高精度激光三角位移传感器的技术现状 被引量：98

1

作者 冯俊艳 冯其波 匡萃方 《应用光学》 CAS CSCD 2004年第3期33-36,共4页

　三角测量法是一种传统的位移测量方法。随着激光器、光电探测器和计算机的发展,三角测量法有了很多新的进展和应用。对激光三角位移测量系统进行概述和讨论。根据光线的不同入射方式激光三角位移传感器主要分为两种:直入射式和斜入射... 　三角测量法是一种传统的位移测量方法。随着激光器、光电探测器和计算机的发展,三角测量法有了很多新的进展和应用。对激光三角位移测量系统进行概述和讨论。根据光线的不同入射方式激光三角位移传感器主要分为两种:直入射式和斜入射式。分别介绍了这两种方法的测量原理,并对它们各自的特点进行了比较。最后阐述了高精度激光三角位移传感器的应用方向及发展趋势。 展开更多

关键词 三角测量法 高精度激光位移传感器 光电探测器 非接触测量

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绝缘监测用高精度微电流传感器研究 被引量：8

2

作者 单平 罗勇芬 +2 位作者 徐大可 曹俊岭 李彦明 《电力自动化设备》 EI CSCD 北大核心 2002年第11期4-6,共3页

一种用于绝缘在线监测的穿心式高精度微电流传感器。通过电子电路对激磁电流的跟踪和自动补偿,使传感器近似工作在“零磁通”状态。对传感器的性能测试表明,补偿收到了良好效果,角差稳定在±1.5分以内,比差小于千分之一。

关键词 绝缘监测 高精度微电流传感器 零磁通 在线监测

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宽转速范围的同步伺服电机无传感器控制研究 被引量：2

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作者 陈一兵 樊卓远 +2 位作者 刘姣 李匡正 朱小红 《机床与液压》 北大核心 2025年第8期101-107,共7页

传统基于定向磁场控制的同步伺服电机调速系统难以在宽转速范围内实现高精确的转速控制,在低速区间甚至会出现失速。针对此问题,提出一种宽转速范围的同步伺服系统无传感器高精度控制策略,基于无迹卡尔曼滤波器的无位置传感器结构,对中... 传统基于定向磁场控制的同步伺服电机调速系统难以在宽转速范围内实现高精确的转速控制,在低速区间甚至会出现失速。针对此问题,提出一种宽转速范围的同步伺服系统无传感器高精度控制策略,基于无迹卡尔曼滤波器的无位置传感器结构,对中高转速区间内电机转速及符号进行精确估算与控制;同时通过带Luenberger观察器和参考模型的控制策略,解决低速区间下无法实现精确控制的问题。搭建实验样机对所提控制策略进行验证。结果表明:所提控制策略在中高转速区间可以得到较小的伺服电机转速和位置跟踪偏差值,同时低速区间的跟踪精度也较高。 展开更多

关键词 永磁同步电机 无传感器高精度控制 宽转速范围 无迹卡尔曼滤波器 Luenberger观察器

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基于零磁通原理的高精度小电流传感器的研究 被引量：12

4

作者 包军 田建华 张秀阁 《继电器》 CSCD 北大核心 2002年第12期32-33,37,共3页

分析了零磁通电流互感器的原理 ,提出了一种用超微晶合金做铁芯 ,增加自适应动态电子电路 ,实现小电流传感器的“动态零磁通”

关键词 零磁通原理 高精度小电流传感器 误差 电磁耦合 电子电路

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基于高精度位移传感器的机床主轴热变形实时测量 被引量：8

5

作者 曹永洁 傅建中 《组合机床与自动化加工技术》 2006年第12期42-44,47,共4页

文章研究了高精度位移传感器在数控机床主轴热变形测量中的应用。考虑到数控机床主轴热变形在热误差研究中的重要性,文中利用基恩士公司生产的高精度CCD激光位移传感器和涡电流位移传感器,对数控机床主轴的热变形进行了实时测量。实验... 文章研究了高精度位移传感器在数控机床主轴热变形测量中的应用。考虑到数控机床主轴热变形在热误差研究中的重要性,文中利用基恩士公司生产的高精度CCD激光位移传感器和涡电流位移传感器,对数控机床主轴的热变形进行了实时测量。实验结果表明,所测立式铣床主轴热变形沿Y轴方向最大,在主轴转速5000 r/m in的条件下,约为41μm。 展开更多

关键词 高精度位移传感器 机床 热变形 实时测量

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一种用于高精度电容传感器电路的三级运算放大器 被引量：2

