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900MHz高频低损耗声表面波滤波器 被引量:1
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作者 杨毅生 黄广伦 欧黎 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1995年第3期1-2,39,共3页
介绍了在36°YXLiTaO_3基片上采用镜像阻抗连接换能器结构研究制作出900MHz高频低损耗声表面波滤波器,插入损耗小于5dB、带外抑制优于50dB。
关键词 高频低损耗 声表面波滤波器 换能器
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铜基空气微同轴工艺技术 被引量:4
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作者 史光华 王建 +5 位作者 徐达 郭诚 常青松 王真 周彪 张延青 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第8期597-603,共7页
铜基空气微同轴传输线是由悬空的中心内导体、将其包围的接地外导体和周期性介质支撑结构组成。与传统的平面微带器件相比,基于微同轴工艺研制的毫米波器件具有宽频带、高隔离度、低损耗、高功率容量等特点,同时又保留了平面微带器件集... 铜基空气微同轴传输线是由悬空的中心内导体、将其包围的接地外导体和周期性介质支撑结构组成。与传统的平面微带器件相比,基于微同轴工艺研制的毫米波器件具有宽频带、高隔离度、低损耗、高功率容量等特点,同时又保留了平面微带器件集成度高等优势。系统地研究了铜基空气微同轴结构及制备工艺,并利用该工艺制备了W波段微同轴传输线和功率合成器。样件测试结果显示,基于微同轴技术的射频器件在高频下表现出可以与波导结构制作的器件相比拟的插入损耗和合成效率,在110 GHz处实测的传输线插入损耗≤0.045 dB/mm,功率合成器的一级合成效率(即两路合成)大于92%。该测试结果证明了微同轴结构及工艺的有效性和可靠性。 展开更多
关键词 微同轴 高频低损耗 功率合成器 毫米波(MMW) 射频微电子机械系统(RF MEMS)
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