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压阻式高频动态高压传感器设计与冲击波超压测量
被引量：
6
1
作者
郭宏
王冰
+1 位作者
庄家局
王文襄
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2008年第9期1-2,5,共3页
阐述了用于冲击波超压测量的压阻式高频动态压力传感器的设计与开发。用MEMS技术设计的内径为2 mm的周边固支圆平膜片微型敏感元件具有高达数百kHz的固有频率,刚性键合及低桥阻确保了亚μs级的上升时间,背面承压的平面结构及无管腔齐平...
阐述了用于冲击波超压测量的压阻式高频动态压力传感器的设计与开发。用MEMS技术设计的内径为2 mm的周边固支圆平膜片微型敏感元件具有高达数百kHz的固有频率,刚性键合及低桥阻确保了亚μs级的上升时间,背面承压的平面结构及无管腔齐平封装设计是高频响特性实现的关键。
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关键词
高频动态压力传感器
冲击波超压
齐平封装
固有频率
MEMS
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职称材料
题名
压阻式高频动态高压传感器设计与冲击波超压测量
被引量：
6
1
作者
郭宏
王冰
庄家局
王文襄
机构
天津大学
昆山双桥传感器测控技术有限公司
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2008年第9期1-2,5,共3页
文摘
阐述了用于冲击波超压测量的压阻式高频动态压力传感器的设计与开发。用MEMS技术设计的内径为2 mm的周边固支圆平膜片微型敏感元件具有高达数百kHz的固有频率,刚性键合及低桥阻确保了亚μs级的上升时间,背面承压的平面结构及无管腔齐平封装设计是高频响特性实现的关键。
关键词
高频动态压力传感器
冲击波超压
齐平封装
固有频率
MEMS
Keywords
high frequency dynamic pressure sensor
shock wave superpressure
fiat package
natural frequency
MEMS
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
压阻式高频动态高压传感器设计与冲击波超压测量
郭宏
王冰
庄家局
王文襄
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2008
6
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