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题名平面绝对检测闭环自检实验研究
被引量：3
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作者
张凌华
韩森
吴泉英
唐寿鸿
李雪园
王全召
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机构
苏州科技大学
苏州慧利仪器有限责任公司
上海理工大学
苏州维纳仪器有限责任公司
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2019年第2期208-212,共5页
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基金
国家重大科学仪器设备开发专项(2016YFF0101900)
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文摘
基于Ai C和Wyant J C的奇偶函数法,提出了4步旋转绝对检测方法,减少了旋转次数,将第二次测量的旋转角度选为90°。实验基于HOOL L9600A-HS3干涉仪,采用4步旋转绝对检测方法,将3个平面两两互检计算出3个平面的绝对面形。其中平面C的表面面形起伏高度均方根(RMS)值和峰谷(PV)值分别为3. 460 nm和35. 227 nm,经闭环自检后的测量结果分别为3. 783 nm和34. 305 nm以及3. 669 nm和34. 252 nm,数据基本一致,表明测量数据能够实现闭环自检。使用该方法对中国计量科学研究院的标准平面镜进行测量,平面的RMS值和峰谷PV值分别为2. 400 nm和19. 600 nm,与该院的测量结果 2. 000 nm和16. 000 nm对比,两者的测量偏差在nm量级,充分证明了实验的有效性及高重复性;此外实验还分析了温度对测量结果的影响。
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关键词
计量学
面形测量
4步旋转绝对检测法
闭环自检
重复性
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Keywords
metrology
surface topography
four-step rotary absolute test method
closed-loop self-test
repeatability
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分类号
TB96
[机械工程—光学工程]
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