等离子体处理高密度聚乙烯表面形态的研究 被引量：5

1

作者 刘倩 张光华 +1 位作者 姚耀广 刘学恕 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第1期113-116,共4页

应用扫描电镜研究了经不同等离子体条件处理的高密度聚乙烯表面形态的变化。结果表明随处理功率增大、处理时间增长和处理压力增高,表面刻蚀随之加深,刻蚀由非晶区向晶区发展,刻蚀条纹渐趋明显,表面粗糙度增加。不同处理气体的作用顺序... 应用扫描电镜研究了经不同等离子体条件处理的高密度聚乙烯表面形态的变化。结果表明随处理功率增大、处理时间增长和处理压力增高,表面刻蚀随之加深,刻蚀由非晶区向晶区发展,刻蚀条纹渐趋明显,表面粗糙度增加。不同处理气体的作用顺序是氧气>空气≈氩气>氮气。 展开更多

关键词 高密度聚乙烯 表面处理 等离子体

在线阅读 下载PDF 职称材料

激光产生的高温高密度等离子体诊断技术——我院在这一领域工作的进展 被引量：8

2

作者 胡仁宇 郑志坚 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1990年第1期1-15,共15页

本文强调了诊断技术在激光产生的高温高密度等离子体物理研究中的作用,简介了我院在该领域中诊断技术方面做过的工作和今后的设想。

关键词 等离子体诊断 激光 高温高密度等离子体 X光转换效率 时空特性 诊断系统 诊断技术

在线阅读 下载PDF 职称材料

电磁内爆产生高温高密度等离子体的雪铲模型 被引量：2

3

作者 杨震华 武玉璞 董志伟 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 1998年第1期7-10,34,共5页

本文对喷气负载电磁内爆产生高温高密度等离子体的内爆压缩过程的雪铲模型进行了改进，同时建立了相应的数学方程组并进行了数值计算，又将计算结果和实验结果进行了比较。结果表明，本文提出的模型可以为喷气负载电磁内爆实验方案的设... 本文对喷气负载电磁内爆产生高温高密度等离子体的内爆压缩过程的雪铲模型进行了改进，同时建立了相应的数学方程组并进行了数值计算，又将计算结果和实验结果进行了比较。结果表明，本文提出的模型可以为喷气负载电磁内爆实验方案的设计提供依据。 展开更多

关键词 电磁内爆 等离子体 雪铲模型 高温 高密度

在线阅读 下载PDF 职称材料

Ar/O_2低温等离子体处理对高密度聚乙烯-玻璃粘接性能的影响 被引量：4

4

作者 张丽惠 陈亚芍 刘鹏 《化学研究与应用》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期789-792,共4页

Ar/O2低温等离子体处理的高密度聚乙烯(HDPE)膜,和硅烷化玻璃进行粘接。借助X光电子能谱仪(XPS)和衰减全反射红外光谱(ATP FTIR)对Ar/O2等离子体处理的HDPE膜和硅烷化玻璃进行表面结构分析。研究不同等离子体处理时间、成层温度和成层... Ar/O2低温等离子体处理的高密度聚乙烯(HDPE)膜,和硅烷化玻璃进行粘接。借助X光电子能谱仪(XPS)和衰减全反射红外光谱(ATP FTIR)对Ar/O2等离子体处理的HDPE膜和硅烷化玻璃进行表面结构分析。研究不同等离子体处理时间、成层温度和成层时间对HDPE/APS 玻璃粘接效果的影响,考察HDPE膜的亲水性与其粘接性之间的关系,寻找HDPE/APS 玻璃最佳粘接条件。结果表明,在本实验条件下,实现了HDPE膜与玻璃之间的粘接,HDPE/APS 玻璃剥离粘接强度高达51 2N/cm。 展开更多

关键词 Ar/O2 低温等离子体 高密度聚乙烯 玻璃 粘接性能 硅烷化 氩 氧

在线阅读 下载PDF 职称材料

应用于超大规模集成电路工艺的高密度等离子体源研究进展 被引量：3

5

作者 王平 杨银堂 +1 位作者 徐新艳 杨桂杰 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第4期274-281,共8页

本文简要地介绍了等离子体的产生方式以及传统的射频电容耦合等离子体源。对电子回旋共振等离子体(ECR) ,感应耦合等离子体 (ICP) ,螺旋波等离子体 (HWP)等几种新型的高密度等离子体源[1] 的工作原理及结构重点作了分析讨论 ,并从运行... 本文简要地介绍了等离子体的产生方式以及传统的射频电容耦合等离子体源。对电子回旋共振等离子体(ECR) ,感应耦合等离子体 (ICP) ,螺旋波等离子体 (HWP)等几种新型的高密度等离子体源[1] 的工作原理及结构重点作了分析讨论 ,并从运行参数上对其进行了比较。 展开更多

