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共平面二维高精度工作台误差修正与实验研究被引量：2: 1; 作者宫二敏黄强先余夫领《中国测试》北大核心 2014年第4期10-14,共5页; 该文通过采用误差分离与修正技术,对微纳米三坐标测量机x-y平面内存在的各项误差进行全面分析。利用高精密检测仪器和标准件,设计误差分离与修正方案,并对修正过的误差项补偿效果进行测试。然后通过实验测量标准量块平面度、长度等量值... 展开更多; 关键词微纳米三坐标测量机误差修正二维高精度工作台三维测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

高精度工作台速度反向时摩擦补偿研究被引量：1: 2; 作者罗石丰郭锐锋王志成《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2014年第6期1-3,7,共4页; 在消除了丝杠导程、间隙等误差之后,进给系统中存在的摩擦是影响工作台运动控制精度的主要因素。由于摩擦的影响,导致工作台速度反向时产生爬行现象,从而使得误差突然增大。文章对摩擦误差产生机理和补偿方法进行了研究,从瞬态响应的视... 展开更多; 关键词摩擦补偿高精度工作台爬行现象; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种大型立式车床高精度回转工作台被引量：1: 3; 作者张占锋岳鹏 +2 位作者李太林陈云霞刘阳《机床与液压》北大核心 2016年第8期1-2,共2页; 介绍一种大型立式车床上的高精度回转工作台,它采用推力向心圆锥滚子组合轴承,能够满足高精度、高速度加工的要求,在一定程度上能够代替磨削用工作台。; 关键词立式车床高精度回转工作台推力向心圆锥滚子组合轴承; 在线阅读下载PDF 职称材料

大行程纳米级定位工作台的结构设计被引量：9: 4; 作者陈琦《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1065-1071,共7页; 考虑采用静态三步拼接曝光法的扫描干涉场曝光系统的性能与工作台的定位精度及稳定性相关,设计了一种大行程、高精度二维工作台以提高其定位精度。采用摩擦驱动和压电陶瓷微位移机构组合的方式构成宏、微进给机构,由闭式气体静压导轨带... 展开更多; 关键词扫描干涉光刻系统高精度工作台气体静压导轨摩擦驱动纳米级定位; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种提高显微数控平台控制精度的细分驱动算法: 5; 作者邓耀华吴黎明 +2 位作者张力锴陈景郁苏振锐《机械设计与制造》北大核心 2010年第5期188-190,共3页; 高精密显微数控工作台是IC晶片自动光学检测的核心部件之一,其运动精度直接影响光学检测设备的分辨力,工作台的运动速度和加速度会影响整个IC晶片检测的工作效率。首先给出了高精度工作台的机械设计和工作台嵌入式控制结构,然后针对工... 展开更多; 关键词 IC晶片检测高精度工作台自适应细分逼近算法嵌入式; 在线阅读下载PDF 职称材料

