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多弧离子沉积(Ti,Al)N薄膜的结构与形貌 被引量:6
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作者 吴一平 乔学亮 +2 位作者 陈建国 孙培祯 周景萍 《机械工程材料》 CAS CSCD 1995年第4期29-31,共3页
对在多弧离子镀膜机上采用Ti/Al机械复合靶沉积出(Ti,Al)N膜的组织形貌与结构进行了分析,结果表明,(Ti,Al)N膜具有(111)晶面的择优取向,仍保持着TiN的结构特征,但(Ti,Al)N晶面间距小于TiN... 对在多弧离子镀膜机上采用Ti/Al机械复合靶沉积出(Ti,Al)N膜的组织形貌与结构进行了分析,结果表明,(Ti,Al)N膜具有(111)晶面的择优取向,仍保持着TiN的结构特征,但(Ti,Al)N晶面间距小于TiN的晶面间距.没有AlN相出现,这是TiN相优先于AlN相形成的缘故。(Ti,Al)N薄膜上分布有针孔和三种不同形貌液滴颗粒。 展开更多
关键词 (ti al)n薄膜 多弧离子镀 热作模具钢 薄膜 沉积
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电弧离子镀梯度(Ti,Al)N涂层的结构与机械性能研究 被引量:1
2
作者 冯长杰 李明升 +2 位作者 辛丽 朱圣龙 王福会 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A10期3883-3885,共3页
采用电弧离子镀(AIP)技术,在航空发动机压气机用1Cr11Ni2W2MoV不锈钢上沉积了TiN涂层、(Ti,Al)N涂层和梯度(Ti,Al)N涂层。运用带能谱的扫描电镜(SEM/EDAX)、电子探针(EPMA)、X射线衍射仪(XRD)、显微硬度仪、多功能摩擦... 采用电弧离子镀(AIP)技术,在航空发动机压气机用1Cr11Ni2W2MoV不锈钢上沉积了TiN涂层、(Ti,Al)N涂层和梯度(Ti,Al)N涂层。运用带能谱的扫描电镜(SEM/EDAX)、电子探针(EPMA)、X射线衍射仪(XRD)、显微硬度仪、多功能摩擦磨损实验机等仪器和热震实验对上述涂层的结构、机械性能和基体与涂层的结合性能进行了研究。结果表明,梯度涂层的Al含量由涂层/基体界面向涂层表面逐渐增多,内层Al含量为3%(原子分数),外层Al含量为47%(原子分数);梯度涂层具有Bl型(NaCl)单相结构和(220)择优取向;梯度涂层的硬度和耐磨与(Ti,Al)N涂层相近,且明显高于TiN涂层,结合性能优于(Ti,Al)N涂层。 展开更多
关键词 电弧离子镀 梯度(ti al)n涂层 结构 机械性能 结合力
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A1含量对(Ti,A1)N薄膜抗氧化性能的影响 被引量:5
3
作者 乔学亮 游少鑫 +2 位作者 吴一平 陈建国 孙培祯 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 1995年第1期26-27,共2页
研究了A1含量对(Ti,A1)N薄膜高温抗氧化性能的影响,并与TiN薄膜进行了对比试验.试验结果表明:(Ti,AI)N薄膜的抗氧化性能明显优于TiN薄膜;随着薄膜中A1含量的增加,薄膜的抗氧化能力得到改善,特别是当氧... 研究了A1含量对(Ti,A1)N薄膜高温抗氧化性能的影响,并与TiN薄膜进行了对比试验.试验结果表明:(Ti,AI)N薄膜的抗氧化性能明显优于TiN薄膜;随着薄膜中A1含量的增加,薄膜的抗氧化能力得到改善,特别是当氧化温度≥800℃后效果更为显著.这是因为(Ti,A1)N薄膜在高温下氧化时,在薄膜表面形成的是稳定致密的A12O3的缘故. 展开更多
关键词 抗氧化覆层 氮化钛 薄膜 铝含量 覆层 陶瓷
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多弧离子沉积(Ti,AI)N薄膜的制备工艺 被引量:3
4
作者 吴一平 乔学亮 +2 位作者 陈建国 赵建生 孙培祯 《兵器材料科学与工程》 CSCD 北大核心 1995年第5期25-29,共5页
