期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
应用于超大规模集成电路工艺的高密度等离子体源研究进展
被引量：
3
1
作者
王平
杨银堂
+1 位作者
徐新艳
杨桂杰
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2002年第4期274-281,共8页
本文简要地介绍了等离子体的产生方式以及传统的射频电容耦合等离子体源。对电子回旋共振等离子体(ECR) ,感应耦合等离子体 (ICP) ,螺旋波等离子体 (HWP)等几种新型的高密度等离子体源[1] 的工作原理及结构重点作了分析讨论 ,并从运行...
本文简要地介绍了等离子体的产生方式以及传统的射频电容耦合等离子体源。对电子回旋共振等离子体(ECR) ,感应耦合等离子体 (ICP) ,螺旋波等离子体 (HWP)等几种新型的高密度等离子体源[1] 的工作原理及结构重点作了分析讨论 ,并从运行参数上对其进行了比较。
展开更多
关键词
超大规模集成电路
研究进展
高密度等离子体源
电子回旋共振
感应耦合
等离子体
螺旋波
等离子体
生产工艺
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
应用于超大规模集成电路工艺的高密度等离子体源研究进展
被引量：
3
1
作者
王平
杨银堂
徐新艳
杨桂杰
机构
西安电子科技大学微电子所
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2002年第4期274-281,共8页
基金
国防科技预研基金资助项目 (No .99J8.3 .2 .DZ0 13 7)
教育部"跨世纪优秀人才培养基金"资助项目
文摘
本文简要地介绍了等离子体的产生方式以及传统的射频电容耦合等离子体源。对电子回旋共振等离子体(ECR) ,感应耦合等离子体 (ICP) ,螺旋波等离子体 (HWP)等几种新型的高密度等离子体源[1] 的工作原理及结构重点作了分析讨论 ,并从运行参数上对其进行了比较。
关键词
超大规模集成电路
研究进展
高密度等离子体源
电子回旋共振
感应耦合
等离子体
螺旋波
等离子体
生产工艺
Keywords
High density plasma sources,Electron cyclotron resonance,Inductively coupled plasma,Helicon wave plasma,Plasma induced damages
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
O53 [理学—等离子体物理]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
应用于超大规模集成电路工艺的高密度等离子体源研究进展
王平
杨银堂
徐新艳
杨桂杰
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2002
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
