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半导体洁净室的空气净化技术综述
被引量：
6
1
作者
陈玲
《集成电路应用》
2022年第1期49-53,共5页
阐述ITRS和IRDS的要求,洁净室空气净化系统对粒子浓度、气态污染物的管控均有严格要求。洁净室的主流净化技术包括风机过滤单元、高效/超高效过滤器、化学过滤器。直流FFU因其节能特性成为主流产品,高效/超高效过滤器的材质由传统的超...
阐述ITRS和IRDS的要求,洁净室空气净化系统对粒子浓度、气态污染物的管控均有严格要求。洁净室的主流净化技术包括风机过滤单元、高效/超高效过滤器、化学过滤器。直流FFU因其节能特性成为主流产品,高效/超高效过滤器的材质由传统的超细玻璃纤维发展到PTFE、纳米纤维。化学过滤器因其所去除的气态污染物的多样化,材料也更为多元化,包括活性炭、离子交换树脂、离子交换纤维及其他多种材料。
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关键词
半导体洁净室
风机
过滤
单元
高效/超高效过滤器
化学
过滤器
滤料
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职称材料
题名
半导体洁净室的空气净化技术综述
被引量：
6
1
作者
陈玲
机构
美埃(中国)环境科技股份有限公司
出处
《集成电路应用》
2022年第1期49-53,共5页
文摘
阐述ITRS和IRDS的要求,洁净室空气净化系统对粒子浓度、气态污染物的管控均有严格要求。洁净室的主流净化技术包括风机过滤单元、高效/超高效过滤器、化学过滤器。直流FFU因其节能特性成为主流产品,高效/超高效过滤器的材质由传统的超细玻璃纤维发展到PTFE、纳米纤维。化学过滤器因其所去除的气态污染物的多样化,材料也更为多元化,包括活性炭、离子交换树脂、离子交换纤维及其他多种材料。
关键词
半导体洁净室
风机
过滤
单元
高效/超高效过滤器
化学
过滤器
滤料
Keywords
cleanroom
fan filter unit
HEPA/ULPA
chemical filter
filter media
分类号
TN30 [电子电信—物理电子学]
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
半导体洁净室的空气净化技术综述
陈玲
《集成电路应用》
2022
6
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