介绍了采用多弧离子镀的方法在新型热作模具钢(CH75)表面沉积(Ti,Al)N薄膜的制备工艺,讨论了工艺参数对(Ti,Al)N薄膜性能的影响。对Ti/Al机械复合靶进行了结构设计,得出靶的名义Al含量与沉积的(Ti,... 介绍了采用多弧离子镀的方法在新型热作模具钢(CH75)表面沉积(Ti,Al)N薄膜的制备工艺,讨论了工艺参数对(Ti,Al)N薄膜性能的影响。对Ti/Al机械复合靶进行了结构设计,得出靶的名义Al含量与沉积的(Ti,Al)N薄膜的Al含量相符合。 展开更多
关键词 薄膜 多弧离子镀 金属 表面处理
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激光熔覆AlN/TiAl制备Ti-Al-N复合涂层及其摩擦性能研究
5
作者 黄飞龙 肖华强 +1 位作者 林波 莫太骞 《激光技术》 北大核心 2025年第2期188-194,共7页
为了制备耐磨钛基涂层,采用激光熔覆技术在TC4表面制备了Ti-Al-N涂层,对不同激光功率下涂层的物相组成、组织演变、硬度进行观察分析,再对复合涂层在空气环境中的摩擦学性能进行分析。结果表明,涂层增强相主要由Ti_(2)AlN,TiN,TiAl及Ti_... 为了制备耐磨钛基涂层,采用激光熔覆技术在TC4表面制备了Ti-Al-N涂层,对不同激光功率下涂层的物相组成、组织演变、硬度进行观察分析,再对复合涂层在空气环境中的摩擦学性能进行分析。结果表明,涂层增强相主要由Ti_(2)AlN,TiN,TiAl及Ti_(x)Al_(y)等组成,各物相衍射峰强度随激光功率的增加而改变,基体相则由(γ-TiAl+α_(2)-Ti_(3)Al)组成;涂层与基体冶金结合,随着激光功率的增加,组织由弥散分布的柱状晶逐渐变成粗大树枝晶,但在2.4 kW功率时,组织又变得细小;复合涂层的显微硬度可以达到基体的2.14倍;在空气摩擦环境中,不同试样均以磨粒磨损为主,其中基体磨损严重;不同激光功率下的涂层均大幅度提高了基体的耐磨性,涂层中有增强相的存在,涂层的最小磨损率为0.786×10^(-4) mm^(3)·N^(-1)·min^(-1),基体为1.34×10^(-4) mm^(3)·N^(-1)·min^(-1);通过控制激光功率可以调节涂层性能。这一研究可以对激光熔覆制备高耐磨钛基复合涂层在航天、海工设备中的应用提供基础支持。 展开更多
关键词 激光技术 钛合金 激光熔覆 ti-al-n复合涂层 干摩擦磨损
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AlTiN和AlTiN/AlCrN涂层对Ti(C,N)基金属陶瓷性能的影响
6
作者 耿东森 佘俊杰 +4 位作者 许雨翔 项燕雄 贺鹏 梅海娟 王启民 《中国表面工程》 北大核心 2025年第2期49-56,共8页
Ti(C,N)基金属陶瓷因其优异的硬度、耐磨性及抗高温变形能力,已成为重要的切削刀具重要材料之一。但其内部金属粘结相在高速切削中易引发粘附磨损、扩散及高温软化等问题,导致刀具性能下降,限制了该材料的进一步推广和应用。物理气相沉... Ti(C,N)基金属陶瓷因其优异的硬度、耐磨性及抗高温变形能力,已成为重要的切削刀具重要材料之一。但其内部金属粘结相在高速切削中易引发粘附磨损、扩散及高温软化等问题,导致刀具性能下降,限制了该材料的进一步推广和应用。物理气相沉积(Physical vapor deposition,PVD)技术被认为是改善Ti(C,N)基金属陶瓷性能的重要手段。为此,本文采用阴极弧蒸发法在Ti(C,N)基金属陶瓷表面分别沉积AlTiN和AlTiN/AlCrN涂层,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、洛氏硬度计、纳米压痕仪、摩擦磨损试验、氧化试验以及车削试验,系统研究了表面涂层对金属陶瓷力学性能、摩擦性能、抗氧化性能以及切削性能的影响规律。试验结果表明:AlTiN和AlTiN/AlCrN涂层呈现出单相面心立方结构,硬度分别为33.9±0.8 GPa和36.1±1.6 GPa,显著高于Ti(C,N)基金属陶瓷基体的27.4±1.7 GPa。同时,表面涂层可有效改善Ti(C,N)基金属陶瓷的断裂韧性,使其从9.8±0.18 MPa·m^(1/2)分别提升至10.5±0.08 MPa·m^(1/2)(AlTiN)和10.8±0.05 MPa·m^(1/2)(AlTiN/AlCrN)。较高硬度和H^(3)/E^(2)值的表面涂层显著提升了Ti(C,N)基金属陶瓷的耐磨性,其中AlTiN/AlCrN涂层的Ti(C,N)基金属陶瓷的磨损率最低,仅为2.8×10^(-6)mm^(3)/(N·m)。此外,经过沉积AlTiN和AlTiN/AlCrN涂层的Ti(C,N)基金属陶瓷表现出优异的抗氧化性能,在800℃下氧化5 h后其氧化层厚度分别降低至~185 nm和~65 nm。由于具有更高的硬度、低的摩擦因数以及优异抗氧化性,经过沉积AlTiN/AlCrN涂层后金属陶瓷刀具的切削寿命较无涂层刀具提升了~75%。本研究揭示了表面涂层对Ti(C,N)基金属陶瓷耐磨性、高温抗氧化性以及切削寿命的影响规律,有效改善了Ti(C,N)基金属陶瓷的综合性能,为高性能金属陶瓷刀具的开发设计提供了理论依据和技术支撑,有望进一步推动其在高速切削加工领域的规模化应用。 展开更多
