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高纯Er_2O_3靶材的低温无压烧结及性能研究
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作者 邓燕来 邓志军 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期15-17,21,共4页
以纳米Er2O3粉为原料,通过1 450℃低温无压烧结,成功制取了相对密度为近90%的高纯Er2O3陶瓷靶材。对采用不同形状纳米Er2O3粉所制靶材进行了断口形貌分析及密度测试,相关结果表明,以三维近球形纳米Er2O3粉为原料,在低温无压下烧结所制... 以纳米Er2O3粉为原料,通过1 450℃低温无压烧结,成功制取了相对密度为近90%的高纯Er2O3陶瓷靶材。对采用不同形状纳米Er2O3粉所制靶材进行了断口形貌分析及密度测试,相关结果表明,以三维近球形纳米Er2O3粉为原料,在低温无压下烧结所制得靶材的性能较优。 展开更多
关键词 纳米er2o3 高纯er2o3靶材 低温无压烧结 密度 断口形貌
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