6

作者 任臣 杨拥军 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第4期325-331,共7页

为提高电容式传感器专用集成电路(ASIC)的检测精度,设计了一种三级运算放大器电路。该放大器电路为全差分实现形式,采用三级共源放大器级联结构,使用密勒补偿并调整零点抵消高频极点,以保证放大器的稳定性。该放大器电路基于0.18μm标准... 为提高电容式传感器专用集成电路(ASIC)的检测精度,设计了一种三级运算放大器电路。该放大器电路为全差分实现形式,采用三级共源放大器级联结构,使用密勒补偿并调整零点抵消高频极点,以保证放大器的稳定性。该放大器电路基于0.18μm标准CMOS工艺设计实现,工作电压为1.8 V,工作电流为80μA。电路仿真结果显示:三级运算放大器的直流增益为118 dB,单位增益频率为73 MHz,噪声水平为0.21μV/√Hz。芯片测试结果表明,采用该放大器的电容传感器电路前端的非线性优于6×10^(-5)。该放大器功耗低、面积小、可靠性好,在工程上实现了较优的综合性能。 展开更多

关键词 专用集成电路(ASIC) 微电子机械系统(MEMS) 三级运算放大器 密勒补偿 高精度电容传感器

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新型、高精度氧化锆传感器

7

作者 张文富 李微 张子平 《中国电力》 CSCD 1995年第4期69-70,共2页

新型、高精度氧化锆传感器中国矿大北京研究生部张文富河北煤炭建工学院李微，张子平氧化错传感器用于烟气氧含量测量已有近３０年历史，由于其具有使用方便、反应时间快、价格低．可去接安装于烟道上无需再加“样气处理系统”等优点．... 新型、高精度氧化锆传感器中国矿大北京研究生部张文富河北煤炭建工学院李微，张子平氧化错传感器用于烟气氧含量测量已有近３０年历史，由于其具有使用方便、反应时间快、价格低．可去接安装于烟道上无需再加“样气处理系统”等优点．因而在各种炉窑系统中得到广泛应用，... 展开更多

关键词 传感器 氧化锆传感器 高精度传感器

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英国开发出高精度体温传感器助育龄女性当妈妈

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《中华中医药学刊》 CAS 2010年第7期1549-1549,共1页

关键词 英国 高精度体温传感器 育龄女性 怀孕工具

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灵敏度系数可调布拉格光栅应变传感器的设计 被引量：18

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作者 何俊 周智 +2 位作者 董惠娟 张广玉 欧进萍 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期2339-2346,共8页

针对裸光纤布拉格光栅应变监测量程或精度有限的问题,提出了一种灵敏度系数可调光纤布拉格光栅应变传感器的设计方法。理论和实验研究了该方法在增大光纤布拉格光栅应变监测量程或提高精度方面的性能,并以此研制了基片表面粘贴式和FRP... 针对裸光纤布拉格光栅应变监测量程或精度有限的问题,提出了一种灵敏度系数可调光纤布拉格光栅应变传感器的设计方法。理论和实验研究了该方法在增大光纤布拉格光栅应变监测量程或提高精度方面的性能,并以此研制了基片表面粘贴式和FRP封装式两种封装结构的灵敏度系数可调应变传感器。理论分析并实验标定了传感器的灵敏度系数。最后,对传感器理论和实验灵敏度系数误差进行了分析,指出了改进的方向。实验结果表明:两种封装结构的大量程传感器的量程分别增加了243%和126%,高精度传感器的精度提高至0.51με和0.52με。传感器标定实验表明,两种封装结构的传感器都有很好的线性度和重复性,相关系数达到0.999以上。 展开更多

关键词 光纤BRAGG光栅 高精度传感器 大量程传感器 应变传感器 灵敏度

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倾斜梳齿的MEMS电容式传感器惯性脉冲响应特性研究 被引量：12

10

作者 董林玺 颜海霞 +1 位作者 钱忺 孙玲玲 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期1035-1040,共6页

