复合电流和基区表面复合电流,因为在HBT的小偏置情况下,HBT的BE结空间电荷区的复合电流和基区表面复合电流在整个基区电流中占有主导地位.当BE结间外加电压为0.5~1.2V时,AlGaAs/GaAsHBT的基区电流的计算机模拟值和测试值比较接近,这一研究结果有助于进一步了解HBT的直流特性和1/f噪声特性. 展开更多
关键词 基区电流 algaas/gaas HBT 空间电荷区 基区表面 复合电流 砷化镓晶体管 砷铝镓化合物晶体管
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自对准AlGaAs/GaAs准弹道异质结双极晶体管(B-HBT)
8
作者 陈效建 吴英 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1990年第2期233-234,共2页
HBT由于采用了宽禁带发射区,充分利用了EB异质结能带的特点,使器件同时具有高的基区掺杂浓度和注入效率,并且,击穿电压高,势垒电容小,因而,适用于超高速数字电路.准弹道HBT在上述基础上又利用了电子在基区内的准弹道渡越性质,使器件的... HBT由于采用了宽禁带发射区,充分利用了EB异质结能带的特点,使器件同时具有高的基区掺杂浓度和注入效率,并且,击穿电压高,势垒电容小,因而,适用于超高速数字电路.准弹道HBT在上述基础上又利用了电子在基区内的准弹道渡越性质,使器件的频率特性进一步改善,因而,特别适合于微波及毫米波应用.自对准工艺的实现,可充分降低外基区电阻与集电结电容,充分发挥了HBT的微波与高速性能. 展开更多
关键词 algaas/gaas 准弹道 双极晶体管
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自对准AlGaAs/GaAs微波异质结双极晶体管(HBT)
9
作者 吴英 陈效建 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1991年第3期225-229,共5页
本文提出了一种制作HBT采用的垂直台面结构自对准工艺.利用该工艺及对A1GaAs/GaAs具有高选择比的化学湿法腐蚀剂,已研制成微波HBT.发射区台面与基极电极间隙为0.1μm,最大直流电流增益为40,截止频率f_T为10GHz.
关键词 双极晶体管 异质结 algaas/gaas
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热电子注入AlGaAs/GaAs异质结Gunn二极管的实验研究
10
作者 陈效建 张洪治 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1991年第2期175-176,共2页
利用能谷间电子转移效应的Gunn二极管问世已二十余年,至今仍是微波,尤其是毫米波领域中最主要的有源器件之一.但是传统的Gunn二极管在短毫米波范围使用时,由于载流子以“冷”态随机地进入有源区,因而存在“死区”,使短毫米波器件中有源... 利用能谷间电子转移效应的Gunn二极管问世已二十余年,至今仍是微波,尤其是毫米波领域中最主要的有源器件之一.但是传统的Gunn二极管在短毫米波范围使用时,由于载流子以“冷”态随机地进入有源区,因而存在“死区”,使短毫米波器件中有源区的利用率明显降低,造成效率下降;而且这种随机分布的“冷”电子转变为“热” 展开更多
关键词 异质结二极管 注入 algaas/gaas
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AlGaAs/GaAsHBT的设计与研制
11
作者 胡海蓉 牛萍娟 +1 位作者 胡海洋 郭维廉 《河北工业大学学报》 CAS 2005年第6期87-90,共4页
分析了AlGaAs/GaAsHBT的原理和材料结构,详细介绍了AlGaAs/GaAsHBT的器件结构及工艺流程,并对两方面进行了优化,研制出了特性较好的AlGaAs/GaAsHBT,其电流放大系数达到180,是目前国内报道的最高水平;开启电压小于0.3V.