球杆仪和光栅尺在两轴联动数控工作台运动测量中的应用: 6; 作者陶涛姜歌东 +1 位作者张洪丁梅雪松《航空制造技术》 2005年第11期85-88,共4页; 用光栅尺和球杆仪组成的测量系统检测了两轴联动精密数控工作台圆运动误差,分析了这两种测量方式的误差源及特征;通过对测量误差数学建模,识别出球杆仪的定位误差和光栅尺安装误差,并提出了光栅尺安装倾斜误差的修正方法,为实现工作台... 展开更多; 关键词光栅尺球杆仪高精度数控工作台误差分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名共平面二维高精度工作台误差修正与实验研究被引量：2: 1; 作者宫二敏黄强先余夫领; 机构合肥工业大学仪器科学与光电工程学院; 出处《中国测试》北大核心 2014年第4期10-14,共5页; 基金国家863计划重点项目(2008AA042409); 文摘该文通过采用误差分离与修正技术,对微纳米三坐标测量机x-y平面内存在的各项误差进行全面分析。利用高精密检测仪器和标准件,设计误差分离与修正方案,并对修正过的误差项补偿效果进行测试。然后通过实验测量标准量块平面度、长度等量值,以检验修正后的微纳米三坐标测量机测量精度。实验结果显示,一等量块工作面的平面度测量重复性标准差达到9.5nm,x和y方向长度测量的标准差分别达到了10nm和19nm。理论分析和实验表明,所研制的二维高精度工作台可用于高精度的三维测量。; 关键词微纳米三坐标测量机误差修正二维高精度工作台三维测量; Keywords micro-nano CMM error correction 2D high precision stage 3D measurement; 分类号 TH721 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高精度工作台速度反向时摩擦补偿研究被引量：1: 2; 作者罗石丰郭锐锋王志成; 机构中国科学院大学中国科学院沈阳计算技术研究所; 出处《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2014年第6期1-3,7,共4页; 基金核高基国家科技重大专项(2012ZX01029001-002); 文摘在消除了丝杠导程、间隙等误差之后,进给系统中存在的摩擦是影响工作台运动控制精度的主要因素。由于摩擦的影响,导致工作台速度反向时产生爬行现象,从而使得误差突然增大。文章对摩擦误差产生机理和补偿方法进行了研究,从瞬态响应的视角揭示了摩擦误差产生的机理,通过数学推导精确计算出爬行现象的持续时间,以及由此导致的最大跟随误差。提出了一种零速对称式摩擦补偿方法,该方法在工作台的爬行时间内进行补偿,使工作台尽快脱离爬行状态,仿真结果表明该方法能够显著的减小爬行时间。; 关键词摩擦补偿高精度工作台爬行现象; Keywords friction compensation high precision worktable the crawling phenomenon; 分类号 TH166 [机械工程—机械制造及自动化] TG65 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种大型立式车床高精度回转工作台被引量：1: 3; 作者张占锋岳鹏李太林陈云霞刘阳; 机构新乡日升数控轴承装备股份有限公司新乡医学院管理学院; 出处《机床与液压》北大核心 2016年第8期1-2,共2页; 基金 2010年国家重点新产品项目(2010GRD00031); 文摘介绍一种大型立式车床上的高精度回转工作台,它采用推力向心圆锥滚子组合轴承,能够满足高精度、高速度加工的要求,在一定程度上能够代替磨削用工作台。; 关键词立式车床高精度回转工作台推力向心圆锥滚子组合轴承; Keywords Vertical lathe High precision rotary table Thrust radial tapered roller bearing; 分类号 TH13 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大行程纳米级定位工作台的结构设计被引量：9: 4; 作者陈琦; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1065-1071,共7页; 基金国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.61227901); 文摘考虑采用静态三步拼接曝光法的扫描干涉场曝光系统的性能与工作台的定位精度及稳定性相关,设计了一种大行程、高精度二维工作台以提高其定位精度。采用摩擦驱动和压电陶瓷微位移机构组合的方式构成宏、微进给机构,由闭式气体静压导轨带动工作台实现沿X、Y两个方向的光栅分度与扫描运动。优化设计了摩擦驱动机构和气体静压导轨结构,并对工作台整体结构固有频率进行了有限元分析。使用自准直仪检测了导轨在X、Y方向的直线性,结果显示其两方向偏航和俯仰精度均在±0.04μm以内。使用激光干涉仪检测了导轨在X方向的定位精度和定位噪声,结果表明,对X向行程为220mm、Y向行程为300mm的工作台,其X方向的定位精度优于±5nm,定位稳定性可达±25nm。得到的结果满足扫描干涉场曝光系统工作台纳米级定位精度的要求。; 关键词扫描干涉光刻系统高精度工作台气体静压导轨摩擦驱动纳米级定位; Keywords scanning interference lithographic system high-precision stage gas hydrostatic guideway friction drive nanometer positioning; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械] TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种提高显微数控平台控制精度的细分驱动算法: 5; 作者邓耀华吴黎明张力锴陈景郁苏振锐; 机构广东工业大学信息工程学院华南理工大学机械与汽车工程学院; 出处《机械设计与制造》北大核心 2010年第5期188-190,共3页; 基金广东省科技计划攻关项目(2004A10403008) 广州市科技攻关项目(2007Z2-D3161); 文摘高精密显微数控工作台是IC晶片自动光学检测的核心部件之一,其运动精度直接影响光学检测设备的分辨力,工作台的运动速度和加速度会影响整个IC晶片检测的工作效率。首先给出了高精度工作台的机械设计和工作台嵌入式控制结构,然后针对工作台的驱动精度进行研究,深入分析了驱动电机细分控制中的正余弦细分控制方法,使用细分表查表算法进行计算,分析了查表法存在的不足方面,提出了多级细分控制算法,利用圆的多边形逼近算法动态计算细分电流值,保证了高次细分情况下电机线圈电流矢量的均匀性,使得微步距角的分配更均匀,有效的提高了工作台运动的平稳性和控制精度,为IC晶片的精密检测提供了可靠的保证。; 关键词 IC晶片检测高精度工作台自适应细分逼近算法嵌入式; Keywords IC chip detection High precision workbench Adaptive subdivision Approximation algorithm Embedded; 分类号 TH16 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名球杆仪和光栅尺在两轴联动数控工作台运动测量中的应用: 6; 作者陶涛姜歌东张洪丁梅雪松; 机构西安交通大学机械工程学院; 出处《航空制造技术》 2005年第11期85-88,共4页; 基金国家自然科学基金(50275117 50475091) +1 种基金 jjx2004024)资助项目; 文摘用光栅尺和球杆仪组成的测量系统检测了两轴联动精密数控工作台圆运动误差,分析了这两种测量方式的误差源及特征;通过对测量误差数学建模,识别出球杆仪的定位误差和光栅尺安装误差,并提出了光栅尺安装倾斜误差的修正方法,为实现工作台高精度位置控制奠定了基础。; 关键词光栅尺球杆仪高精度数控工作台误差分析; Keywords Grating scale Ball bar meter High precision NC worktable Error analysis; 分类号 TG659 [金属学及工艺—金属切削加工及机床] TH-39 [机械工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	共平面二维高精度工作台误差修正与实验研究	宫二敏黄强先余夫领	《中国测试》北大核心	2014	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	高精度工作台速度反向时摩擦补偿研究	罗石丰郭锐锋王志成	《组合机床与自动化加工技术》北大核心	2014	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	一种大型立式车床高精度回转工作台	张占锋岳鹏李太林陈云霞刘阳	《机床与液压》北大核心	2016	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	大行程纳米级定位工作台的结构设计	陈琦	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	9	在线阅读下载PDF 职称材料
5	一种提高显微数控平台控制精度的细分驱动算法	邓耀华吴黎明张力锴陈景郁苏振锐	《机械设计与制造》北大核心	2010	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	球杆仪和光栅尺在两轴联动数控工作台运动测量中的应用	陶涛姜歌东张洪丁梅雪松	《航空制造技术》	2005	0	在线阅读下载PDF 职称材料