DRIE(Deep Reactive Ion Etching)工艺加工的高深宽比梳齿电容不能保证绝对平行.本文在考虑低真空空气阻尼力的同时,研究了梳齿电容倾斜的MEMS传感器对脉冲惯性信号的响应,并分析了DRIE工艺因素对器件性能的影响.研究结果表明,当传感器... DRIE(Deep Reactive Ion Etching)工艺加工的高深宽比梳齿电容不能保证绝对平行.本文在考虑低真空空气阻尼力的同时,研究了梳齿电容倾斜的MEMS传感器对脉冲惯性信号的响应,并分析了DRIE工艺因素对器件性能的影响.研究结果表明,当传感器为没有静电力反馈的双边电容结构时,梳齿电容的不平行对传感器的响应位移、惯性脉冲响应线性度范围影响明显,且随着封装真空度增加而加重.若传感器有静电力反馈,惯性脉冲响应的灵敏度降低,但DRIE工艺因素的影响程度降低.为了抑制DRIE工艺导致的梳齿电容不平行因素的影响,文中还设计了一个新型的变电容面积的MEMS惯性传感器,并用ANSYS初步分析了其性能,设计了其详细的制作工艺流程. 展开更多

关键词 高精度微传感器 倾斜梳齿 惯性脉冲响应 MEMS

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基于高精度光纤测温的水热耦合试验

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作者 寇玉冬 刘春 《河南理工大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2023年第3期88-94,共7页

为探究城市浅层地表下的水热耦合过程和影响因素,设计高精度传感器监测室内试验平台,开展考虑温度-渗流-覆盖层的水热耦合试验,以实现分布式温度场监测。结果表明:渗流参与时土体温度场变化剧烈,渗流速率更大,升温速率可提高数十倍以上... 为探究城市浅层地表下的水热耦合过程和影响因素,设计高精度传感器监测室内试验平台,开展考虑温度-渗流-覆盖层的水热耦合试验,以实现分布式温度场监测。结果表明:渗流参与时土体温度场变化剧烈,渗流速率更大,升温速率可提高数十倍以上;水温越高,与土体温差越大,温度场变化越明显;不同覆盖层下土体升温过程不同,聚乙烯板下土体温度升温最慢,且低于其他材料的;土层性质相同,温度变化速率较一致,渗透性高有利于渗流与传热;减弱覆盖层渗流流动,改变渗流场,进而影响温度场分布;渗流为热能载体,扰动初始热对流状态,温度场将重新分布;温度影响渗流黏滞系数等,改变渗流场;三者耦合决定了土体温度场。 展开更多

关键词 地下水渗流 覆盖层 水热耦合 高精度传感器

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一种用于转子球表面高精度测量系统的研究

12

作者 周卫东 刘建锋 袁赣南 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2005年第SC期788-790,共3页

提出一种新转子球表面测量技术,用光强调制式的单光纤传感器作为测量元件,相应的灵敏度为2.5mv/μm,对该系统进行测试(在0～100μm之内)结果为精度等级优于1%,重复性优于0.5%,设计一种适用于转子表面测量的系统其测量精度达到0.005μm,... 提出一种新转子球表面测量技术,用光强调制式的单光纤传感器作为测量元件,相应的灵敏度为2.5mv/μm,对该系统进行测试(在0～100μm之内)结果为精度等级优于1%,重复性优于0.5%,设计一种适用于转子表面测量的系统其测量精度达到0.005μm,以直径为38mm的实心转子球为例介绍了整个系统的组成及其工作过程,给出两种有用转子表面图形绘制法—墨克脱投影法和三维表面重现法,并给出了本转子的测量三维表面图。然后用此数据得到了一些对预测转子的某些动力学性能很有用的参数。 展开更多

关键词 转子表面测量 高精度光纤传感器 二维旋转台 表面图的绘制

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低真空封装的新型变电容面积MEMS惯性传感器阶跃响应特性分析 被引量：1

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作者 陈金丹 董林玺 +3 位作者 颜海霞 霍卫红 李永杰 孙玲玲 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期331-336,共6页

一种新型变电容面积MEMS惯性传感器与传统的梳齿电容传感器相比,具有对梳齿电容不平行敏感度低,可加测试电压高等优点。通过对该传感器在低真空封装条件下的惯性阶跃响应特性分析,着重研究了不同梳齿电容倾斜角度对该传感器的阶跃惯性... 一种新型变电容面积MEMS惯性传感器与传统的梳齿电容传感器相比,具有对梳齿电容不平行敏感度低,可加测试电压高等优点。通过对该传感器在低真空封装条件下的惯性阶跃响应特性分析,着重研究了不同梳齿电容倾斜角度对该传感器的阶跃惯性信号响应的影响,以及不同倾斜角度梳齿的位移响应和测试电压、空气真空度的关系,并把该结果和梳齿结构的情况进行比较。结果表明,工艺因素对变电容面积MEMS惯性传感器在低真空封装下的阶跃惯性响应影响很小;另外,该结构上可加的测试电压可以是梳齿电容结构上可加测试电压的近10倍,这有利于减小接口电路的噪声。以上分析论证了该新型传感器有利于降低器件的工艺要求和提高传感器的分辨率。 展开更多

