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一种高指向性MEMS声矢量传感器结构设计与分析
1
作者
刘振亚
苑伟政
+2 位作者
邓进军
任森
马骋宇
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2012年第6期890-893,共4页
设计了一种高指向性微机电系统(MEMS)声矢量传感器,结构采用了硅-玻璃(SOG)工艺,增大流体间隙,减小振动阻尼,并利用ANSYS软件分析了流体间隙对指向性的影响,以验证结构的高指向性。结果表明,在流体间隙从5μm增大到30μm时,振动振幅增...
设计了一种高指向性微机电系统(MEMS)声矢量传感器,结构采用了硅-玻璃(SOG)工艺,增大流体间隙,减小振动阻尼,并利用ANSYS软件分析了流体间隙对指向性的影响,以验证结构的高指向性。结果表明,在流体间隙从5μm增大到30μm时,振动振幅增大30倍,相位差最高增大126°,当入射角度变化量为80°时,相位差变化量增大了40°,传感器指向性得到了显著提高。此种设计有助于促进声矢量传感器的发展。
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关键词
高指向性
微机电系统
声矢量传感器
流体间隙
相位差
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职称材料
小抹香鲸回声定位信号高指向性发声机理
2
作者
徐诚湘
夏飞
+2 位作者
许延峰
胡青
桂端
《中山大学学报(自然科学版)(中英文)》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第3期162-170,共9页
齿鲸回声定位信号具有高频高指向性特性,使其能够精确感知水中目标,是现代声纳模仿的对象。本文通过分析小抹香鲸Kogia breviceps头部的几何结构与组织特性,采用双曲正割折射率材料模拟声速连续变化的额隆,并利用双曲正割折射率材料的...
齿鲸回声定位信号具有高频高指向性特性,使其能够精确感知水中目标,是现代声纳模仿的对象。本文通过分析小抹香鲸Kogia breviceps头部的几何结构与组织特性,采用双曲正割折射率材料模拟声速连续变化的额隆,并利用双曲正割折射率材料的最外侧声线轨迹对额隆的轮廓进行建模。在频域与时域两种模式下,应用有限元方法对仿真模型的远场指向性展开了分析,结果表明,点源经过具有双曲正割梯度折射率的额隆后在开口处形成了平面波,即额隆起到了准直的作用。通过对远场声压值分区域相关性分析表明,额隆的准直作用是形成较窄主瓣的主要原因,气囊和头骨则主要起到抑制旁瓣的作用。
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关键词
小抹香鲸Kogia
breviceps
高指向性
梯度折射率
准直作用
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职称材料
平面超薄准直器件的参数依赖性
被引量:
2
3
作者
胡洁
王昊泽
《应用声学》
CSCD
北大核心
2020年第6期799-803,共5页
该文设计了一具有高效强指向性的平面超薄人工结构,当平面声波垂直入射到该结构时,若中心狭缝处产生的Fabry-Perot(F-P)共振和两侧类亥姆霍兹凹槽的共振频率耦合时,会产生一具有高度指向性的准直声束。通过对结构两侧的凹槽阵列的作用...
该文设计了一具有高效强指向性的平面超薄人工结构,当平面声波垂直入射到该结构时,若中心狭缝处产生的Fabry-Perot(F-P)共振和两侧类亥姆霍兹凹槽的共振频率耦合时,会产生一具有高度指向性的准直声束。通过对结构两侧的凹槽阵列的作用、凹槽周期D和凹槽数量r的探讨,发现凹槽阵列可将散射声波转换成声表面波,大大提高了透射效率,同时结构的共振频率、声透射率和准直效果与D、r的变化关系不大,说明对该结构准直效应产生影响的是F-P共振频率和类亥姆霍兹共振器共振频率,与布拉格散射无关。这一发现有助于在降低结构尺寸的同时仍保持结构的有效性,为后续指向性器件的应用提供了理论依据。
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关键词
高指向性
人工结构
F-P共振
类亥姆霍兹共振器
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职称材料
基于电磁超声换能器的SH型焊缝导波激励方法
被引量:
2
4
作者
刘博涵
陈宗泽
+2 位作者
于建新
余旭东
邓明晰
《仪器仪表学报》
CSCD
北大核心
2024年第12期275-283,共9页
采用传统压电换能器在板类结构中激励SH型导波时常出现波束指向性不佳以及随同激励Lamb波侧向反射干扰,影响缺陷检测定位的效率和精度。本文通过基于洛伦兹力的电磁超声换能器(EMAT)的设计与激励研究,提出一种可在板类焊接接头特征结构...