关键词 algaas/gaas 异质结双极晶体管 工艺
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高功率808nmAlGaAs/GaAs基半导体激光器巴条的热耦合特征(英文) 被引量:3
12
作者 乔彦彬 陈燕宁 +1 位作者 赵东艳 张海峰 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期10-13,35,共5页
利用红外热成像技术和有限元方法在实验和理论上研究了高功率808 nm半导体激光器巴条热耦合特征,给出了稳态和瞬态热分析,呈现了详细的激光器巴条热耦合轮廓.发现器件稳态温升随工作电流呈对数增加,热耦合也随之增加且主要发生在芯片级... 利用红外热成像技术和有限元方法在实验和理论上研究了高功率808 nm半导体激光器巴条热耦合特征,给出了稳态和瞬态热分析,呈现了详细的激光器巴条热耦合轮廓.发现器件稳态温升随工作电流呈对数增加,热耦合也随之增加且主要发生在芯片级.另外,作者利用热阻并联模型解释了芯片级热时间常数随工作电流减小的现象. 展开更多
关键词 半导体技术 热耦合特征 红外热成像技术 有限元 高功率808 nm algaas/gaas基半导体激光器巴条
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The High Quantum Efficiency of Exponential-Doping AlGaAs/GaAs Photocathodes Grown by Metalorganic Chemical Vapor Deposition 被引量:2
13
作者 ZHANG Yi-Jun ZHAO Jing +3 位作者 ZOU Ji-Jun NIU Jun CHEN Xin-Long CHANG Ben-Kang 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2013年第4期88-91,共4页
An exponential-doping structure is successfully applied to the preparation of AlGaAs/GaAs photocathodes through the metalorganic chemical vapor deposition(MOCVD)technique.The experimental results show that the quantum... An exponential-doping structure is successfully applied to the preparation of AlGaAs/GaAs photocathodes through the metalorganic chemical vapor deposition(MOCVD)technique.The experimental results show that the quantum efficiency in the entire waveband region for the exponential-doping photocathodes grown by MOCVD is remarkably enhanced as compared to those grown by molecular beam epitaxy.As a result of the improved built-in electric fields and cathode performance parameters,the photoemission characteristics for the MOCVD-grown transmission-mode and reflection-mode AlGaAs/GaAs photocathodes are different over the wavelength region of interest. 展开更多
关键词 algaas/gaas MOCVD MODE
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高速AlGaAs/GaAs HBT D-触发器和静态分频器 被引量:1
14
作者 曾庆明 徐晓春 +5 位作者 李献杰 敖金平 王全树 郭建魁 刘伟吉 揭俊锋 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期183-185,共3页
叙述了高速 Al Ga As/ Ga As HBT D-触发器和静态分频器的设计、制造和性能。用电流型逻辑和自对准工艺 ,D-触发器上升和下降时间都小于 80 ps,静态分频器在 0~
关键词 A1gaas/gaas HBT D-触发器 静态分频器 异质结双极晶体管 铝镓硅三元化合物
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AlGaAs/GaAs HBT的低频噪声 被引量:1
15
作者 廖小平 顾世惠 +1 位作者 林金庭 魏同立 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1998年第3期275-279,共5页
测试了AlGaAs/GaAsHBT的低频噪声,并将测试结果分解为1/f噪声、G-R噪声和白噪声,阐述了它们的产生机理,在此基础上建立了AlGaAs/GaAsHBT输入噪声电压的等效电路模型,该模型有助于AlGaAs/GaAsHBT电路的CAD。
关键词 HBT 低频噪声 化合物晶体管
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应用Volterra级数分析AlGaAs/GaAsHBT的三阶互调失真 被引量:1
16