关键词 超大规模集成电路 研究进展 高密度等离子体源 电子回旋共振 感应耦合等离子体 螺旋波等离子体 生产工艺

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于IEP的高密度等离子体刻蚀过程终点检测技术 被引量：1

6

作者 王巍 兰中文 +1 位作者 吴志刚 姬洪 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第z2期105-108,共4页

高密度等离子体刻蚀是当今超大规模集成电路制造过程中的关键步骤。随着集成电路中器件尺寸的缩小及器件集成密度的提高,对刻蚀过程终点的准确判断是目前所面临的一个严峻考验,传统的 OES 终点检测技术已经远远不能满足深亚微米刻蚀工... 高密度等离子体刻蚀是当今超大规模集成电路制造过程中的关键步骤。随着集成电路中器件尺寸的缩小及器件集成密度的提高,对刻蚀过程终点的准确判断是目前所面临的一个严峻考验,传统的 OES 终点检测技术已经远远不能满足深亚微米刻蚀工艺需求.讨论 IEP 终点检测技术的原理,针对多晶硅栅的等离子体刻蚀工艺,讨论了 IEP 终点检测技术在深亚微米刻蚀工艺中的应用,IEP 预报式终点检测技术已经运用在新近研发的 HDP 刻蚀机的试验工艺上,最后对 IEP 终点检测技术未来的发展趋势进行了展望. 展开更多

关键词 IEP 高密度等离子体 刻蚀工艺 终点检测

在线阅读 下载PDF 职称材料

电感耦合等离子体对HDPE粉体的表面处理 被引量：2

7

作者 方世东 姚日生 +3 位作者 孟月东 何红波 张呈旭 胡觉 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期36-39,共4页

用搅拌式电感耦合等离子体反应器对高密度聚乙烯(HDPE)粉体进行表面处理,采用水接触角、红外光谱(FT-IR)和X射线光电子能谱(XPS)对等离子体处理前后HDPE粉体的水接触角、表面成分的变化进行分析。实验结果表明,随着等离子体处理时间延... 用搅拌式电感耦合等离子体反应器对高密度聚乙烯(HDPE)粉体进行表面处理,采用水接触角、红外光谱(FT-IR)和X射线光电子能谱(XPS)对等离子体处理前后HDPE粉体的水接触角、表面成分的变化进行分析。实验结果表明,随着等离子体处理时间延长和放电功率增加,水接触角减小。在功率100W处理30min后,水接触角从处理前的134°降到50.9°。FT-IR和XPS分析表明,在等离子体处理过程中,由于氧化作用,HDPE粉体表面有C-O、C=O和O-C=O含氧极性官能团生成,含氧极性官能团的增加导致粉体表面水接触角减小。 展开更多

关键词 等离子体 高密度聚乙烯粉体 表面处理

在线阅读 下载PDF 职称材料

低温O_2等离子体对HDPE薄膜的表面改性 被引量：4

8

作者 解林坤 李树材 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期116-119,共4页

利用氧气低温等离子体,在工作压力为20Pa、功率为30W的条件下对HDPE薄膜进行表面改性。采用接触角、FT-IR-ATR、AFM、DSC等现代分析手段对改性结果进行了分析和表征。结果表明,单位面积的失重率随处理时间的延长逐渐增大;接触角随处理... 利用氧气低温等离子体,在工作压力为20Pa、功率为30W的条件下对HDPE薄膜进行表面改性。采用接触角、FT-IR-ATR、AFM、DSC等现代分析手段对改性结果进行了分析和表征。结果表明,单位面积的失重率随处理时间的延长逐渐增大;接触角随处理时间的延长呈逐渐减小的趋势;处理HDPE薄膜能在其表面形成各种极性基团,主要是羰基和羧基;处理后薄膜的热性能(熔点和结晶度)发生一定改变。 展开更多

关键词 低温等离子体 高密度聚乙烯 表面改性 接触角

在线阅读 下载PDF 职称材料

乙炔等离子体聚合及对HDPE表面极性的改进 被引量：2

9

作者 益小苏 邹湘坪 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第5期37-41,共5页

为提高非极性的聚乙烯材料表面性能，研究了乙炔在等离子体条件下在聚乙烯表面的聚合反应及其工艺影响规律，发现等离子体乙炔聚合物存在两种形态；薄膜和粉状物质，而且敏感地与工艺条件相关；沉积的乙炔薄膜可以大大地提高高密度聚乙... 为提高非极性的聚乙烯材料表面性能，研究了乙炔在等离子体条件下在聚乙烯表面的聚合反应及其工艺影响规律，发现等离子体乙炔聚合物存在两种形态；薄膜和粉状物质，而且敏感地与工艺条件相关；沉积的乙炔薄膜可以大大地提高高密度聚乙烯（ＨＤＰＥ）表面极性，氢气的加入有利于聚合沉积膜与ＨＤＰＥ的粘附，红外光谱表明，沉积在ＨＤＰＥ表面的乙炔膜中含有大量的羟基和羰基。 展开更多

