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准分子激光加工表面微观形貌测量和数据处理方法研究
被引量：
7
1
作者
刘莹
陈定方
温诗铸
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第19期1692-1695,共4页
用紫外波长为 λ=2 4 8nm的准分子激光器 ,分辨率为 5 0 nm的精密微动工作台及其控制器 ,在一定的工艺参数下 ,对 Al2 O3陶瓷、不锈钢等材料表面分别进行准分子激光加工 ,构建准分子激光加工表面微观形貌。对加工表面的几何形貌分别采...
用紫外波长为 λ=2 4 8nm的准分子激光器 ,分辨率为 5 0 nm的精密微动工作台及其控制器 ,在一定的工艺参数下 ,对 Al2 O3陶瓷、不锈钢等材料表面分别进行准分子激光加工 ,构建准分子激光加工表面微观形貌。对加工表面的几何形貌分别采用扫描电子显微镜 ( SEM)、表面形貌仪进行测量 ,并通过对 SEM图像的 3维数字化处理 ,得出表面 3维形貌图。同时用Mat L ab处理表面形貌仪的测量数据和计算表面形貌统计参数。
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关键词
数据
处理
准分子激光加工
表面微观形貌
统计参数计算
3维数字化处理
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职称材料
题名
准分子激光加工表面微观形貌测量和数据处理方法研究
被引量：
7
1
作者
刘莹
陈定方
温诗铸
机构
南昌大学
武汉理工大学物流工程系
清华大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第19期1692-1695,共4页
基金
国家自然科学基金资助重点项目 (5 0 13 5 0 40 )
江西省自然科学基金资助项目 (0 2 5 0 0 18)
江西省教育厅资助科技项目
文摘
用紫外波长为 λ=2 4 8nm的准分子激光器 ,分辨率为 5 0 nm的精密微动工作台及其控制器 ,在一定的工艺参数下 ,对 Al2 O3陶瓷、不锈钢等材料表面分别进行准分子激光加工 ,构建准分子激光加工表面微观形貌。对加工表面的几何形貌分别采用扫描电子显微镜 ( SEM)、表面形貌仪进行测量 ,并通过对 SEM图像的 3维数字化处理 ,得出表面 3维形貌图。同时用Mat L ab处理表面形貌仪的测量数据和计算表面形貌统计参数。
关键词
数据
处理
准分子激光加工
表面微观形貌
统计参数计算
3维数字化处理
Keywords
excimer laser processing surface micro-topography statistic parameters
3
-dimensional digital processing approach
分类号
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TG84 [金属学及工艺—公差测量技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
准分子激光加工表面微观形貌测量和数据处理方法研究
刘莹
陈定方
温诗铸
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
7
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