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甚高灵敏度红外探测器读出电路研究进展
被引量：
8
1
作者
陈虓
李立华
+6 位作者
梁艳
胡彦博
李敏
姚立斌
赵长明
赵鹏
李雯霞
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2020年第1期92-98,共7页
在读出电路有限的像元面积内获得尽可能大的电荷存储量是实现甚高灵敏度红外探测器的关键。基于脉冲频率调制的像元级模数转换(ADC)是实现甚高灵敏度红外探测器读出电路的主要方法,阐述了像元级脉冲频率调制ADC的原理,介绍了美国麻省理...
在读出电路有限的像元面积内获得尽可能大的电荷存储量是实现甚高灵敏度红外探测器的关键。基于脉冲频率调制的像元级模数转换(ADC)是实现甚高灵敏度红外探测器读出电路的主要方法,阐述了像元级脉冲频率调制ADC的原理,介绍了美国麻省理工学院林肯实验室、法国CEA-LETI在像元级数字读出电路的研究进展。作为从立体空间拓展电路密度的新技术,介绍了三维读出电路的研究进展。最后介绍了昆明物理研究所甚高灵敏度红外探测器读出电路的研究进展。利用像元级ADC技术和数字域时间延迟积分(TDI)技术,昆明物理研究所研制的长波512×8数字化TDI红外探测器组件,峰值灵敏度达到1.5 mK。
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关键词
甚
高灵敏度红外探测器
像元级ADC
三维读出电路
数字域TDI
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职称材料
用于高灵敏度红外探测器的超薄硅膜的研制
被引量：
1
2
作者
董典红
徐晨
+5 位作者
邹德恕
李兰
杨道虹
张剑铭
阳启明
沈光地
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2005年第1期23-26,共4页
超薄、平整的硅膜对于制作高灵敏度红外探测器是非常重要的。这种超薄硅膜的各向异性腐蚀技术,包括有机溶液EPW和无机溶液KOH及KOH+IPA(异丙醇)。从腐蚀速率、腐蚀表面质量、腐蚀停特性、腐蚀边缘形貌及腐蚀工艺的角度分析比较了两种腐...
超薄、平整的硅膜对于制作高灵敏度红外探测器是非常重要的。这种超薄硅膜的各向异性腐蚀技术,包括有机溶液EPW和无机溶液KOH及KOH+IPA(异丙醇)。从腐蚀速率、腐蚀表面质量、腐蚀停特性、腐蚀边缘形貌及腐蚀工艺的角度分析比较了两种腐蚀系统,分别制作出了约1μm厚的平整超薄硅膜,并研究了不同掩膜材料在腐蚀液中的抗蚀性,为高灵敏度红外探测器的制作奠定了工艺基础。
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关键词
超薄硅膜
各向异性腐蚀
高灵敏度红外探测器
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职称材料
题名
甚高灵敏度红外探测器读出电路研究进展
被引量：
8
1
作者
陈虓
李立华
梁艳
胡彦博
李敏
姚立斌
赵长明
赵鹏
李雯霞
机构
昆明物理研究所
北京理工大学光电学院
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2020年第1期92-98,共7页
基金
国防重点预研基金。
文摘
在读出电路有限的像元面积内获得尽可能大的电荷存储量是实现甚高灵敏度红外探测器的关键。基于脉冲频率调制的像元级模数转换(ADC)是实现甚高灵敏度红外探测器读出电路的主要方法,阐述了像元级脉冲频率调制ADC的原理,介绍了美国麻省理工学院林肯实验室、法国CEA-LETI在像元级数字读出电路的研究进展。作为从立体空间拓展电路密度的新技术,介绍了三维读出电路的研究进展。最后介绍了昆明物理研究所甚高灵敏度红外探测器读出电路的研究进展。利用像元级ADC技术和数字域时间延迟积分(TDI)技术,昆明物理研究所研制的长波512×8数字化TDI红外探测器组件,峰值灵敏度达到1.5 mK。
关键词
甚
高灵敏度红外探测器
像元级ADC
三维读出电路
数字域TDI
Keywords
very high sensitivity infrared detector
pixel-level ADC
3D ROIC
digital TDI
分类号
TN386.5 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
用于高灵敏度红外探测器的超薄硅膜的研制
被引量：
1
2
作者
董典红
徐晨
邹德恕
李兰
杨道虹
张剑铭
阳启明
沈光地
机构
北京工业大学电子与信息控制工程学院北京市光电子技术实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2005年第1期23-26,共4页
基金
北京市教委科技发展项目(KM200310005009)
文摘
超薄、平整的硅膜对于制作高灵敏度红外探测器是非常重要的。这种超薄硅膜的各向异性腐蚀技术,包括有机溶液EPW和无机溶液KOH及KOH+IPA(异丙醇)。从腐蚀速率、腐蚀表面质量、腐蚀停特性、腐蚀边缘形貌及腐蚀工艺的角度分析比较了两种腐蚀系统,分别制作出了约1μm厚的平整超薄硅膜,并研究了不同掩膜材料在腐蚀液中的抗蚀性,为高灵敏度红外探测器的制作奠定了工艺基础。
关键词
超薄硅膜
各向异性腐蚀
高灵敏度红外探测器
Keywords
Anisotropy
Etching
Infrared detectors
Membranes
Thin films
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
甚高灵敏度红外探测器读出电路研究进展
陈虓
李立华
梁艳
胡彦博
李敏
姚立斌
赵长明
赵鹏
李雯霞
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2020
8
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
用于高灵敏度红外探测器的超薄硅膜的研制
董典红
徐晨
邹德恕
李兰
杨道虹
张剑铭
阳启明
沈光地
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2005
1
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职称材料
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