关键词 ti(C n)基金属陶瓷 物理气相沉积(PVD)涂层 力学性能 摩擦性能 切削性能
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Microstructures and properties of PVD TiAlN coating deposited on cermets with different Ti(C,N)grain size 被引量:8
7
作者 XIAO Ya XIONG Ji +4 位作者 GUO Zhi-xing LIU Jun-bo ZHOU Li-ming YE Jun-liu ZHAO Wu 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第3期721-735,共15页
In the present work,TiAlN coatings were deposited on Ti(C,N)-based cermet substrates by physical vapor deposition method.Emphasis was focused on the influence of grain size of cermet substrates on the microstructure,g... In the present work,TiAlN coatings were deposited on Ti(C,N)-based cermet substrates by physical vapor deposition method.Emphasis was focused on the influence of grain size of cermet substrates on the microstructure,growth behavior,mechanical properties,adhesion strength and wear behavior of the coatings.The results show that finer Ti(C,N)grain size leads to higher nucleation density and lower growth rate of coatings,indicating the crystallite size of the TiAlN coatings decreases with decreasing Ti(C,N)grain size.Nanoindentation tests show that the coatings deposited on cermets of the finest grain size exhibit the highest hardness(H),elastic modulus(E),H/E and H3/E2 of 34.5 GPa,433.2 GPa,0.080 and 0.22,respectively.The adhesion strength between coating and substrate is also enhanced with decreasing Ti(C,N)grain size by scratch test,which corresponds to the grain size and H/E and H3/E2 of the coating.Besides,the lower surface roughness and better mechanical properties of the coating deposited on finer grained cermet contribute to the better wear resistance of the coating. 展开更多
关键词 ti(C n)grain size cermets tialn coatings mechanical properties adhesion strength wear resistance
