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高功率1060nm半导体激光器波导结构优化 被引量:10
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作者 李特 郝二娟 +3 位作者 李再金 王勇 芦鹏 曲轶 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期226-230,共5页
针对高功率1060 nm半导体激光器的外延结构,分析了影响器件功率进一步提高的原因.根据分析,优化了激光器的量子阱结构和波导结构,并理论模拟了波导宽度对模式和输出功率的影响.根据不同模式的光场分布,对量子阱有源区的位置进行了优化,... 针对高功率1060 nm半导体激光器的外延结构,分析了影响器件功率进一步提高的原因.根据分析,优化了激光器的量子阱结构和波导结构,并理论模拟了波导宽度对模式和输出功率的影响.根据不同模式的光场分布,对量子阱有源区的位置进行了优化,并设计了非对称、宽波导结构.对不同模式的限制因子进行了计算,结果表明,优化后的非对称波导结构能够在降低基模的限制因子的同时,增加高阶模式的损耗. 展开更多
关键词 高功率半导体激光器 1060nm 波导宽度 模式
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GaAs基红外波段半导体激光器固态源Zn扩散技术研究
2
作者 石孟杰 陈泳屹 +2 位作者 宋悦 秦莉 王立军 《光通信技术》 北大核心 2025年第4期25-29,共5页
为优化980 nm波段GaAs基半导体激光器的掺杂工艺并提升性能,研究了以固态Zn化合物薄膜为扩散源的Zn扩散技术,通过真空镀膜和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备ZnO扩散源及SiO_(2)盖层,结合不同退火条件调控Zn在GaAs及InGaAs/GaAs... 为优化980 nm波段GaAs基半导体激光器的掺杂工艺并提升性能,研究了以固态Zn化合物薄膜为扩散源的Zn扩散技术,通过真空镀膜和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备ZnO扩散源及SiO_(2)盖层,结合不同退火条件调控Zn在GaAs及InGaAs/GaAs/GaAsP异质结构中的扩散行为,利用多种测试方法分析其扩散规律及对器件性能的影响。实验结果表明:Zn的扩散深度随退火温度和时间增加而加深,杂质浓度达到约10^(20)cm^(-3)量级,纵向与横向扩散深度比为1∶1,且Zn杂质在多层异质结构中的扩散行为显著影响了激光器的光致发光特性和有源区的完整性。 展开更多
关键词 半导体激光器 杂质扩散 ZNO 980nm GAAS
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808nm含铝半导体激光器的腔面镀膜 被引量:20
3
作者 李再金 胡黎明 +6 位作者 王烨 杨晔 彭航宇 张金龙 秦莉 刘云 王立军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1258-1263,共6页
研究了高功率808nm量子阱脊型波导结构含铝半导体激光器在空气中解理时不同镀膜方法对输出激光功率的影响,讨论了半导体激光器的灾变性光学镜面损伤机理及其腔面钝化薄膜的选择特性。对半导体激光器管芯前后腔面不镀膜,前后腔面镀上反... 研究了高功率808nm量子阱脊型波导结构含铝半导体激光器在空气中解理时不同镀膜方法对输出激光功率的影响,讨论了半导体激光器的灾变性光学镜面损伤机理及其腔面钝化薄膜的选择特性。对半导体激光器管芯前后腔面不镀膜,前后腔面镀上反射膜和前后腔面先镀上钝化薄膜再镀腔面反射膜方法进行了对比,测试了半导体激光器的输出功率。结果表明,先镀上钝化薄膜的器件比只镀上腔面反射膜的器件输出的激光功率高36%。只镀腔面反射膜的半导体激光器器件在电流为5A时就失效了,而镀钝化膜的器件在电流为6A时仍未失效,说明镀钝化薄膜的器件能有效地防止灾变性光学损伤和灾变性光学镜面损伤。在半导体激光器芯片腔面镀上钝化薄膜是提高大功率半导体激光器输出功率的有效方法。 展开更多
关键词 808nm半导体激光器 镀膜 腔面
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880nm半导体激光器列阵及光纤耦合模块 被引量:23
4
作者 王祥鹏 梁雪梅 +2 位作者 李再金 王冰冰 王立军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1021-1027,共7页