采用传统压电换能器在板类结构中激励SH型导波时常出现波束指向性不佳以及随同激励Lamb波侧向反射干扰,影响缺陷检测定位的效率和精度。本文通过基于洛伦兹力的电磁超声换能器(EMAT)的设计与激励研究,提出一种可在板类焊接接头特征结构中产生高指向性超声特征导波(FGW)的激励方法。研究采用周期性永磁体及回折线圈制备电磁超声换能器,通过多物理场频域/时域有限元数值方法分析了板类水平剪切型导波的传播特性和远场波束指向性,并加以实验验证。结果表明所提出的激励方法能够在4 mm板厚铝制搅拌摩擦焊焊缝中有效激发出中心频率为440 kHz的水平剪切(SH)型特征导波,具有较高的导波模式纯度以及局域于焊缝传播的声能陷效应。相较于压电方式激励SH型焊缝导波,有效抑制了侧向Lamb波的产生,为焊缝特征导波的远距离传播及缺陷检测提供支撑。
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关键词
SH型导波
电磁超声换能器
洛伦兹力
高指向性
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职称材料
题名
一种高指向性MEMS声矢量传感器结构设计与分析
1
作者
刘振亚
苑伟政
邓进军
任森
马骋宇
机构
西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2012年第6期890-893,共4页
基金
国家自然基金资助项目(50775189)
文摘
设计了一种高指向性微机电系统(MEMS)声矢量传感器,结构采用了硅-玻璃(SOG)工艺,增大流体间隙,减小振动阻尼,并利用ANSYS软件分析了流体间隙对指向性的影响,以验证结构的高指向性。结果表明,在流体间隙从5μm增大到30μm时,振动振幅增大30倍,相位差最高增大126°,当入射角度变化量为80°时,相位差变化量增大了40°,传感器指向性得到了显著提高。此种设计有助于促进声矢量传感器的发展。
关键词
高指向性
微机电系统
声矢量传感器
流体间隙
相位差
Keywords
high directivity
MEMS
acoustic vector sensor
fluid gap
phase difference
分类号
TB525 [理学—声学]
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职称材料
题名
小抹香鲸回声定位信号高指向性发声机理
2
作者
徐诚湘
夏飞
许延峰
胡青
桂端
机构
中山大学海洋工程与技术学院
南方海洋科学与工程广东省实验室(珠海)
出处
《中山大学学报(自然科学版)(中英文)》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第3期162-170,共9页
基金
国家自然科学基金青年科学基金(31500433)
声纳技术国防科技重点实验室基金(6142109180101)。
文摘
齿鲸回声定位信号具有高频高指向性特性,使其能够精确感知水中目标,是现代声纳模仿的对象。本文通过分析小抹香鲸Kogia breviceps头部的几何结构与组织特性,采用双曲正割折射率材料模拟声速连续变化的额隆,并利用双曲正割折射率材料的最外侧声线轨迹对额隆的轮廓进行建模。在频域与时域两种模式下,应用有限元方法对仿真模型的远场指向性展开了分析,结果表明,点源经过具有双曲正割梯度折射率的额隆后在开口处形成了平面波,即额隆起到了准直的作用。通过对远场声压值分区域相关性分析表明,额隆的准直作用是形成较窄主瓣的主要原因,气囊和头骨则主要起到抑制旁瓣的作用。
关键词
小抹香鲸Kogia
breviceps
高指向性
梯度折射率
准直作用
Keywords
pygmy sperm whale(Kogia breviceps)
high-directivity
gradient index
collimation
分类号
P733.2 [天文地球—物理海洋学]
Q62 [生物学—生物物理学]
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职称材料
题名
平面超薄准直器件的参数依赖性
被引量:
2
3
作者
胡洁
王昊泽
机构
南京林业大学信息科学技术学院
出处
《应用声学》
CSCD
北大核心
2020年第6期799-803,共5页
基金