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(Ti,Al)N涂层的微观组织和性能 被引量:19
8
作者 陈利 吴恩熙 +2 位作者 尹飞 王社权 汪秀全 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期279-283,共5页
采用EPMA、XRD、SEM、TEM、HR-TEM、EDX、纳米压痕、氧化实验和切削实验研究了磁控溅射在硬质合金基体上沉积TiN涂层和(Ti,Al)N涂层的微观组织结构和性能。结果表明:TiN涂层晶粒为喇叭口柱状晶,(Ti,Al)N涂层为面心立方平直柱状晶,由于... 采用EPMA、XRD、SEM、TEM、HR-TEM、EDX、纳米压痕、氧化实验和切削实验研究了磁控溅射在硬质合金基体上沉积TiN涂层和(Ti,Al)N涂层的微观组织结构和性能。结果表明:TiN涂层晶粒为喇叭口柱状晶,(Ti,Al)N涂层为面心立方平直柱状晶,由于固溶了Al元素,(Ti,A l)N涂层呈(200)面择优生长;(Ti,Al)N涂层在硬质合金基体上无外延生长;(Ti,Al)N涂层在800℃氧化后形成Al2O3/TiO2/(Ti,Al)N的分层结构;(Ti,Al)N涂层具有更高的硬度和更好的切削性能。 展开更多
关键词 (ti al)n涂层 硬质合金 外延生长 氧化性能 切削性能
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Al含量对(Ti,Al)N涂层结构性能的影响 被引量:20
9
作者 李佳 夏长清 +1 位作者 刘昌斌 戴晓元 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第12期29-31,35,共4页
(Ti,Al)N是20世纪80年代未期在TiN基础上发展起来的一种新型多元涂层材料。由于加入Al元素,(Ti,Al)N不但硬度、耐磨性优于TiN,而且大大改善了涂层的抗高温氧化性能。综述了Al元素在(Ti,Al)N涂层中的作用机理,以及Al含量对(Ti,Al)N涂层... (Ti,Al)N是20世纪80年代未期在TiN基础上发展起来的一种新型多元涂层材料。由于加入Al元素,(Ti,Al)N不但硬度、耐磨性优于TiN,而且大大改善了涂层的抗高温氧化性能。综述了Al元素在(Ti,Al)N涂层中的作用机理,以及Al含量对(Ti,Al)N涂层的晶体结构、抗高温氧化、硬度和耐磨性的影响。指出当Ti和Al的比例近似为1:1时,(Ti,Al)N涂层将获得优越的综合使用性能。 展开更多
关键词 多元涂层材料 (ti al)n 硬度 耐磨性
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射频磁控溅射(Ti,Al)N薄膜性能的研究 被引量:14
10
作者 何欣 杨会生 +4 位作者 王燕斌 熊小涛 乔利杰 瞿春燕 杨建军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期142-146,共5页
采用射频磁控溅射,用Al靶和Ti靶同时溅射沉积(Ti,Al)N薄膜。研究表明:不同Al靶功率沉积的薄膜中始终存在面心立方结构(B1型),当Al靶功率大于250 W薄膜中面心立方结构(B1型)和六方结构(B4型)共存。随Al成分的增加,B1型结构晶格常数减小,... 采用射频磁控溅射,用Al靶和Ti靶同时溅射沉积(Ti,Al)N薄膜。研究表明:不同Al靶功率沉积的薄膜中始终存在面心立方结构(B1型),当Al靶功率大于250 W薄膜中面心立方结构(B1型)和六方结构(B4型)共存。随Al成分的增加,B1型结构晶格常数减小,薄膜择优取向由B1型(111)向B4型(002)转变。薄膜表面随Al靶功率增加分别呈岛状、纤维状和柱状增长。(Ti,Al)N薄膜的硬度随Al靶功率的增加呈上升趋势。等离子体发射光谱分析显示,在相同工艺条件下Al靶比Ti靶先进入非金属态溅射模式,导致在相同功率下Al溅射速率低于Ti溅射速率。 展开更多
关键词 磁控溅射 (ti al)n薄膜 硬度 等离子体发射光谱
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PVD法制备(Ti,Al)N涂层中残余应力对其质量的影响 被引量:14
11
作者 吴化 陈涛 宋力 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期60-64,92,共6页