为了使半导体激光泵浦Nd∶YVO4固体激光器能获得大功率、高光束质量、线偏振的激光输出,利用PICS3D软件设计了InGaAs/GaAs应变量子阱结构,制作了发射波长为880 nm的大功率半导体激光器列阵。该激光器列阵激射区单元宽为100μm,周期为200... 为了使半导体激光泵浦Nd∶YVO4固体激光器能获得大功率、高光束质量、线偏振的激光输出,利用PICS3D软件设计了InGaAs/GaAs应变量子阱结构,制作了发射波长为880 nm的大功率半导体激光器列阵。该激光器列阵激射区单元宽为100μm,周期为200μm,填充因子为50%,激光器列阵CS封装模块室温连续输出功率达60.8 W,光谱半高全宽(FWHM)为2.4 nm。为进一步改善大功率半导体激光器列阵的光束质量,增加半导体激光端面泵浦功率密度,采用阶梯反射镜组对880 nm大功率半导体激光器列阵进行了光束整形,利用阶梯镜金属表面反射率受近红外波长变化影响小的特点,研制出高稳定性、大功率光纤耦合模块。模块输出功率为44.9 W,光-光耦合效率达73.8%,尾纤芯径Φ为400μm,数值孔径(NA)为0.22。 展开更多
关键词 880nm半导体激光器列阵 光纤耦合 阶梯镜
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850nm高亮度锥形半导体激光器的光电特性 被引量:11
5
作者 杨晔 刘云 +9 位作者 秦莉 张金龙 彭航宇 王烨 李再金 胡黎明 史晶晶 王超 宁永强 王立军 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期593-597,共5页
采用激射波长为850 nm的AlGaInAs/AlGaAs梯度折射率波导分别限制增益量子阱结构的外延片,设计并制备了具有条形结构和锥形结构的半导体激光器。在输出功率同为1 W时,锥形激光器的发散角、光束传播因子和亮度分别为4°、2.8和9.9 MW.... 采用激射波长为850 nm的AlGaInAs/AlGaAs梯度折射率波导分别限制增益量子阱结构的外延片,设计并制备了具有条形结构和锥形结构的半导体激光器。在输出功率同为1 W时,锥形激光器的发散角、光束传播因子和亮度分别为4°、2.8和9.9 MW.cm-2.sr-1,远好于条形激光器的6°、9.2和3.0 MW.cm-2.sr-1。当外加3 A的脉冲电流时,锥形激光器峰值功率达到1.40 W,斜率效率为0.58 W/A,电光转换效率为30%。实验结果表明,锥形激光器可以在保证大功率输出的前提下,具有更高的光束质量。 展开更多
关键词 850nm 锥形半导体激光器 高亮度 光束传播因子
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980nm半导体激光器双布拉格光纤光栅波长锁定器 被引量:8
6
作者 李毅 黄毅泽 +4 位作者 王海方 俞晓静 张虎 张伟 朱慧群 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1468-1475,共8页
提出了优化由两个均匀布拉格光纤光栅组成的980nm半导体激光器波长锁定器的方法以满足光纤放大器对半导体激光器的性能要求。运用耦合模理论推导了双布拉格光纤光栅(FBG)的透射率和反射率的解析表达式和波长锁定器增益方程。研究了两光... 提出了优化由两个均匀布拉格光纤光栅组成的980nm半导体激光器波长锁定器的方法以满足光纤放大器对半导体激光器的性能要求。运用耦合模理论推导了双布拉格光纤光栅(FBG)的透射率和反射率的解析表达式和波长锁定器增益方程。研究了两光栅之间的距离、光栅到激光器前端面的距离、光栅折射率、光栅折射率周期、光栅栅长和温度对激光器增益曲线的影响,并通过优化这些参数来达到最佳的锁模性能。测量了带双FBG波长锁定器的非致冷半导体激光器的输出光谱和出纤功率。实验结果表明:高功率非致冷980nm半导体激光器在0~70℃时的波长漂移为0.5nm,边模抑制比达45dB以上,半峰值全宽度<1nm。经优化设计的980nm半导体激光器FBG波长锁定器可满足光纤放大器对非致冷半导体激光器大功率、长寿命、高可靠性、小尺寸等性能的要求。 展开更多
关键词 980nm半导体激光器 双布拉格光纤光栅 波长锁定器 边模抑制比
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高功率793 nm半导体激光器 被引量:3
7
作者 周坤 何林安 +8 位作者 李弋 贺钰雯 张亮 胡耀 刘晟哲 杨鑫 杜维川 高松信 唐淳 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期685-689,共5页