关键词 乙炔 等离子体 高密度聚乙烯 表面极性 聚合

在线阅读 下载PDF 职称材料

高密高温等离子体中类氢炭静电屏蔽势的求解

10

作者 李向东 徐至展 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第B04期254-256,共3页

在离子球模型下 ,本文通过对Poisson方程和Dirac Fock方程的自恰求解 ,计算得到了不同电子密度下类氢炭周围的Coulomb静电屏蔽势。该静电屏蔽是对于理解高密度等离子体中的原子结构。

关键词 高温 高密度等离子体 类氢炭

在线阅读 下载PDF 职称材料

HDPE薄膜低温等离子体改性与粘接性能研究

11

作者 解林坤 李树材 《包装工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第11期6-9,共4页

利用氧气低温等离子体,在真空度为20 Pa,处理功率为30 W的条件下,对高密度聚乙烯（HDPE）薄膜进行了表面改性。研究结果表明：在20~200 s的处理时间内,单位面积的失重率随处理时间的增加线性增大,表面粗糙度也随着增加;处理后薄膜表面... 利用氧气低温等离子体,在真空度为20 Pa,处理功率为30 W的条件下,对高密度聚乙烯（HDPE）薄膜进行了表面改性。研究结果表明：在20~200 s的处理时间内,单位面积的失重率随处理时间的增加线性增大,表面粗糙度也随着增加;处理后薄膜表面的接触角显著减小;接触角越小,剥离强度就越大;处理后能在薄膜表面形成羟基、羰基和羧基等各种极性基团。 展开更多

关键词 低温等离子体 高密度聚乙烯 接触角 剥离强度

在线阅读 下载PDF 职称材料

磁场与密度对等离子体柱中螺旋波及能量沉积影响的数值研究

12

作者 李文秋 王刚 +1 位作者 相东 苏小保 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期1286-1294,共9页

考察在高密度、强磁化径向非均匀等离子体柱中,在径向等离子体密度分布呈不同抛物线型轮廓及轴向静磁场不断增大的情况下,等离子体柱内右旋螺旋波与左旋螺旋波的传播性质及其径向、轴向能量沉积特性。采用数值方法求解基于Maxwell方程... 考察在高密度、强磁化径向非均匀等离子体柱中,在径向等离子体密度分布呈不同抛物线型轮廓及轴向静磁场不断增大的情况下,等离子体柱内右旋螺旋波与左旋螺旋波的传播性质及其径向、轴向能量沉积特性。采用数值方法求解基于Maxwell方程组的耦合波方程组,得到0.02-0.1 T磁场变化区间与n0=1.2×1013cm-3、α∈（0.36,0.83）径向等离子体密度分布条件下等离子体柱内m=±1角向模螺旋波场幅值及其径向、轴向能量分布情形.计算结果表明,α减小（0.83→0.36）、B0增大（0.02→0.1 T）时,m=＋1模趋于r=0处附近传播,径向能量沉积变化极小,轴向能量沉积逐渐增强;m=-1模在一定B0范围内、α≈0.66时最大幅值传播,径向能量沉积趋向于等离子体柱表面附近,轴向能量沉积逐渐增强.其次,m=＋1模较m=-1模场幅值与能量沉积均占主导地位;m=-1模能量沉积集中于天线电离区,m=＋1模能量沉积远超于天线电离区。 展开更多

关键词 螺旋波 磁化等离子体 能量沉积 高密度等离子体

在线阅读 下载PDF 职称材料

永磁电子回旋共振等离子体化学气相沉积系统 被引量：5

13

作者 吴振宇 刘毅 +1 位作者 汪家友 杨银堂 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期317-320,共4页

