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基于六维微位移传感器的并联微操作台全闭环控制
被引量：
1
1
作者
许辉焱
赵现朝
+1 位作者
高峰
张建政
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2009年第4期117-120,共4页
以一种新型的6-PSS并联微操作台为对象,将六维微位移传感器应用于微操作台的终端运动平台,设计了一种全闭环的控制系统。介绍了系统各部分的结构组成和工作原理,包括6-PSS微操作台结构及其运动学分析、六维微位移传感器组成与原理。由...
以一种新型的6-PSS并联微操作台为对象,将六维微位移传感器应用于微操作台的终端运动平台,设计了一种全闭环的控制系统。介绍了系统各部分的结构组成和工作原理,包括6-PSS微操作台结构及其运动学分析、六维微位移传感器组成与原理。由开闭环下的实验结论比较得知,通过基于六维微位移传感器的全闭环控制,系统定位精度得到提高,实现了终端运动平台六维位姿的精确控制。
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关键词
6-pss微操作台
六维
微
位移传感器
全闭环控制系统
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职称材料
题名
基于六维微位移传感器的并联微操作台全闭环控制
被引量：
1
1
作者
许辉焱
赵现朝
高峰
张建政
机构
上海交通大学机械与动力工程学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2009年第4期117-120,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60534020)
国家"973"重点基础研究发展计划资助项目(2006CB705400)
文摘
以一种新型的6-PSS并联微操作台为对象,将六维微位移传感器应用于微操作台的终端运动平台,设计了一种全闭环的控制系统。介绍了系统各部分的结构组成和工作原理,包括6-PSS微操作台结构及其运动学分析、六维微位移传感器组成与原理。由开闭环下的实验结论比较得知,通过基于六维微位移传感器的全闭环控制,系统定位精度得到提高,实现了终端运动平台六维位姿的精确控制。
关键词
6-pss微操作台
六维
微
位移传感器
全闭环控制系统
Keywords
6
-pss
micro-manipulation platform
f-axis micro-displacement sensor
full-closed loop control system
分类号
TP212.9 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于六维微位移传感器的并联微操作台全闭环控制
许辉焱
赵现朝
高峰
张建政
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2009
1
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