针对掺铥光纤激光器泵浦源的需求,研制了波长为793 nm的高功率半导体激光芯片和尾纤耦合模块。激光器外延采用了非对称大光腔的波导结构,降低了模式损耗,波导采用无铝的GaInP材料,结合真空解理钝化工艺提高了腔面损伤阈值。通过外延结... 针对掺铥光纤激光器泵浦源的需求,研制了波长为793 nm的高功率半导体激光芯片和尾纤耦合模块。激光器外延采用了非对称大光腔的波导结构,降低了模式损耗,波导采用无铝的GaInP材料,结合真空解理钝化工艺提高了腔面损伤阈值。通过外延结构和腔面镀膜的优化,研制的激光器单管输出功率达到12 W@11A,在输出功率8W时通过了300 h老化测试。采用7只单管制备了尾纤耦合模块,耦合至100μm NA.0.22光纤中,输出功率为40W@7A,电-光效率为49.5%@40 W。 展开更多
关键词 半导体激光器 793 nm 真空解理 空间烧孔
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980nm半导体激光器n型波导结构优化 被引量:3
8
作者 安宁 芦鹏 +3 位作者 魏志鹏 李占国 马晓辉 刘国军 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期105-109,共5页
为了提高980nm半导体激光器的输出功率并获得较小的远场发散角,在非对称波导结构的基础上设计了n型波导结构,即在n型波导中引入高折射率的内波导层。采用理论计算和SimLastip软件模拟对常规非对称波导结构和内波导结构进行了研究。利用... 为了提高980nm半导体激光器的输出功率并获得较小的远场发散角,在非对称波导结构的基础上设计了n型波导结构,即在n型波导中引入高折射率的内波导层。采用理论计算和SimLastip软件模拟对常规非对称波导结构和内波导结构进行了研究。利用分子束外延系统生长980nm内波导结构的外延材料,并制作了激光器。对于条宽为100μm、腔长为1000μm的器件,阈值电流为97mA,斜率效率为1.01W/A;当注入电流为500mA时,远场发散角为29°(垂直向)×8°(水平向),与模拟结果相符。理论计算和实验结果表明:较之于常规非对称波导结构,内波导结构可有效降低光场限制因子,提高输出功率,减小远场发散角。 展开更多
关键词 980 nm半导体激光器 输出功率 内波导 远场发散角
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976nm高效率半导体激光器 被引量:5
9
作者 安振峰 林琳 +4 位作者 徐会武 陈宏泰 车相辉 王晶 位永平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期345-347,共3页
976 nm高效率半导体激光器是这几年研究的热点,在固体激光器泵浦领域有广阔的应用。通过优化半导体激光器材料外延结构中包覆层和波导层的铝组分,降低了工作电压;通过采用微通道水冷系统,并进行优化降低了热阻,从而提高了室温下的电光... 976 nm高效率半导体激光器是这几年研究的热点,在固体激光器泵浦领域有广阔的应用。通过优化半导体激光器材料外延结构中包覆层和波导层的铝组分,降低了工作电压;通过采用微通道水冷系统,并进行优化降低了热阻,从而提高了室温下的电光转换效率。25℃室温连续测试条件下,1 cm的线阵列(巴条),2 mm腔长,50%填充因子,在110 A下,出光功率为114.2 W,电压为1.46 V,电光转换效率为71%。15条微通道封装成的垂直叠阵,进行光束整形后,获得了室温976 nm连续输出功率1 500 W,电光转换效率大于70%。 展开更多
关键词 高效率 半导体激光器 976nm 金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD) 线阵列
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980nm半导体激光器可靠性的研究现状分析 被引量:4
10
作者 刘斌 张敬明 +4 位作者 刘媛媛 王晓薇 方高瞻 马骁宇 肖建伟 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期1-2,共2页
本文介绍了提高980nm 半导体激光器可靠性的几种方案,并做了综台评述。进一步介绍了离子辅助镀膜技术在提高980nm激光器可靠性方面的应用。
关键词 980nm半导体激光器 可靠性 现状 离子辅助镀膜 COD 掺铒光纤放大器
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高性能980nm单模半导体激光器 被引量:3
11
