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激光等离子体13.5 nm极紫外光刻光源进展
被引量：
23
1
作者
宗楠
胡蔚敏
+5 位作者
王志敏
王小军
张申金
薄勇
彭钦军
许祖彦
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第1期28-42,共15页
半导体产业是高科技、信息化时代的支柱。光刻技术,作为半导体产业的核心技术之一,已成为世界各国科研人员的重点研究对象。本文综述了激光等离子体13.5 nm极紫外光刻的原理和国内外研究发展概况,重点介绍了其激光源、辐射靶材和多层膜...
半导体产业是高科技、信息化时代的支柱。光刻技术,作为半导体产业的核心技术之一,已成为世界各国科研人员的重点研究对象。本文综述了激光等离子体13.5 nm极紫外光刻的原理和国内外研究发展概况,重点介绍了其激光源、辐射靶材和多层膜反射镜等关键系统组成部分。同时,指出了在提高激光等离子体13.5 nm极紫外光源输出功率的研究进程中所存在的主要问题,包括提高转换效率和减少光源碎屑。特别分析了目前已实现百瓦级输出的日本Gigaphoton公司和荷兰的ASML公司的极紫外光源装置。最后对该项技术的发展前景进行了总结与展望。
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关键词
13.5
nm
极紫外光刻技术
激光等离子体
极紫外光源
转换效率
光源碎屑
预脉冲激光
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职称材料
等离子体尺寸对放电极紫外光源影响
被引量：
4
2
作者
赵永蓬
徐强
+1 位作者
李琦
王骐
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期2631-2635,共5页
计算了放电等离子体极紫外光刻光源中，不同等离子体长度条件下的收集效率，实验上研究了等离子体长度对Xe气放电极紫外辐射的影响。结合本系统光学收集系统设计参数和理论计算结果，给出了不同等离子体长度条件下中间焦点处13．5nm（2...
计算了放电等离子体极紫外光刻光源中，不同等离子体长度条件下的收集效率，实验上研究了等离子体长度对Xe气放电极紫外辐射的影响。结合本系统光学收集系统设计参数和理论计算结果，给出了不同等离子体长度条件下中间焦点处13．5nm（2％带宽）光功率。结果表明等离子体长度为3～6mm时毛细管光源中间焦点光功率和尺寸最优。
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关键词
极紫外光刻光源
毛细管放电
Xe等离子体
13
5
nm
辐射
Z箍缩
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职称材料
毛细管内径对Xe气放电极紫外光源的影响
3
作者
徐强
赵永蓬
+2 位作者
李小强
李琦
王骐
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014年第9期2873-2877,共5页
极紫外光源功率是影响光源使用的关键参数,研究放电等离子体EUV光源等离子体时间特性,优化放电结构和光源功率具有重要意义。理论上计算了不同内径毛细管内等离子体压缩过程和收集效率,实验上采用极紫外探测器测量了毛细管内径对Xe气极...
极紫外光源功率是影响光源使用的关键参数,研究放电等离子体EUV光源等离子体时间特性,优化放电结构和光源功率具有重要意义。理论上计算了不同内径毛细管内等离子体压缩过程和收集效率,实验上采用极紫外探测器测量了毛细管内径对Xe气极紫外光源13.5nm(2%带宽)辐射输出时间特性的影响,分析了毛细管内径对等离子状态的影响。结合该系统光学收集系统设计参数、不同内径毛细管收集效率和极紫外探测器信号强度,给出了不同内径毛细管中间焦点处13.5nm(2%带宽)光功率比。结果表明:气压7Pa、电流28kA时,毛细管内径7mm条件下,光源中间焦点处光功率最优化。
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关键词
毛细管放电
极紫外光刻光源
Xe等离子体
13.5
nm
辐射
Z箍缩
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职称材料
题名
激光等离子体13.5 nm极紫外光刻光源进展
被引量：
23
1
作者
宗楠
胡蔚敏
王志敏
王小军
张申金
薄勇
彭钦军
许祖彦
机构
中国科学院固体激光重点实验室
中国科学院功能晶体与激光技术重点实验室
中国科学院大学
出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第1期28-42,共15页
基金
国家重点研发项目(No.2016YFB0402103)
中科院关键技术团队项目(No.GJJSTD20180004)
+3 种基金
中科院理化所所长基金(No.Y8A9021H11)
国家重大科研装备研制项目(No.ZDYZ2012-2)