研制了一台永磁ECR等离子体化学气相沉积系统。通过同轴开口电介质空腔产生表面波 ,利用高磁能积Nd Fe B磁钢块的合理分布形成高强磁场 ,通过共振磁场区域内的电子回旋共振效应产生大面积均匀的高密度等离子体。进行了ECR等离子体化学... 研制了一台永磁ECR等离子体化学气相沉积系统。通过同轴开口电介质空腔产生表面波 ,利用高磁能积Nd Fe B磁钢块的合理分布形成高强磁场 ,通过共振磁场区域内的电子回旋共振效应产生大面积均匀的高密度等离子体。进行了ECR等离子体化学气相沉积氧化硅和氮化硅薄膜工艺的研究。6英寸片内膜厚均匀性优于 95 % ,沉积速率高于 10 0nm/min ,FTIR光谱分析表明薄膜中H含量很低。 展开更多

关键词 电子回旋共振 等离子体化学气相沉积 膜厚均匀性 同轴 表面波 ECR 氮化硅薄膜 高密度等离子体 FTIR光谱 强磁场

在线阅读 下载PDF 职称材料

等离子体干扰低轨道侦察卫星的计算分析 被引量：3

14

作者 杨涓 苏维仪 +1 位作者 毛根旺 何洪庆 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期93-97,共5页

研究等离子体干扰破坏低轨道侦察卫星功能的效应 ,提出了用等离子体反卫星的概念。对等离子体环境中卫星充放电机理及效应进行了分析 ,给出其干扰破坏低轨道卫星的途径为 :等离子体使卫星表面形成电弧放电电位差 ,并产生强烈的电弧电流... 研究等离子体干扰破坏低轨道侦察卫星功能的效应 ,提出了用等离子体反卫星的概念。对等离子体环境中卫星充放电机理及效应进行了分析 ,给出其干扰破坏低轨道卫星的途径为 :等离子体使卫星表面形成电弧放电电位差 ,并产生强烈的电弧电流和电磁脉冲 ,从而破坏太阳能电池阵、表面温控材料、星上微波电子仪器 ,并影响天线正常工作。把卫星表面分成 1 4个不同的等效单元 ,利用等效充电模式 ,计算了高密度低能和中等能量等离子体对某卫星表面的充电过程 ,分析电子温度和数密度、卫星表面初电位、太阳能电池阵电位对卫星表面最后达到平衡电位的影响。获得的结论是 :30 0 e 展开更多

关键词 低轨道 干扰 侦察卫星 等离子体 天线 高密度 功能 太阳能电池阵 表面 计算分析

在线阅读 下载PDF 职称材料

螺旋波等离子体的实验研究 被引量：10

15

作者 江南 王珏 凌一鸣 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第3期207-209,共3页

螺旋波等离子体是一种高密度的低温低气压等离子体。利用一种环绕于玻璃管或石英管外壁的射频天线与磁化等离子体中的右旋极化波的共振 ,可以非常有效地通过朗道吸收加热电子 ,产生高密度等离子体。本文介绍了一种玻璃系统的螺旋波等离... 螺旋波等离子体是一种高密度的低温低气压等离子体。利用一种环绕于玻璃管或石英管外壁的射频天线与磁化等离子体中的右旋极化波的共振 ,可以非常有效地通过朗道吸收加热电子 ,产生高密度等离子体。本文介绍了一种玻璃系统的螺旋波等离子体的发生装置 ,这在国内尚属首次。利用朗廖尔双探针法初步研究了该螺旋波等离子体的特性。估计该等离子体中心区等离子体密度可超过 1× 1 0 12 cm-3 。 展开更多

关键词 螺旋波等离子体 高密度等离子体 朗廖尔双探针

在线阅读 下载PDF 职称材料

电容耦合分区放电等离子体的研究

16

作者 马腾才 张禹涛 +3 位作者 任春生 齐冰 王达望 王坤 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期129-132,共4页

介绍了一种新的大气压下空气中等离子体产生方法———电容耦合分区放电。该方法综合了电晕放电和介质阻挡放电的优点,在大气压下可以生成大规模、高密度、均匀稳定的非平衡等离子体。其放电功率可达常规介质阻挡放电100倍以上,且可根... 介绍了一种新的大气压下空气中等离子体产生方法———电容耦合分区放电。该方法综合了电晕放电和介质阻挡放电的优点,在大气压下可以生成大规模、高密度、均匀稳定的非平衡等离子体。其放电功率可达常规介质阻挡放电100倍以上,且可根据需要灵活调整。 展开更多

