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题名三质量块MEMS三轴电容式加速度计的设计
被引量：12
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作者
李开富
蒋婷
郭小伟
李绍荣
章龙管
张兴
牟松
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机构
中铁工程服务有限公司
电子科技大学
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出处
《电子测量与仪器学报》
CSCD
北大核心
2021年第10期193-201,共9页
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文摘
为解决电容式加速度计灵敏度低,交叉灵敏度高等性能问题,设计了一种新的三质量块MEMS三轴电容式加速度计,该三质量块加速度计能够测量x、y、z三个正交轴的外加加速度,单独的横向(x、y轴)和垂直轴(z轴)加速度计集成在同一SOI晶片上,并键合在玻璃基板上,实现了低交叉灵敏度和高机械灵敏度。分析并建立加速度计结构的数学模型,并通过COMSOL仿真分析,优化获得了加速度计的结构和尺寸,设计出的该三质量块加速度计的垂直轴方向的位移灵敏度为1.53669μm/g,水平轴方向的位移灵敏度为6.78μm/g,交叉灵敏度均小于1%。
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关键词
三质量块
三轴电容式加速度计
高机械灵敏度
低交叉灵敏度
SOI
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Keywords
three mass block
triaxial capacitive accelerometer
high displacement sensitivity
low cross sensitivity
SOI
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分类号
TN03
[电子电信—物理电子学]
TH703
[机械工程—精密仪器及机械]
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