在国产离子镀和空心阴极离子镀复合镀膜机上,通过改变脉冲偏压值制备了(Ti,Al)N涂层。用X射线衍射仪对涂层的相组成进行了检测分析,并通过测得的衍射谱线计算了(Ti,Al)N涂层中的残余应力值;扫描电镜观察涂层表面微观形貌显示涂层表面存... 在国产离子镀和空心阴极离子镀复合镀膜机上,通过改变脉冲偏压值制备了(Ti,Al)N涂层。用X射线衍射仪对涂层的相组成进行了检测分析,并通过测得的衍射谱线计算了(Ti,Al)N涂层中的残余应力值;扫描电镜观察涂层表面微观形貌显示涂层表面存在"大颗粒"现象;用材料表面微纳米力学测试系统检测了涂层与基体间的结合力和涂层的硬度值。对涂层中残余应力与质量和性能之间关系的研究分析表明:(Ti,Al)N涂层中存在着残余压应力,且随脉冲偏压值的增加其值有先减小后增大的趋势;涂层中"大颗粒"现象随脉冲偏压值的提高能够显著得到减轻,涂层与基体间结合力得到提高,涂层的硬度值增大,涂层质量和力学性能均得到改善。 展开更多
关键词 (ti al)n涂层 残余应力 X射线衍射法 大颗粒
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磁控双靶反应共溅射(Ti,Al)N薄膜的研究 被引量:11
12
作者 闫梁臣 熊小涛 +2 位作者 杨会生 高克玮 王燕斌 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期233-237,共5页
采用磁控双靶反应共溅射技术制备出了(Ti0.5Al0.5)N耐磨硬质薄膜,其显微硬度高于35GPa,摩擦系数小于0.18。实验结果表明当N2流量较低时,(Ti,Al)N薄膜结构和性能随N2流量变化明显;当N2流量较高时,薄膜结构和性能变化缓慢。等离子体发射... 采用磁控双靶反应共溅射技术制备出了(Ti0.5Al0.5)N耐磨硬质薄膜,其显微硬度高于35GPa,摩擦系数小于0.18。实验结果表明当N2流量较低时,(Ti,Al)N薄膜结构和性能随N2流量变化明显;当N2流量较高时,薄膜结构和性能变化缓慢。等离子体发射光谱仪(PEM)对磁控反应溅射过程监测结果表明,钛铝原子与氮原子反应存在一个临界点,低于临界点,磁控反应溅射为金属态溅射模式,高于临界点,磁控溅射向非金属态溅射模式转变,溅射速率降低。 展开更多
关键词 (ti al)n 磁控共溅射 等离子体发射光谱 金属态溅射 非金属态溅射
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添加Y对炮钢表面电弧离子镀(Ti,Al)N薄膜氧化性能的影响 被引量:5
13
作者 张健 韩继龙 +3 位作者 郭策安 卢旭东 金浩 郭秋萍 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第13期13144-13147,共4页
利用电弧离子镀技术,在炮钢表面沉积TiAlN和TiAlYN两种薄膜,研究添加1%(原子分数)Y对(Ti,Al)N薄膜氧化性能的影响。两种沉积薄膜的样品在空气中850℃下氧化10h,用SEM、EDAX和XRD分别分析两种薄膜的形貌、成分及相组成。结果表明,在空气... 利用电弧离子镀技术,在炮钢表面沉积TiAlN和TiAlYN两种薄膜,研究添加1%(原子分数)Y对(Ti,Al)N薄膜氧化性能的影响。两种沉积薄膜的样品在空气中850℃下氧化10h,用SEM、EDAX和XRD分别分析两种薄膜的形貌、成分及相组成。结果表明,在空气中850℃下氧化10h后,两种薄膜的氧化产物均为Al2O3和TiO2的混合氧化物;TiAlN薄膜的动力学曲线呈近似直线规律,而TiAlYN薄膜动力学曲线符合抛物线规律;前者表面氧化物晶粒粗大,而后者表面氧化物晶粒细小,且氧化膜厚度不足前者的一半;添加Y可以减少膜层表面液滴的数量,提高膜层的抗氧化性能。 展开更多
关键词 炮钢 Y (ti al)n 电弧离子镀 氧化
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SiC晶须和Ti(C,N)颗粒协同增韧Al_2O_3陶瓷刀具的研究 被引量:13
14
作者 兰俊思 丁培道 黄楠 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期59-64,共6页