作者 廖小平 林金庭 魏同立 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1998年第4期425-430,共6页
分析了AlGaAs/GaAsHBT的非线性失真产生的机理,应用Volterra级数理论计算了AlGaAs/GaAsHBT的三阶互调失真,理论值与实测值吻合较好,获得了AlGaAs/GaAsHBT的非线性失真量比较弱的结果,其值并不像人们认为的那样强,并解释了HBT高线性... 分析了AlGaAs/GaAsHBT的非线性失真产生的机理,应用Volterra级数理论计算了AlGaAs/GaAsHBT的三阶互调失真,理论值与实测值吻合较好,获得了AlGaAs/GaAsHBT的非线性失真量比较弱的结果,其值并不像人们认为的那样强,并解释了HBT高线性度的原因,这证明了AlGaAs/GaAsHBT在抗干扰方面的潜在能力。 展开更多
关键词 VOLTERRA级数 铝镓砷 砷化镓 异质结 双极晶体管
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AlGaAs/GaAs PIN超宽带微波毫米波单刀三掷开关
17
作者 章军云 齐志央 +5 位作者 凌志健 尹志军 王溯源 李信 王学鹏 陈堂胜 《固体电子学研究与进展》 CAS 北大核心 2022年第5期357-362,共6页
研制了基于异质结AlGaAs/GaAs PIN二极管的超宽带微波毫米波开关单片。通过异质结外延材料结构的设计和MOCVD生长技术、高台面PIN开关电路制备工艺技术、超宽带模型管S参数测试与电路设计,制作了一款0.05~50 GHz的超宽带PIN单刀三掷开... 研制了基于异质结AlGaAs/GaAs PIN二极管的超宽带微波毫米波开关单片。通过异质结外延材料结构的设计和MOCVD生长技术、高台面PIN开关电路制备工艺技术、超宽带模型管S参数测试与电路设计,制作了一款0.05~50 GHz的超宽带PIN单刀三掷开关。测试结果表明:该微波毫米波开关在0.05~18 GHz频带内插入损耗为0.5~0.75 dB,隔离度大于41 dB;18~50 GHz频带内插入损耗为0.75~1.2 dB,隔离度大于27 dB;具有低插入损耗和高隔离度的开关切换特性。 展开更多
关键词 铝镓砷 砷化镓 异质结 PIN二极管 毫米波 单刀三掷开关
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MBE生长的高性能MDAlGaAs/GaAs结构材料 被引量:1
18
作者 彭正夫 张允强 +4 位作者 高翔 孙娟 黄文裕 陈效建 刘军 《半导体情报》 1991年第6期11-13,共3页
本文报道了用国产MBE装置和源材料生长调制掺杂(MD)AlGaAs/GaAs结构材料,用霍耳效应、光荧光测量材料的电学和光学性能,用电化学C-V检测分布特性,用电光检测法评估材料的均匀性。用该材料研制栅长0.5μm的HEMT器件,其跨导为200mS/mm,12... 本文报道了用国产MBE装置和源材料生长调制掺杂(MD)AlGaAs/GaAs结构材料,用霍耳效应、光荧光测量材料的电学和光学性能,用电化学C-V检测分布特性,用电光检测法评估材料的均匀性。用该材料研制栅长0.5μm的HEMT器件,其跨导为200mS/mm,12GHz下的噪声系数达到0.76dB,相关增益6.5dB。 展开更多
关键词 分子束外延 异质结 algaas/gaas
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高频溅射SiO_2膜掩蔽GaAs和AlGaAs/GaAs中Zn扩散的研究
19
作者 王雷 张培亮 +1 位作者 刘静 王志忠 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第4期122-124,共3页
本文报导了在GaAs、AlGaAs表面上用高频溅射法制备SiO_2膜的淀积规律,特别对用SiO_2膜掩蔽GaAs、AlGaAs/GaAs中的Zn扩散进行了实验研究,结果证明用高频溅射制备SiO_2膜可以有效地掩蔽GaAs,AlGaAs/GaAs中的Zn扩散。
关键词 SIO2膜 溅射 gaas gaas/gaas ZN
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45°内反射镜高功率InGaAs/AlGaAs/GaAs面发射半导体激光器结构设计和制备
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作者 李梅 曲轶 +4 位作者 王晓华 徐莉 李辉 刘维峰 刘国军 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期395-398,共4页
研究了具有45°内反射镜的0 98μm辐射波长的应变InGaAs/AlGaAs/GaAs单量子阱面发射半导体激光器结构,并采用MBE方法进行了材料制备。同时利用X射线双晶衍射,低温(10K)光致发光(PL)和电化学C V方法检测和分析了外延薄膜的光电和结... 研究了具有45°内反射镜的0 98μm辐射波长的应变InGaAs/AlGaAs/GaAs单量子阱面发射半导体激光器结构,并采用MBE方法进行了材料制备。同时利用X射线双晶衍射,低温(10K)光致发光(PL)和电化学C V方法检测和分析了外延薄膜的光电和结构特性。在光致发光谱线中我们得到了发射波长0 919μm的谱峰,谱峰范围跨跃0 911~0 932μm,双晶回摆曲线、电化学C V分布曲线显示所设计的结构基本得到实现。 展开更多
关键词 面发射半导体激光器 分子束外延 双晶回摆曲线 内反射镜 结构设计 制备 Ingaas/A1gaas/gaas 单量子阱
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