关键词 MEMS 高精度微传感器 阶跃响应分析 倾斜梳齿

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运动位置传感器信号实时解析与控制系统设计 被引量：2

14

作者 阮玮琪 贾文红 +1 位作者 郑丽芳 李瑞 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第9期1360-1364,共5页

针对复杂噪声背景下多通道高精度运动位置传感器信号处理的问题,在可编程FPGA芯片上设计并实现了一种信号实时解析与控制系统。系统应用基于LFSR的数字滤波器并通过α矩阵调节多通道信号的低通带频点,通过矫正识别计数方法区分位置与噪... 针对复杂噪声背景下多通道高精度运动位置传感器信号处理的问题,在可编程FPGA芯片上设计并实现了一种信号实时解析与控制系统。系统应用基于LFSR的数字滤波器并通过α矩阵调节多通道信号的低通带频点,通过矫正识别计数方法区分位置与噪声信号特征,并结合4倍计数的冗余计数方法降低误差,最后系统输出触发控制信号。实验结果表明,系统能检测信噪比为1∶1环境下的并行多路运动位置传感器信号,且α介于8~250间的系统整体误差小于0.5%;对频率在25 kHz至800 kHz的位置传感信号,α介于8~11间的系统误差小于0.05%。各个单通道信号的解析时间与α成正比,为(3α+3) T_(sampling),系统具有实时性。 展开更多

关键词 高精度运动位置传感器 并行多路信号 解析与控制 LFSR数字滤波通道

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基于绝对式准静态校准的测力传感器分析 被引量：2

15

作者 陈静 孔德仁 +3 位作者 郭彬 张喜英 顾廷炜 陈金刚 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第5期1-4,共4页

在详细探讨了利用落锤装置进行压力校准的多种途径的基础上,对于力监测压力的绝对式准静态校准方法,若采用制式产品的测力传感器通过螺栓连接的方式固定于落锤装置时,在测力过程中会受到摩擦力、预紧力和惯性力等影响。为了精确测量锤... 在详细探讨了利用落锤装置进行压力校准的多种途径的基础上,对于力监测压力的绝对式准静态校准方法,若采用制式产品的测力传感器通过螺栓连接的方式固定于落锤装置时,在测力过程中会受到摩擦力、预紧力和惯性力等影响。为了精确测量锤头撞击精密活塞杆时力的大小,根据目前装置的结构及设计要求,研制了锤头及敏感元件一体化的高精度应变式测力传感器并对其进行理论计算和仿真分析,通过试验进一步研究测力传感器的静态特性和动态特性,最终通过试验验证了其可行性。 展开更多

关键词 绝对式准静态校准 高精度应变式测力传感器 仿真分析 静态特性 动态特性

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利用微波功率传感器判断新一代天气雷达故障 被引量：1

16

作者 胡帆 柴秀梅 +1 位作者 王凌震 周红根 《气象》 CSCD 北大核心 2011年第8期1042-1044,共3页

近年来,以平面掺杂势垒二极管为核心构成的微波功率传感器与小功率计配合,能实现对微波功率的高速、高精度和连续测量,广泛应用于天气雷达等高频设备信号功率的测量。文章详细阐述了微波功率传感器的特性和电路原理,以及该传感器与小功... 近年来,以平面掺杂势垒二极管为核心构成的微波功率传感器与小功率计配合,能实现对微波功率的高速、高精度和连续测量,广泛应用于天气雷达等高频设备信号功率的测量。文章详细阐述了微波功率传感器的特性和电路原理,以及该传感器与小功率计的连接、设置和使用方法。并以在CINRAD/SA雷达发射机、接收机中两个典型故障检修事例,论述了微波功率传感器在天气雷达上的应用。 展开更多

关键词 平面掺杂势垒二极管 高速高精度微波功率传感器 原理 CINRAD/SA 应用

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建设农业强国 彰显农科力量 系列报道之八 佳木斯农高区:深挖农业资源 构建五大产业