国家自然科学基金项目(11804162)。
文摘
该文设计了一具有高效强指向性的平面超薄人工结构,当平面声波垂直入射到该结构时,若中心狭缝处产生的Fabry-Perot(F-P)共振和两侧类亥姆霍兹凹槽的共振频率耦合时,会产生一具有高度指向性的准直声束。通过对结构两侧的凹槽阵列的作用、凹槽周期D和凹槽数量r的探讨,发现凹槽阵列可将散射声波转换成声表面波,大大提高了透射效率,同时结构的共振频率、声透射率和准直效果与D、r的变化关系不大,说明对该结构准直效应产生影响的是F-P共振频率和类亥姆霍兹共振器共振频率,与布拉格散射无关。这一发现有助于在降低结构尺寸的同时仍保持结构的有效性,为后续指向性器件的应用提供了理论依据。
关键词
高指向性
人工结构
F-P共振
类亥姆霍兹共振器
Keywords
High collimation
Artificial structure
F-P resonance
Helmoholtz-like resonator
分类号
O424 [理学—声学]
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职称材料
题名
基于电磁超声换能器的SH型焊缝导波激励方法
被引量:
2
4
作者
刘博涵
陈宗泽
于建新
余旭东
邓明晰
机构
北京航空航天大学宇航学院
中国航天科技集团运载火箭技术研究院
重庆大学航空航天学院
北京航空航天大学沈元学院
出处
《仪器仪表学报》
CSCD
北大核心
2024年第12期275-283,共9页
基金
国家自然科学基金项目(12134002,12374429,12004026)
中国科协青年人才托举工程项目(2020QNRC002)
北航沈元学院卓越研究基金项目(230123205)资助。
文摘
采用传统压电换能器在板类结构中激励SH型导波时常出现波束指向性不佳以及随同激励Lamb波侧向反射干扰,影响缺陷检测定位的效率和精度。本文通过基于洛伦兹力的电磁超声换能器(EMAT)的设计与激励研究,提出一种可在板类焊接接头特征结构中产生高指向性超声特征导波(FGW)的激励方法。研究采用周期性永磁体及回折线圈制备电磁超声换能器,通过多物理场频域/时域有限元数值方法分析了板类水平剪切型导波的传播特性和远场波束指向性,并加以实验验证。结果表明所提出的激励方法能够在4 mm板厚铝制搅拌摩擦焊焊缝中有效激发出中心频率为440 kHz的水平剪切(SH)型特征导波,具有较高的导波模式纯度以及局域于焊缝传播的声能陷效应。相较于压电方式激励SH型焊缝导波,有效抑制了侧向Lamb波的产生,为焊缝特征导波的远距离传播及缺陷检测提供支撑。
关键词
SH型导波
电磁超声换能器
洛伦兹力
高指向性
Keywords
SH-type guided waves
electromagnetic acoustic transducer
Lorentz force
high directivity
分类号
TH878 [机械工程—精密仪器及机械]
TN912 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种高指向性MEMS声矢量传感器结构设计与分析
刘振亚
苑伟政
邓进军
任森
马骋宇
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2012
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
小抹香鲸回声定位信号高指向性发声机理
徐诚湘
夏飞
许延峰
胡青
桂端
《中山大学学报(自然科学版)(中英文)》
CAS
CSCD
北大核心
2022
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
平面超薄准直器件的参数依赖性
胡洁
王昊泽
《应用声学》
CSCD
北大核心
2020
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
基于电磁超声换能器的SH型焊缝导波激励方法
刘博涵
陈宗泽
于建新
余旭东
邓明晰
《仪器仪表学报》
CSCD
北大核心
2024
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
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