关键词 电容耦合 放电等离子体 分区 介质阻挡放电 非平衡等离子体 产生方法 电晕放电 放电功率 高密度 压下 大气

在线阅读 下载PDF 职称材料

短脉冲激光等离子体相互作用的离子发射谱研究

17

作者 孙岚 徐至展 张燕珍 《量子电子学报》 CAS CSCD 1992年第1期3-4,共2页

短脉冲强激光系统的建立,为激光与等离子体相互作用的研究提供了非常新颖和有利的实验条件。短脉冲强激光辐照固体靶,能瞬间在固体表面形成非常薄(小尺度)的高密度等离子体。由于短脉冲激光上升沿较陡,所产生的激光等离子体便具有一些... 短脉冲强激光系统的建立,为激光与等离子体相互作用的研究提供了非常新颖和有利的实验条件。短脉冲强激光辐照固体靶,能瞬间在固体表面形成非常薄(小尺度)的高密度等离子体。由于短脉冲激光上升沿较陡,所产生的激光等离子体便具有一些新的特征,其产生机理,二次谐波发射,X射线发射,以及离子发射都与长脉冲激光等离子体有所差别。 展开更多

关键词 激光等离子体 离子发射 短脉冲激光 激光与等离子体相互作用 二次谐波发射 高密度等离子体 长脉冲 强激光系统 中国科学院 激光辐照

在线阅读 下载PDF 职称材料

采用磁桶和同心等离子体源及材料源的等离子体淀积方法及设备

18

《表面技术》 EI CAS CSCD 2006年第6期50-50,共1页

将导电金属涂敷材料从磁控溅射靶上溅射出来，利用带有射频能量的高密度等离子体使溅射出的导电金属涂敷材料在真空处理空间内离子化，射频耦合能量来自线圈，线圈位于真空室外面、绝缘窗后面，真空室壁面上的绝缘窗位于溅射靶的开口的... 将导电金属涂敷材料从磁控溅射靶上溅射出来，利用带有射频能量的高密度等离子体使溅射出的导电金属涂敷材料在真空处理空间内离子化，射频耦合能量来自线圈，线圈位于真空室外面、绝缘窗后面，真空室壁面上的绝缘窗位于溅射靶的开口的中央位置。真空室的压强为10—100毫乇。磁桶由永磁铁所组成的磁铁阵列形成，在真空室壁面后面，产生一个多磁力线交点的磁场，推斥来自等离子体、朝着真空室壁面方向运动的带电粒子，从而，增强了对等离子体的约束，提高了等离子体密度、等离子体的均匀性及涂敷材料的离子化比例。 展开更多

关键词 等离子体淀积 等离子体源 磁控溅射靶 高密度等离子体 设备 料源 涂敷材料 等离子体密度

在线阅读 下载PDF 职称材料

高密度氢的从头计算分子动力学模拟

19

作者 李延龄 陈凌孚 《南京师大学报（自然科学版）》 CAS CSCD 2001年第1期47-50,共4页

运用从头计算分子动力学方法模拟研究了两种密度 (rs=0 .6 2、1.2 4)下的高密度氢 ,确定了切断能与总能量的关系 ,并给出了离子和电子的互作用随距离的变化关系 ,最后得出当rs 不大于 0 .6 2时高密度氢表现为等离子体相 .

关键词 高密度氢 从头计算 分子动力学 模拟 切断能 等离子体相 离子-电子互相作用

在线阅读 下载PDF 职称材料

耐酸性布拉氏酵母的筛选及高密度培养条件优化 被引量：2

20

作者 李飞龙 陈晓华 +3 位作者 郑鑫 谢永振 谭之磊 贾士儒 《中国酿造》 CAS 北大核心 2016年第7期15-19,共5页

布拉氏酵母菌(Saccharomyces boulardii)是临床上作为益生菌药物治疗肠道疾病使用的唯一一株酵母菌,作为微生态制剂,要保证其生物效果,必须能够在胃肠道中保持一定的活菌数,研究发现影响布拉氏酵母菌在胃肠道中存活的最主要因素是低p H... 布拉氏酵母菌(Saccharomyces boulardii)是临床上作为益生菌药物治疗肠道疾病使用的唯一一株酵母菌,作为微生态制剂,要保证其生物效果,必须能够在胃肠道中保持一定的活菌数,研究发现影响布拉氏酵母菌在胃肠道中存活的最主要因素是低p H,为提高布拉氏酵母菌在低p H条件下的存活率,该研究采用常压室温等离子体(ARTP)诱变技术对S.boulardii进行诱变,最终筛选出3株对低p H值耐受性较好的突变株。对突变株耐低p H稳定性的研究结果表明,在传代20次后,突变株YB-3具有较好的遗传稳定性,其存活率为51.79%。在5 L发酵罐中,对突变株YB-3高密度培养条件进行优化,最终所得布拉氏酵母菌体干质量为58.79 g/L,比原始菌株提高了55.52%。 展开更多

关键词 布拉氏酵母菌 室温常压等离子体诱变:高密度培养 耐酸性

在线阅读 下载PDF 职称材料