17

作者 王怡文 教忠航 《中国农村科技》 2024年第12期6-10,共5页

盛夏时节,田野间,一望无际的成片稻谷随风轻摆,绿浪翻滚,预示着丰收的希望。“农业现代化是什么样子?你来到这里就能找到答案。”黑龙江佳木斯国家农业高新技术产业示范区[以下简称“佳木斯(建三江)农高区”]党工委书记王继武说。22项... 盛夏时节,田野间,一望无际的成片稻谷随风轻摆,绿浪翻滚,预示着丰收的希望。“农业现代化是什么样子?你来到这里就能找到答案。”黑龙江佳木斯国家农业高新技术产业示范区[以下简称“佳木斯(建三江)农高区”]党工委书记王继武说。22项水稻种植先进技术精准把控水稻生长的每一个环节,搭载高精度传感器与智能控制系统的植保无人机实现了“按需施肥”,稻米高附加值精深加工向产业链高端迈进……现代化大农业的“脉动”强劲有力。 展开更多

关键词 现代化大农业 黑龙江佳木斯 高精度传感器 智能控制系统 农业强国 农业高新技术产业示范区 植保无人机 水稻种植

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基于STM32与NB-IOT网络的新型倾角传感器研究设计 被引量：2

18

作者 栾文平 汤浩 郭亚 《农业工程技术》 2020年第3期47-52,共6页

倾角传感器在农业、工业、铁路、航空航天等领域有重要的应用。本文基于STM32微处理器和高精度倾角传感器SCA103T并结合NB-IoT网络实现了一种低功耗、高精度和无线传输的新型倾角传感器。系统待机电流仅1.3mA,精度可达0.001°,无线... 倾角传感器在农业、工业、铁路、航空航天等领域有重要的应用。本文基于STM32微处理器和高精度倾角传感器SCA103T并结合NB-IoT网络实现了一种低功耗、高精度和无线传输的新型倾角传感器。系统待机电流仅1.3mA,精度可达0.001°,无线传输速率为200Kbps。通过设计相关的外围电路并结合Keil环境编程实现倾角传感器信息的读取、分析和处理,以及实现在Windows上利用C#编程从NB-IoT服务器端获取数据并进行数据的可视化。设计结果表明该倾角传感器具有测量方便、传输稳定、高精度、成本低等特点,能够广泛应用到各个相关领域。 展开更多

关键词 高精度倾角传感器 STM32微处理器 NB-IoT网络 C#编程

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拖拉机耕整地作业质量检测装置及其应用

19

作者 许凯 吴宁 杲明川 《农业知识》 2025年第1期86-89,共4页

土壤耕整地作业作为农业生产不可或缺的关键环节,其作业质量的高低直接关联到农作物的最终产量。然而,当前国内在评估耕整地作业质量方面的方法比较单一,相关参数的监测与评估体系没有实现高效集成化。拖拉机耕整地作业质量检测装置选... 土壤耕整地作业作为农业生产不可或缺的关键环节,其作业质量的高低直接关联到农作物的最终产量。然而,当前国内在评估耕整地作业质量方面的方法比较单一,相关参数的监测与评估体系没有实现高效集成化。拖拉机耕整地作业质量检测装置选用多维度高精度传感器,利用数据采集与处理系统,基于多通道无线传输技术,能够将拖拉机耕整地作业相关技术指标进行采集、存储和运算,从而快速精准测得耕整地作业质量指标和拖拉机田间作业不同工况的相关数据,为耕整地作业质量和拖拉机作业载荷设计提供了有效的技术支撑。 展开更多

关键词 田间作业 检测装置 作业质量 载荷设计 高精度传感器 无线传输技术 数据采集与处理系统 最终产量

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无座力炮动不平衡冲量测试方法研究

20

作者 贾琪 邱奖利 +3 位作者 支凯艳 杨江 郭浩 董长宏 《兵工自动化》 北大核心 2024年第6期36-39,共4页

针对无座力炮动不平衡冲量的测试存在操作过程繁琐且不易满足测量精度要求的问题,设计一种新的测试装置。通过低阻尼滑轨和高精度传感器测试出无座力炮发射时的速度、位移,根据动量原理算出无座力炮的动不平衡冲量。试验验证结果表明:... 针对无座力炮动不平衡冲量的测试存在操作过程繁琐且不易满足测量精度要求的问题,设计一种新的测试装置。通过低阻尼滑轨和高精度传感器测试出无座力炮发射时的速度、位移,根据动量原理算出无座力炮的动不平衡冲量。试验验证结果表明:该测试系统平均测试误差为0.48%,可成功应用于无座力炮动不平衡冲量测试。 展开更多

关键词 无座力炮 动不平衡冲量 低阻尼滑轨 高精度传感器

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