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基于相位调制的光声传感器灵敏度分析与应用
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作者 武丽云 纪刚强 《包装工程》 北大核心 2025年第5期173-180,共8页
目的采用高Q值全固态法布里-珀罗(Fabry-Pérot,F-P)谐振腔为声传感器敏感单元,设计高灵敏度、抗电磁干扰的光学声传感器,广泛应用于自动化陶瓷生产过程中的无损检测。方法高Q值全固态F-P谐振腔的声敏感结构,光与声直接相互作用,可... 目的采用高Q值全固态法布里-珀罗(Fabry-Pérot,F-P)谐振腔为声传感器敏感单元,设计高灵敏度、抗电磁干扰的光学声传感器,广泛应用于自动化陶瓷生产过程中的无损检测。方法高Q值全固态F-P谐振腔的声敏感结构,光与声直接相互作用,可以实现高灵敏度、高信噪比的声信号检测;设计相位调制声信号检测系统,分析声传感器灵敏度的影响因素。结果从理论上分析相位调制方式对光纤F-P腔声传感器灵敏度的影响,制备高Q值全固态F-P腔光学声传感器,搭建相位调制系统,实现高灵敏度光学声传感器的声信号检测。结论谐振腔的Q值、相位解调系统锁定位置等都会影响声传感器的灵敏度;开发的相位调制解调系统,光纤F-P腔声传感器性能分析方法以及对光纤F-P腔声信号的数值分析结果,可为陶瓷加工过程无损检测提供有用的指导。 展开更多
关键词 相位调制系统 高q值全固态 法布里-珀罗谐振腔 灵敏度
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