采用热压工艺烧结制备了SiCW Ti(C ,N) Al2 O3(Y2 O3)陶瓷刀具复合材料。研究了不同烧结温度(16 0 0~ 175 0℃ )下 ,材料的致密度和力学性能 (断裂韧性KIC ,维氏硬度HV和抗弯强度σf)随晶须含量 (10 %~4 0 % )的变化关系 ;探讨了SiC... 采用热压工艺烧结制备了SiCW Ti(C ,N) Al2 O3(Y2 O3)陶瓷刀具复合材料。研究了不同烧结温度(16 0 0~ 175 0℃ )下 ,材料的致密度和力学性能 (断裂韧性KIC ,维氏硬度HV和抗弯强度σf)随晶须含量 (10 %~4 0 % )的变化关系 ;探讨了SiC晶须和Ti(C ,N)颗粒对Al2 O3基体的协同增韧机理。同时与SiCW Al2 O3陶瓷及Ti(C ,N) Al2 O3陶瓷作对比研究。结果表明 :SiCW Ti(C ,N) Al2 O3(Y2 O3)陶瓷材料在 175 0℃ ,晶须含量为 2 0 %时获得最佳的综合力学性能 :KIC =7 11MPa m1 2 ,HV =2 1 16GPa ,σf=82 0MPa ;明显高于SiCW 含量为 2 0 %的SiCW Al2 O3陶瓷和不加晶须的Ti(C ,N) Al2 O3陶瓷。第三相Ti(C ,N)颗粒的加入与晶须一起产生明显的迭加增韧效果 ,而且对SiCW 的各种增韧机制起到了促进作用。 展开更多
关键词 SIC晶须 ti(C n) al2O3 陶瓷刀具 热压工艺 力学性能 致密度 复合材料
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脉冲偏压对(Ti,Al)N/TiN/(Ti,Al)N多层复合涂层成分和硬度的影响 被引量:11
15
作者 毛延发 唐为国 +2 位作者 兰新哲 周廉 韩培刚 《稀有金属快报》 CSCD 2008年第6期12-16,共5页
采用脉冲偏压多弧离子镀技术在Hss-Al高速钢上涂镀(Ti,Al)N/TiN(/Ti,Al)N多层复合涂层。所用设备为复合八阵弧离子镀膜生长系统。简要介绍了多层复合膜的镀层工艺过程。鉴于复合涂层中的Al含量对涂层的性能特别是抗磨损性能有极重要的影... 采用脉冲偏压多弧离子镀技术在Hss-Al高速钢上涂镀(Ti,Al)N/TiN(/Ti,Al)N多层复合涂层。所用设备为复合八阵弧离子镀膜生长系统。简要介绍了多层复合膜的镀层工艺过程。鉴于复合涂层中的Al含量对涂层的性能特别是抗磨损性能有极重要的影响,实验中重点考察了脉冲偏压幅对Al含量的影响。同时测试了复合涂层的Vickers硬度与偏压幅值的关系。研究结果得出,随着脉冲偏压幅值的增加,涂层中Al含量先增加,然后减少,偏压幅值为-150V时,Al含量高达36.41at%;偏压幅与涂层显微硬度的关系有相似的规律,在偏压幅值为-150V时,7层复合膜的Vickers硬度达2750MPa左右,10层复合膜的硬度约2880MPa。 展开更多
关键词 多弧离子膜 (ti al)n/tin/(ti al)n 多声能复合涂层 维氏硬度
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真空阴极电弧沉积(Ti,Al)N薄膜的应用研究 被引量:12
16
作者 付志强 蔡育平 +1 位作者 袁镇海 林松盛 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2001年第8期25-26,42,共3页
为了提高TiN涂层刀具的耐磨性 ,采用钛铝合金靶 ,以真空阴极电弧沉积法制备了(Ti,Al)N涂层。对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行了测试及研究 ,并试验了 (Ti,Al)N涂层高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命。结果表明 :(Ti ,Al)N涂层... 为了提高TiN涂层刀具的耐磨性 ,采用钛铝合金靶 ,以真空阴极电弧沉积法制备了(Ti,Al)N涂层。对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行了测试及研究 ,并试验了 (Ti,Al)N涂层高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命。结果表明 :(Ti ,Al)N涂层硬度高达HV0 .1,15370 0 ,(Ti,Al)N涂层使高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命显著提高。 展开更多
关键词 真空阴极电弧沉积 涂层刀具 氮化铝 氮化钛
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反应溅射(Al,Ti)(O,N)涂层的微结构与力学性能 被引量:5