作者 李辉 曲轶 +2 位作者 高欣 薄报学 刘国军 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1110-1113,共4页
采用经过优化的新型大光腔结构,设计出低发散角的980nm半导体激光器,利用分子束外延系统生长出应变InGaAs量子阱半导体激光器材料,并制作出980nm单模半导体激光器。器件在3μm条宽,750μm腔长时,100mA电流下室温连续输出功率达到70mW以... 采用经过优化的新型大光腔结构,设计出低发散角的980nm半导体激光器,利用分子束外延系统生长出应变InGaAs量子阱半导体激光器材料,并制作出980nm单模半导体激光器。器件在3μm条宽,750μm腔长时,100mA电流下室温连续输出功率达到70mW以上。激光器的最大斜率效率为0.89W/A.垂直方向远场发散角为28°.器件在250mA工作电流下输出功率达到190mW.器件在70℃温度下仍可以正常工作。 展开更多
关键词 光电子学与激光技术 980nm单模半导体激光器 高功率 低发散角
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非对称异质波导半导体激光器结构 被引量:3
12
作者 李特 郝二娟 张月 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期613-618,共6页
提出了一种非对称异质波导半导体激光器外延结构,即通过优化选择材料体系和结构厚度,对器件外延层的P侧限制结构和N侧限制结构分别设计,从而降低器件的电压损耗,使其满足高输出功率以及高的电光转换效率的要求.从载流子的输运和限制等... 提出了一种非对称异质波导半导体激光器外延结构,即通过优化选择材料体系和结构厚度,对器件外延层的P侧限制结构和N侧限制结构分别设计,从而降低器件的电压损耗,使其满足高输出功率以及高的电光转换效率的要求.从载流子的输运和限制等微观机制出发,对器件的主要输出特性进行了理论分析和数值模拟,并以此为根据设计和制作了一种1060 nm In Ga As/Ga As单量子阱非对称异质波导结构半导体激光器,并对器件的主要输出特性进行了测试.实验结果表明,非对称异质结构是降低器件的电压降、增大限制结构对注入载流子的限制,提高半导体激光器电光转换效率的有效措施. 展开更多
关键词 非对称异质波导结构 电学特性 1060nm半导体激光器
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高可靠性无铝有源层808 nm半导体激光器泵浦源 被引量:1
13
作者 刘鹏 朱振 +3 位作者 陈康 王荣堃 夏伟 徐现刚 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2021年第4期757-761,共5页
针对高功率808 nm激光器泵浦源的应用需求,设计并制备了InGaAsP/GaInP材料体系的无铝有源区半导体激光器。使用双非对称的限制层及波导层结构,降低了P侧材料的热阻及光吸收。优化了金属有机化学气相沉积(MOCVD)中As和P混合材料的生长条... 针对高功率808 nm激光器泵浦源的应用需求,设计并制备了InGaAsP/GaInP材料体系的无铝有源区半导体激光器。使用双非对称的限制层及波导层结构,降低了P侧材料的热阻及光吸收。优化了金属有机化学气相沉积(MOCVD)中As和P混合材料的生长条件,制备出界面陡峭的四元InGaAsP单晶外延薄膜。制作的激光器室温测试阈值电流为1.5 A,斜率效率为1.26 W/A,10 A下的功率达到10.5 W,功率转换效率为58%。连续电流测试最大功率为23 W@24.5 A,准连续电流测试最大功率为54 W@50 A,没有产生灾变性光学损伤(COD)。在15 A电流加速老化下,激光器工作4200 h未出现功率衰减及COD现象,说明制备的无铝有源区808 nm激光器具有高可靠性的输出性能。 展开更多
关键词 无铝材料 高可靠性 INGAASP 808 nm 非对称 泵浦源 半导体激光器
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低阈值852nm半导体激光器的温度特性 被引量:4
14
作者 廖翌如 关宝璐 +3 位作者 李建军 刘储 米国鑫 徐晨 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期331-337,共7页
