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A1含量对(Ti,Al)N膜结构性能影响的研究进展 被引量:1
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作者 李国芳 王顺花 石宗利 《有色金属》 CSCD 北大核心 2008年第3期53-57,共5页
(Ti,A1)N是在TiN基础上发展起来的一种多元膜,目前A1元素对(Ti,Al)N膜的性能影响研究较多,但是不够系统,而且存在一些矛盾之处。综述了Al元素在(Ti,Al)N膜中的作用机理和Al铝含量对(Ti,Al)N膜结构、抗高温氧化、硬度、耐磨性、结合强度... (Ti,A1)N是在TiN基础上发展起来的一种多元膜,目前A1元素对(Ti,Al)N膜的性能影响研究较多,但是不够系统,而且存在一些矛盾之处。综述了Al元素在(Ti,Al)N膜中的作用机理和Al铝含量对(Ti,Al)N膜结构、抗高温氧化、硬度、耐磨性、结合强度等的影响,指出了(Ti,Al)N膜的发展方向。 展开更多
关键词 金属材料 (Ti a1)n 综述 结构 性能
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