国家重大科学仪器设备开发专项(No.2012YQ120048)
国家自然科学重点基金项目(No.61535013)~~
文摘
半导体产业是高科技、信息化时代的支柱。光刻技术,作为半导体产业的核心技术之一,已成为世界各国科研人员的重点研究对象。本文综述了激光等离子体13.5 nm极紫外光刻的原理和国内外研究发展概况,重点介绍了其激光源、辐射靶材和多层膜反射镜等关键系统组成部分。同时,指出了在提高激光等离子体13.5 nm极紫外光源输出功率的研究进程中所存在的主要问题,包括提高转换效率和减少光源碎屑。特别分析了目前已实现百瓦级输出的日本Gigaphoton公司和荷兰的ASML公司的极紫外光源装置。最后对该项技术的发展前景进行了总结与展望。
关键词
13.5
nm
极紫外光刻技术
激光等离子体
极紫外光源
转换效率
光源碎屑
预脉冲激光
Keywords
13.5
nm
extreme
ultraviolet
lithography
(
13.5
nm-euvl
)
Laser-Produced Plasma(LPP)
extreme
ultraviolet
source
Conversion Efficiency(CE)
light debris
pre-pulse laser
分类号
O432.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
等离子体尺寸对放电极紫外光源影响
被引量：
4
2
作者
赵永蓬
徐强
李琦
王骐
机构
哈尔滨工业大学可调谐(气体)激光技术国家级重点实验室
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期2631-2635,共5页
基金
国家自然科学基金重点项目(60838005)
国家科技重大专项(2008ZX02501)
文摘
计算了放电等离子体极紫外光刻光源中，不同等离子体长度条件下的收集效率，实验上研究了等离子体长度对Xe气放电极紫外辐射的影响。结合本系统光学收集系统设计参数和理论计算结果，给出了不同等离子体长度条件下中间焦点处13．5nm（2％带宽）光功率。结果表明等离子体长度为3～6mm时毛细管光源中间焦点光功率和尺寸最优。
关键词
极紫外光刻光源
毛细管放电
Xe等离子体
13
5
nm
辐射
Z箍缩
Keywords
extreme
ultraviolet
source
capillary diseharge
Xe plasma
13.5
nm
emission
Z pinch
分类号
TN23 [电子电信—物理电子学]
O434.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
毛细管内径对Xe气放电极紫外光源的影响
3
作者
徐强
赵永蓬
李小强
李琦
王骐
机构
哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014年第9期2873-2877,共5页
基金
国家自然科学基金(60838005)
国家科技重大专项(2008ZX02501)
文摘
极紫外光源功率是影响光源使用的关键参数,研究放电等离子体EUV光源等离子体时间特性,优化放电结构和光源功率具有重要意义。理论上计算了不同内径毛细管内等离子体压缩过程和收集效率,实验上采用极紫外探测器测量了毛细管内径对Xe气极紫外光源13.5nm(2%带宽)辐射输出时间特性的影响,分析了毛细管内径对等离子状态的影响。结合该系统光学收集系统设计参数、不同内径毛细管收集效率和极紫外探测器信号强度,给出了不同内径毛细管中间焦点处13.5nm(2%带宽)光功率比。结果表明:气压7Pa、电流28kA时,毛细管内径7mm条件下,光源中间焦点处光功率最优化。
关键词
毛细管放电
极紫外光刻光源
Xe等离子体
13.5
nm
辐射
Z箍缩
Keywords
capillary discharge
extreme
ultraviolet
source
Xe plasma
13.5
nm
emission
Z pinch
分类号
TN23 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光等离子体13.5 nm极紫外光刻光源进展
宗楠
胡蔚敏
王志敏
王小军
张申金
薄勇
彭钦军
许祖彦
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
23
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
等离子体尺寸对放电极紫外光源影响
赵永蓬
徐强
李琦
王骐
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
毛细管内径对Xe气放电极紫外光源的影响
徐强
赵永蓬
李小强
李琦
王骐
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014
0
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职称材料
已选择
0
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