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高性能980nm单模半导体激光器 被引量:3
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作者 李辉 曲轶 +2 位作者 高欣 薄报学 刘国军 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1110-1113,共4页
采用经过优化的新型大光腔结构,设计出低发散角的980nm半导体激光器,利用分子束外延系统生长出应变InGaAs量子阱半导体激光器材料,并制作出980nm单模半导体激光器。器件在3μm条宽,750μm腔长时,100mA电流下室温连续输出功率达到70mW以... 采用经过优化的新型大光腔结构,设计出低发散角的980nm半导体激光器,利用分子束外延系统生长出应变InGaAs量子阱半导体激光器材料,并制作出980nm单模半导体激光器。器件在3μm条宽,750μm腔长时,100mA电流下室温连续输出功率达到70mW以上。激光器的最大斜率效率为0.89W/A.垂直方向远场发散角为28°.器件在250mA工作电流下输出功率达到190mW.器件在70℃温度下仍可以正常工作。 展开更多
关键词 光电子学与激光技术 980nm单模半导体激光器 高功率 低发散角
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GaAs基红外波段半导体激光器固态源Zn扩散技术研究
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作者 石孟杰 陈泳屹 +2 位作者 宋悦 秦莉 王立军 《光通信技术》 北大核心 2025年第4期25-29,共5页
为优化980 nm波段GaAs基半导体激光器的掺杂工艺并提升性能,研究了以固态Zn化合物薄膜为扩散源的Zn扩散技术,通过真空镀膜和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备ZnO扩散源及SiO_(2)盖层,结合不同退火条件调控Zn在GaAs及InGaAs/GaAs... 为优化980 nm波段GaAs基半导体激光器的掺杂工艺并提升性能,研究了以固态Zn化合物薄膜为扩散源的Zn扩散技术,通过真空镀膜和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备ZnO扩散源及SiO_(2)盖层,结合不同退火条件调控Zn在GaAs及InGaAs/GaAs/GaAsP异质结构中的扩散行为,利用多种测试方法分析其扩散规律及对器件性能的影响。实验结果表明:Zn的扩散深度随退火温度和时间增加而加深,杂质浓度达到约10^(20)cm^(-3)量级,纵向与横向扩散深度比为1∶1,且Zn杂质在多层异质结构中的扩散行为显著影响了激光器的光致发光特性和有源区的完整性。 展开更多
关键词 半导体激光器 杂质扩散 ZNO 980nm GAAS
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980nm半导体激光器双布拉格光纤光栅波长锁定器 被引量:8
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作者 李毅 黄毅泽 +4 位作者 王海方 俞晓静 张虎 张伟 朱慧群 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1468-1475,共8页
提出了优化由两个均匀布拉格光纤光栅组成的980nm半导体激光器波长锁定器的方法以满足光纤放大器对半导体激光器的性能要求。运用耦合模理论推导了双布拉格光纤光栅(FBG)的透射率和反射率的解析表达式和波长锁定器增益方程。研究了两光... 提出了优化由两个均匀布拉格光纤光栅组成的980nm半导体激光器波长锁定器的方法以满足光纤放大器对半导体激光器的性能要求。运用耦合模理论推导了双布拉格光纤光栅(FBG)的透射率和反射率的解析表达式和波长锁定器增益方程。研究了两光栅之间的距离、光栅到激光器前端面的距离、光栅折射率、光栅折射率周期、光栅栅长和温度对激光器增益曲线的影响,并通过优化这些参数来达到最佳的锁模性能。测量了带双FBG波长锁定器的非致冷半导体激光器的输出光谱和出纤功率。实验结果表明:高功率非致冷980nm半导体激光器在0~70℃时的波长漂移为0.5nm,边模抑制比达45dB以上,半峰值全宽度<1nm。经优化设计的980nm半导体激光器FBG波长锁定器可满足光纤放大器对非致冷半导体激光器大功率、长寿命、高可靠性、小尺寸等性能的要求。 展开更多
关键词 980nm半导体激光器 双布拉格光纤光栅 波长锁定器 边模抑制比
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980nm半导体激光器n型波导结构优化 被引量:3
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作者 安宁 芦鹏 +3 位作者 魏志鹏 李占国 马晓辉 刘国军 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期105-109,共5页