17
作者 刘艳 董云杉 +2 位作者 许辉 祝新发 李戈扬 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1307-1309,共3页
采用Al—Ti镶嵌复合靶在Ar、N2和O2混合气体中反应溅射制备了一系列(Al,Ti)(O,N)涂层。并采用EDS、XRD、TEM和微力学探针研究了薄膜的化学成分、微结构和力学性能。结果表明,随氧分压的提高,涂层中氧含量逐步增加,氮含量相应... 采用Al—Ti镶嵌复合靶在Ar、N2和O2混合气体中反应溅射制备了一系列(Al,Ti)(O,N)涂层。并采用EDS、XRD、TEM和微力学探针研究了薄膜的化学成分、微结构和力学性能。结果表明,随氧分压的提高,涂层中氧含量逐步增加,氮含量相应减少,(Al+Ti):(O+N)的化学计量比仍约为1:1,涂层保持与(Al,Ti)N涂层相同的NaCl结构。低氧含量时薄膜在(111)方向上择优生长,随着氧含量的提高,涂层生长的择优取向发生改变,高氧含量薄膜样品呈现强烈(200)织构的柱状晶。与此同时,(Al,Ti)(O,N)涂层的硬度和弹性模量也仍保持在与(Al,Ti)N涂层相当的35GPa和370~420GPa的高值。由于涂层中形成了相当含量的氧化物,这类涂层的抗氧化能力有望得到提高。 展开更多
关键词 反应溅射 (al ti)(O n)复合涂层 微结构 力学性能
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A1含量对(Ti,Al)N膜结构性能影响的研究进展 被引量:4
18
作者 李国芳 王顺花 +1 位作者 石宗利 胡元杰 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 2007年第2期48-52,共5页
综述了Al元素在(Ti,Al)N膜中的作用机理和Al含量对(Ti,Al)N膜结构、抗高温氧化、硬度、耐磨性、结合强度等的影响,指出了(Ti,Al)N膜的发展方向。
关键词 (ti al)n 晶体结构 性能影响 研究进展
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氮气流量、基体温度对反应溅射(Ti,Al)N成膜影响 被引量:3
19
作者 刘昕 余志明 +2 位作者 尹登峰 苏伟涛 杨莉 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期80-82,85,共4页
采用反应直流磁控溅射的方法 ,通过控制基体温度和N2 /Ar流量比 ,在WC 6%Co基体表面上成功地制备了 (Ti,Al)N薄膜。用AFM、XRD、显微硬度测试仪对薄膜的显微形貌、成分、显微硬度进行了测试。结果表明 ,在N2 /Ar流量比较低时薄膜存在明... 采用反应直流磁控溅射的方法 ,通过控制基体温度和N2 /Ar流量比 ,在WC 6%Co基体表面上成功地制备了 (Ti,Al)N薄膜。用AFM、XRD、显微硬度测试仪对薄膜的显微形貌、成分、显微硬度进行了测试。结果表明 ,在N2 /Ar流量比较低时薄膜存在明显的(Ti ,Al)N的 ( 111)织构 ,随着N2 /Ar流量比的增大 ,这种 ( 111)织构逐渐变弱 ,薄膜显微形貌发生较明显的变化 ,显微硬度也随之变化 ;N2 /Ar流量比超过某一门槛值时不能生成 (Ti,Al)N ;在一定范围内 ( 2 5 0~ 40 0℃ ) ,温度对薄膜质量的影响不是很明显。 展开更多
关键词 (ti al)n 直流磁控溅射 显微形貌 织构
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Ti_(0.5)Al_(0.5)N涂层的抗高温氧化行为 被引量:24
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作者 王永康 雷廷权 +1 位作者 夏立芳 熊仁章 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期12-14,共3页
用 AES仪研究了多弧离子镀 Ti0 .5 Al0 .5 N涂层在空气气氛中的抗高温氧化行为 ,发现该涂层的抗高温氧化性能极其优异 ,其最高抗氧化温度可达 80 0℃。采用 SEM、EDX以及 XTEM等方法对 Ti0 .5 Al0 .5
关键词 金属 表面防护 多弧离子镀 抗高温抗氧化 氮化铝钛涂层 氧化失效
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