通过金属有机化学气相淀积(MOCVD)和半导体后工艺技术制备了852 nm半导体激光器,它在室温下的阈值电流为57.5 m A,输出的光谱线宽小于1 nm。测试分析了激光器的输出光功率、阈值电流、电压、输出中心波长随温度的变化。测试结果表明,当... 通过金属有机化学气相淀积(MOCVD)和半导体后工艺技术制备了852 nm半导体激光器,它在室温下的阈值电流为57.5 m A,输出的光谱线宽小于1 nm。测试分析了激光器的输出光功率、阈值电流、电压、输出中心波长随温度的变化。测试结果表明,当温度变化范围为293~328 K时,阈值电流的变化速率为0.447m A/K,特征温度T0为142.25 K,输出的光功率变化率为0.63 m W/K。通过计算求得理想因子n为2.11,激光器热阻为77.7 K/W,中心波长漂移速率是0.249 29 nm/K,实验得出的中心波长漂移速率与理论计算结果相符。实验结果表明,该半导体器件在293~303 K的温度范围内,各特性参数能够保持相对良好的状态。器件如果工作在高温环境,需要添加控温设备以保证器件在良好状态下运行。 展开更多
关键词 852 nm半导体激光器 温度特性 阈值电流 特征温度
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GaAs基980 nm高功率半导体激光器的研究进展 被引量:4
15
作者 胡雪莹 董海亮 +3 位作者 贾志刚 张爱琴 梁建 许并社 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2021年第2期381-390,共10页
GaAs基980 nm半导体激光器在材料加工、通信和医疗等领域有着重要应用。应变量子阱结构的出现提高了GaAs基半导体激光器的转换效率、输出功率和可靠性。本文综述了高功率GaAs基量子阱激光器历史发展,介绍了高功率半导体激光器的外延结... GaAs基980 nm半导体激光器在材料加工、通信和医疗等领域有着重要应用。应变量子阱结构的出现提高了GaAs基半导体激光器的转换效率、输出功率和可靠性。本文综述了高功率GaAs基量子阱激光器历史发展,介绍了高功率半导体激光器的外延结构、芯片结构和封装结构设计,重点阐述了影响高功率GaAs基量子阱激光器光电性能、散热和实际应用的问题。针对以上问题讨论了相应解决方案及研究成果,并指出了各个方案的不足之处和改进方向。最后,总结了高功率半导体激光器的发展现状,对高功率半导体激光器发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 GaAs基 高功率 980 nm半导体激光器 应变量子阱结构 转换效率 光电性能
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高功率808nmAlGaAs/GaAs基半导体激光器巴条的热耦合特征(英文) 被引量:3
16
作者 乔彦彬 陈燕宁 +1 位作者 赵东艳 张海峰 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期10-13,35,共5页
利用红外热成像技术和有限元方法在实验和理论上研究了高功率808 nm半导体激光器巴条热耦合特征,给出了稳态和瞬态热分析,呈现了详细的激光器巴条热耦合轮廓.发现器件稳态温升随工作电流呈对数增加,热耦合也随之增加且主要发生在芯片级... 利用红外热成像技术和有限元方法在实验和理论上研究了高功率808 nm半导体激光器巴条热耦合特征,给出了稳态和瞬态热分析,呈现了详细的激光器巴条热耦合轮廓.发现器件稳态温升随工作电流呈对数增加,热耦合也随之增加且主要发生在芯片级.另外,作者利用热阻并联模型解释了芯片级热时间常数随工作电流减小的现象. 展开更多
关键词 半导体技术 热耦合特征 红外热成像技术 有限元 高功率808 nm AlGaAs/GaAs基半导体激光器巴条
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氧化锌单晶DFB半导体激光器的设计与分析 被引量:1
17
作者 杨海艳 胡芳仁 +2 位作者 郑煌晏 朱敏杰 陈凯文 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1045-1048,共4页
基于严格耦合波理论(RCWA)和介质平板波导理论,针对光通信中的1550 nm波长,设计了一种基于氧化锌(Zn O)单晶的分布反馈式(DFB)半导体激光器的光栅结构,分析了二维电场模式图以及激射波长线宽图,得到了光栅结构的变化对其单纵模传输的影... 基于严格耦合波理论(RCWA)和介质平板波导理论,针对光通信中的1550 nm波长,设计了一种基于氧化锌(Zn O)单晶的分布反馈式(DFB)半导体激光器的光栅结构,分析了二维电场模式图以及激射波长线宽图,得到了光栅结构的变化对其单纵模传输的影响。仿真结果表明,当光栅的周期为489 nm,占空比为50%,光栅深度为400 nm时,全局电场能量达到了8.3×107J,光谱线宽小于0.1。该激光器具有很好的窄线宽输出以及波长选择特性。理论分析与仿真结果基本一致为后期进行该器件的制备提供了较好的参考。 展开更多
