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题名应用于MEMS惯性器件的高精度Σ-Δ调制器
被引量：2
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作者
李明昊
杨拥军
任臣
付迪
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机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
河北美泰电子科技有限公司
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出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2021年第12期926-931,共6页
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文摘
为了实现微电子机械系统(MEMS)惯性器件的高精度数字化输出,设计了一款单环5阶Σ-Δ调制器。利用Matlab在系统级完成了Σ-Δ调制器的结构设计,确定调制器为带有零点优化的级联积分器前馈(CIFF)结构,并在Simulink中完成了调制器非理想模型的建立。在电路设计时,调制器整体采用全差分的开关电容电路来实现。为了降低整体调制器的噪声,在第1级积分器中加入了斩波稳定模块,并采用了具有低回踢噪声的动态比较器作为一位量化器。本设计在0.18μm BCD工艺下实现,工作电压为5 V、采样频率为500 kHz、过采样率为128时,调制器的功耗约为4.25 mW,有效位数为19.06 bit。
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关键词
微电子机械系统(MEMS)惯性器件
Σ-Δ调制器
斩波放大器
高速动态比较器
回踢噪声
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Keywords
micro-electromechanical system(MEMS)inertial device
Σ-Δmodulator
chopper amplifier
high speed dynamic comparator
kickback noise
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分类号
TN433
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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