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扫描电镜二次电子探测器闪烁体导电层厚度对成像的影响
1
作者
唐净
唐亮
+3 位作者
张宜旭
吕俊霞
张跃飞
张泽
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第6期683-690,共8页
扫描电镜原位高温成像技术是完成更高温度材料分析测试需求而发展的先进科学研究手段。为了进一步提高扫描电镜原位高温成像的图像质量,本文基于自主研发的扫描电子显微镜原位高温成像设备,研究了闪烁体前端导电层即铝膜的厚度对成像质...
扫描电镜原位高温成像技术是完成更高温度材料分析测试需求而发展的先进科学研究手段。为了进一步提高扫描电镜原位高温成像的图像质量,本文基于自主研发的扫描电子显微镜原位高温成像设备,研究了闪烁体前端导电层即铝膜的厚度对成像质量的影响。通过制备不同厚度的铝膜,以相同的放大倍率和工作距离在样品的同一区域实时观察闪烁体的铝膜对可见光的遮挡作用及成像效果。实验结果表明,镀有120 nm铝膜厚度的闪烁体更适用于高温成像。
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关键词
扫描电镜
高温原位成像
闪烁体
铝膜厚度
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职称材料
题名
扫描电镜二次电子探测器闪烁体导电层厚度对成像的影响
1
作者
唐净
唐亮
张宜旭
吕俊霞
张跃飞
张泽
机构
北京工业大学材料与制造学部
浙江大学材料科学与工程学院
桂林电子科技大学机电工程学院
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第6期683-690,共8页
基金
北京市教委科技计划重点项目(No.048000514122649)。
文摘
扫描电镜原位高温成像技术是完成更高温度材料分析测试需求而发展的先进科学研究手段。为了进一步提高扫描电镜原位高温成像的图像质量,本文基于自主研发的扫描电子显微镜原位高温成像设备,研究了闪烁体前端导电层即铝膜的厚度对成像质量的影响。通过制备不同厚度的铝膜,以相同的放大倍率和工作距离在样品的同一区域实时观察闪烁体的铝膜对可见光的遮挡作用及成像效果。实验结果表明,镀有120 nm铝膜厚度的闪烁体更适用于高温成像。
关键词
扫描电镜
高温原位成像
闪烁体
铝膜厚度
Keywords
SEM
high-temperature imaging
scintillator
coating thickness
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
TG115.215.3 [金属学及工艺—物理冶金]
TL812.1 [核科学技术—核技术及应用]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
扫描电镜二次电子探测器闪烁体导电层厚度对成像的影响
唐净
唐亮
张宜旭
吕俊霞
张跃飞
张泽
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024
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