关键词 严格耦合波理论 DFB半导体激光器 氧化锌单晶 1550 nm波长
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1060nm高功率垂直腔面发射激光器的有源区设计(英文) 被引量:4
18
作者 张立森 宁永强 +6 位作者 曾玉刚 张艳 秦莉 刘云 王立军 曹军胜 梁雪梅 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期774-779,共6页
对1 060 nm高功率垂直腔面发射激光器的有源区进行了理论计算和设计。对比了GaAsP、GaAs和AlGaAs三种不同材料的垒层所组成的高应变InGaAs量子阱的性能。为了确定有源区阱层和垒层的参数,考虑了自热效应对功率的影响,使得模型更加精确... 对1 060 nm高功率垂直腔面发射激光器的有源区进行了理论计算和设计。对比了GaAsP、GaAs和AlGaAs三种不同材料的垒层所组成的高应变InGaAs量子阱的性能。为了确定有源区阱层和垒层的参数,考虑了自热效应对功率的影响,使得模型更加精确可靠。发现所设计的In0.28Ga0.72As量子阱的阱宽和阱数的最佳值分别为9 nm和3个,输出功率可以达到瓦级。另外,对比了三种不同垒层的温度特性,结果显示,使用GaAsP垒层的器件在高温下具有更高的功率和更好的温度稳定性。最后,利用MOCVD生长了InGaAs/GaAsP量子阱并测试了其PL谱,实验数据与理论结果符合得很好。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 1060nm 瓦级 INGAAS
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808nm掺铝半导体激光高损伤阈值腔面膜制备 被引量:6
19
作者 李再金 胡黎明 +6 位作者 王烨 杨晔 彭航宇 张金龙 秦莉 刘云 王立军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2010年第6期1034-1037,1119,共5页
研究了808 nm量子阱脊型波导结构掺铝半导体激光器在空气中解理不同镀膜方法对激光损伤阈值的影响。将半导体激光器管芯分别采用前后腔面不镀膜、前后腔面镀反射膜和前后腔面先镀钝化薄膜,再镀腔面反射膜的方法进行对比。测试半导体激... 研究了808 nm量子阱脊型波导结构掺铝半导体激光器在空气中解理不同镀膜方法对激光损伤阈值的影响。将半导体激光器管芯分别采用前后腔面不镀膜、前后腔面镀反射膜和前后腔面先镀钝化薄膜,再镀腔面反射膜的方法进行对比。测试半导体激光器输出功率的结果表明:腔面镀钝化薄膜的方法比只镀腔面反射膜的方法的激光损伤阈值高36%,并且能有效防止灾变性光学镜面损伤,同时,还分析了半导体激光器管芯和光学薄膜之间发生的物理效应。在大功率半导体激光器芯片腔面上镀钝化薄膜是提高其激光损伤阈值的一个行之有效的方法。 展开更多
关键词 镀膜 半导体激光器 腔面 808nm
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880nm半导体激光主动照明光纤耦合模块 被引量:5
20
作者 王祥鹏 彭航宇 +1 位作者 李再金 王立军 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1500-1504,共5页
为降低半导体激光主动照明红曝,选择波长880 nm大功率半导体激光器作为新型激光主动照明成像系统光源。根据光纤耦合过程光参数积不变原理,研制出波长880 nm大功率半导体激光器阵列单光纤耦合模块,利用光纤匀光作用使激光光束匀化整圆... 为降低半导体激光主动照明红曝,选择波长880 nm大功率半导体激光器作为新型激光主动照明成像系统光源。根据光纤耦合过程光参数积不变原理,研制出波长880 nm大功率半导体激光器阵列单光纤耦合模块,利用光纤匀光作用使激光光束匀化整圆后用于激光主动照明。首次在波长880 nm大功率半导体激光器上采用阶梯反射镜光束整形方法,使激光光参数积与光纤匹配,激光高效耦合进入纤芯400μm、数值孔径0.22的光纤。室温条件下光纤耦合模块连续输出功率44.9 W,电光转化效率35%,波长880 nm大功率半导体激光器阵列光纤耦合模块,不仅其红曝小而且对应CMOS图像传感器光谱响应度较高,系统成像质量好。 展开更多
关键词 半导体激光器阵列 波长880nm激光 激光主动照明 光束整形 阶梯镜
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