为了提高980nm半导体激光器的输出功率并获得较小的远场发散角,在非对称波导结构的基础上设计了n型波导结构,即在n型波导中引入高折射率的内波导层。采用理论计算和SimLastip软件模拟对常规非对称波导结构和内波导结构进行了研究。利用... 为了提高980nm半导体激光器的输出功率并获得较小的远场发散角,在非对称波导结构的基础上设计了n型波导结构,即在n型波导中引入高折射率的内波导层。采用理论计算和SimLastip软件模拟对常规非对称波导结构和内波导结构进行了研究。利用分子束外延系统生长980nm内波导结构的外延材料,并制作了激光器。对于条宽为100μm、腔长为1000μm的器件,阈值电流为97mA,斜率效率为1.01W/A;当注入电流为500mA时,远场发散角为29°(垂直向)×8°(水平向),与模拟结果相符。理论计算和实验结果表明:较之于常规非对称波导结构,内波导结构可有效降低光场限制因子,提高输出功率,减小远场发散角。 展开更多
关键词 980 nm半导体激光器 输出功率 内波导 远场发散角
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980nm半导体激光器可靠性的研究现状分析 被引量:4
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作者 刘斌 张敬明 +4 位作者 刘媛媛 王晓薇 方高瞻 马骁宇 肖建伟 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期1-2,共2页
本文介绍了提高980nm 半导体激光器可靠性的几种方案,并做了综台评述。进一步介绍了离子辅助镀膜技术在提高980nm激光器可靠性方面的应用。
关键词 980nm半导体激光器 可靠性 现状 离子辅助镀膜 COD 掺铒光纤放大器
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GaAs基980 nm高功率半导体激光器的研究进展 被引量:4
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作者 胡雪莹 董海亮 +3 位作者 贾志刚 张爱琴 梁建 许并社 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2021年第2期381-390,共10页
GaAs基980 nm半导体激光器在材料加工、通信和医疗等领域有着重要应用。应变量子阱结构的出现提高了GaAs基半导体激光器的转换效率、输出功率和可靠性。本文综述了高功率GaAs基量子阱激光器历史发展,介绍了高功率半导体激光器的外延结... GaAs基980 nm半导体激光器在材料加工、通信和医疗等领域有着重要应用。应变量子阱结构的出现提高了GaAs基半导体激光器的转换效率、输出功率和可靠性。本文综述了高功率GaAs基量子阱激光器历史发展,介绍了高功率半导体激光器的外延结构、芯片结构和封装结构设计,重点阐述了影响高功率GaAs基量子阱激光器光电性能、散热和实际应用的问题。针对以上问题讨论了相应解决方案及研究成果,并指出了各个方案的不足之处和改进方向。最后,总结了高功率半导体激光器的发展现状,对高功率半导体激光器发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 GaAs基 高功率 980 nm半导体激光器 应变量子阱结构 转换效率 光电性能
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980nm脊型波导激光器腔面非注入区的研究 被引量:8
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作者 刘斌 张敬明 +1 位作者 马骁宇 肖建伟 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期109-111,共3页
报导了质子注入技术在提高980nm半导体激光器可靠性上的应用。p-GaAs材料经过质子注入后获得高的电阻率。在距离腔面25μm的区域内进行质子注入,由此形成腔面附近的电流非注入区。腔面附近非注入区减少了腔面载流子的注入,因此减少了非... 报导了质子注入技术在提高980nm半导体激光器可靠性上的应用。p-GaAs材料经过质子注入后获得高的电阻率。在距离腔面25μm的区域内进行质子注入,由此形成腔面附近的电流非注入区。腔面附近非注入区减少了腔面载流子的注入,因此减少了非辐射复合的发生,提高了激光器的灾变性光学损伤(COD)阈值。应用质子注入形成腔面非注入区的管芯的平均COD阈值功率达到268mW,而应用常规工艺的管芯的平均COD阈值功率为178mW。同常规工艺相比,应用质子注入形成腔面非注入区技术使管芯的COD阈值功率提高了50%。 展开更多
关键词 980nm半导体激光器 可靠性 质子注入 非注入区 COD 灾变性光学损伤阈值 掺饵光纤放大器
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