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基于HSPMI的激光干涉位移校准系统的构建及实验研究
被引量：
5
1
作者
李庆贤
高思田
+3 位作者
李伟
施玉书
卢明臻
陈本永
《计量学报》
CSCD
北大核心
2013年第6期519-523,共5页
基于高稳定性平面镜干涉仪（HSPMI）构建了一套激光干涉纳米位移校准系统。描述了该系统的组成，设计了基于VME总线的数字信号处理计算机软件程序，对影响系统测量不确定度的各类误差进行了分析，得出该校准系统测量不确定度为2．93nm...
基于高稳定性平面镜干涉仪（HSPMI）构建了一套激光干涉纳米位移校准系统。描述了该系统的组成，设计了基于VME总线的数字信号处理计算机软件程序，对影响系统测量不确定度的各类误差进行了分析，得出该校准系统测量不确定度为2．93nm。分别对系统稳定性和纳米级位移测试进行了实验，验证了构建系统的有效性和实用性。
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关键词
计量学
纳米位移
激光
干涉
高稳定性平面镜干涉仪
误差分析
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职称材料
题名
基于HSPMI的激光干涉位移校准系统的构建及实验研究
被引量：
5
1
作者
李庆贤
高思田
李伟
施玉书
卢明臻
陈本永
机构
浙江理工大学纳米测量技术实验室
中国计量科学研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2013年第6期519-523,共5页
基金
国家科技支撑计划（2011BAKl5809）
文摘
基于高稳定性平面镜干涉仪（HSPMI）构建了一套激光干涉纳米位移校准系统。描述了该系统的组成，设计了基于VME总线的数字信号处理计算机软件程序，对影响系统测量不确定度的各类误差进行了分析，得出该校准系统测量不确定度为2．93nm。分别对系统稳定性和纳米级位移测试进行了实验，验证了构建系统的有效性和实用性。
关键词
计量学
纳米位移
激光
干涉
高稳定性平面镜干涉仪
误差分析
Keywords
Metrology
Nanometer displacement
Laser interferometer
HSPMI
Error analysis
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
基于HSPMI的激光干涉位移校准系统的构建及实验研究
李庆贤
高思田
李伟
施玉书
卢明臻
陈本永
《计量学报》
CSCD
北大核心
2013
5
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