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高次谐波声体波谐振器
1
作者
王宗富
刘岳穗
+2 位作者
周勇
陈运祥
汪渝
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1996年第4期217-223,共7页
简要介绍了高次谐波声体波谐振器的独特优越性和发展概况。用有关高次谐波声体波谐振器的设计理论进行了设计。报道了对高次谐波声体波谐振器的实验研究,给出了超高频和L波段高Q值高次谐波声体波谐振器的实验结果。
关键词
声
体波
高次
谐波
谐振器
薄膜换能器
Q值
微波
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职称材料
声学梳谱信号产生器件的探索
2
作者
朱昌安
周勇
+5 位作者
穆晓华
郑泽渔
徐阳
司美菊
田亚睿
李晖
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第6期999-1002,共4页
介绍了工作频率在约为10GHz的UHF频段,可产生梳谱信号的高次谐波声体波谐振器(HBAR)的原理、设计和制作工艺方法。设计了Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au双端结构的谐振器,试验样品在谐振频率2.240 137GHz的品质因数(Q)值达到23 00...
介绍了工作频率在约为10GHz的UHF频段,可产生梳谱信号的高次谐波声体波谐振器(HBAR)的原理、设计和制作工艺方法。设计了Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au双端结构的谐振器,试验样品在谐振频率2.240 137GHz的品质因数(Q)值达到23 000。进一步开展氧化锌成膜工艺技术的研究,实现对HBAR设计修正,提升器件的Q值。
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关键词
声
学
梳谱信号
高次谐波声体波谐振器
压电换能器
氧化锌薄膜
品质因数(Q)值
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职称材料
压电MEMS兰姆波器件技术的最新进展与展望
被引量:
5
3
作者
于晓权
何杰
马晋毅
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第2期223-229,233,共8页
兰姆波谐振器(LWR)作为一种新兴的压电微机电系统(MEMS)声学器件,同时具有高工作频率、高机电耦合系数、高品质因数值及低功耗等特点,其制造工艺与集成电路工艺兼容,可在单片晶圆上实现多频率器件。基于LWR的声学滤波器是实现高性能射...
兰姆波谐振器(LWR)作为一种新兴的压电微机电系统(MEMS)声学器件,同时具有高工作频率、高机电耦合系数、高品质因数值及低功耗等特点,其制造工艺与集成电路工艺兼容,可在单片晶圆上实现多频率器件。基于LWR的声学滤波器是实现高性能射频前端组件的有效解决方案之一,能够满足未来通信设备多频率及集成化的发展要求,其相关研究已成为微声器件领域的热点。该文简要介绍了兰姆波的基本原理,综述了近年来基于氮化铝(AlN)薄膜和铌酸锂薄膜(LNOI)的压电MEMS兰姆波器件研究取得的最新成果,并讨论了压电MEMS兰姆波器件的发展趋势。
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关键词
兰姆波
谐振器
(LWR)
压电微机电系统(MEMS)
横向激励
声
体波
谐振器
(XBAR)
高次
谐波
组合模式
谐振器
(CORs)
截面拉梅模式
谐振器
(CLMRs)
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职称材料
题名
高次谐波声体波谐振器
1
作者
王宗富
刘岳穗
周勇
陈运祥
汪渝
机构
四川压电与声光技术研究所
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1996年第4期217-223,共7页
基金
电子部预研项目
文摘
简要介绍了高次谐波声体波谐振器的独特优越性和发展概况。用有关高次谐波声体波谐振器的设计理论进行了设计。报道了对高次谐波声体波谐振器的实验研究,给出了超高频和L波段高Q值高次谐波声体波谐振器的实验结果。
关键词
声
体波
高次
谐波
谐振器
薄膜换能器
Q值
微波
Keywords
acoustic bulk wave
high overtone
resonator
thin film transducer
Q value
microwave
分类号
TN713 [电子电信—电路与系统]
TN65 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
声学梳谱信号产生器件的探索
2
作者
朱昌安
周勇
穆晓华
郑泽渔
徐阳
司美菊
田亚睿
李晖
机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第6期999-1002,共4页
文摘
介绍了工作频率在约为10GHz的UHF频段,可产生梳谱信号的高次谐波声体波谐振器(HBAR)的原理、设计和制作工艺方法。设计了Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au双端结构的谐振器,试验样品在谐振频率2.240 137GHz的品质因数(Q)值达到23 000。进一步开展氧化锌成膜工艺技术的研究,实现对HBAR设计修正,提升器件的Q值。
关键词
声
学
梳谱信号
高次谐波声体波谐振器
压电换能器
氧化锌薄膜
品质因数(Q)值
Keywords
acoustics
comb-spectrum
high overtone bulk acoustic resonator
piezoelectric transducer
ZnO thin film
Qvalue
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
压电MEMS兰姆波器件技术的最新进展与展望
被引量:
5
3
作者
于晓权
何杰
马晋毅
机构
中国电子科技集团公司第二十四研究所
中国电子科技集团公司第二十六研究所
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第2期223-229,233,共8页
文摘
兰姆波谐振器(LWR)作为一种新兴的压电微机电系统(MEMS)声学器件,同时具有高工作频率、高机电耦合系数、高品质因数值及低功耗等特点,其制造工艺与集成电路工艺兼容,可在单片晶圆上实现多频率器件。基于LWR的声学滤波器是实现高性能射频前端组件的有效解决方案之一,能够满足未来通信设备多频率及集成化的发展要求,其相关研究已成为微声器件领域的热点。该文简要介绍了兰姆波的基本原理,综述了近年来基于氮化铝(AlN)薄膜和铌酸锂薄膜(LNOI)的压电MEMS兰姆波器件研究取得的最新成果,并讨论了压电MEMS兰姆波器件的发展趋势。
关键词
兰姆波
谐振器
(LWR)
压电微机电系统(MEMS)
横向激励
声
体波
谐振器
(XBAR)
高次
谐波
组合模式
谐振器
(CORs)
截面拉梅模式
谐振器
(CLMRs)
Keywords
Lamb wave resonator
piezoelectric micro-electro-mechanical system(MEMS)
laterally-excited bulk-wave resonators(XBAR)
combined overtone resonators(CORs)
cross-sectional-Lamé-mode resonator(CLMRs)
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TN65 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高次谐波声体波谐振器
王宗富
刘岳穗
周勇
陈运祥
汪渝
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1996
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
声学梳谱信号产生器件的探索
朱昌安
周勇
穆晓华
郑泽渔
徐阳
司美菊
田亚睿
李晖
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
压电MEMS兰姆波器件技术的最新进展与展望
于晓权
何杰
马晋毅
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022
5
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