高功率准分子激光沉积类金刚石膜的热稳定性 被引量：1

1

作者 金哲 李俊杰 +5 位作者 盖同祥 林景波 李哲奎 张寿 彭鸿雁 金曾孙 《吉林大学学报（理学版）》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期497-500,共4页

在不同温度下 ( 2 0 0～ 80 0℃ )将高功率准分子激光溅射方法沉积的类金刚石膜进行退火实验 .利用 Raman和 XPS光谱分析类金刚石膜在退火过程中的化学键合结构变化 .结果表明 ,类金刚石膜是由少量的 sp2 C键和大量的 sp3C键组成的非晶... 在不同温度下 ( 2 0 0～ 80 0℃ )将高功率准分子激光溅射方法沉积的类金刚石膜进行退火实验 .利用 Raman和 XPS光谱分析类金刚石膜在退火过程中的化学键合结构变化 .结果表明 ,类金刚石膜是由少量的 sp2 C键和大量的 sp3C键组成的非晶态碳膜 .在退火温度小于60 0℃范围内 ,类金刚石膜的热稳定性较好 ;退火温度高于 60 0℃时 ,类金刚石膜中的 sp3C键逐渐向 sp2 C键转变 ,当退火温度升到 80 0℃时 ,类金刚石膜中 sp3C键含量由退火前的大约 70 %下降到 40 % .可见 ,高温退火能导致类金刚石膜的石墨化趋势 . 展开更多

关键词 类金刚石膜 热稳定性 高功率准分子激光沉积法 退火温度 sp^2C键 sp^3C键 石墨化

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平滑化窄脉冲高功率准分子激光放大技术 被引量：11

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作者 赵学庆 刘晶儒 +9 位作者 易爱平 薛全喜 华恒祺 钱航 郑国鑫 胡云 张永生 黄珂 黄超 于力 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期397-406,共10页

对于高功率准分子激光,光学角多路和诱导空间非相干（EFISI）光束平滑是高功率准分子激光压缩脉宽、提高功率密度和实现靶面均匀辐照的有效途径,其应用涉及前端至靶前的各个环节,主要体现为平滑化窄脉冲激光的传输放大问题。首先介绍了... 对于高功率准分子激光,光学角多路和诱导空间非相干（EFISI）光束平滑是高功率准分子激光压缩脉宽、提高功率密度和实现靶面均匀辐照的有效途径,其应用涉及前端至靶前的各个环节,主要体现为平滑化窄脉冲激光的传输放大问题。首先介绍了基于散射法开展的部分相干源前端技术及脉冲整形的初步研究结果,利用直接法和反射率耦合方法,研究了5台激光放大器增益特性。然后,讨论了窄脉宽激光放大时的自发辐射放大（ASE）控制技术,最后,介绍了窄脉冲激光放大实验系统。实验获得了预期的实验结果,输出能量为56 J,激光脉宽约10 ns,聚焦光斑约Φ300μm。单路系统实验结果表明,系统放大链和光学设计合理,基本满足角多路MOPA系统的技术验证要求,为系统工程设计奠定基础。 展开更多

关键词 准分子激光 高功率激光 激光放大 光束平滑

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大能量高功率准分子激光的应用及关键技术 被引量：5

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作者 赵家敏 游利兵 +1 位作者 余吟山 方晓东 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期696-702,共7页

实用型大能量高功率准分子激光器广泛地应用于材料的加工及表面处理,介绍了其在液晶平板显示行业、太阳能光伏行业、半导体行业及汽车制造业的应用。分析了大能量高功率准分子激光器的关键技术,如大面积均匀放电技术,预电离技术,高压快... 实用型大能量高功率准分子激光器广泛地应用于材料的加工及表面处理,介绍了其在液晶平板显示行业、太阳能光伏行业、半导体行业及汽车制造业的应用。分析了大能量高功率准分子激光器的关键技术,如大面积均匀放电技术,预电离技术,高压快脉冲激励技术以及为了得到更大的脉冲能量及功率输出而采用的双腔同步技术。 展开更多

关键词 激光技术 准分子激光 大能量 高功率 磁脉冲压缩 激光退火

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由级联紫外电光开关控制准分子激光的自发辐射放大 被引量：5

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作者 胡云 赵学庆 +2 位作者 薛全喜 王大辉 郑国鑫 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期13-19,共7页

考虑高功率准分子激光系统的自发辐射放大(ASE)会导致主脉冲信号对比度下降,引起波形展宽和畸变,本文开展了级联双电光开关的研究来抑制ASE的产生并提高激光脉冲信号的信号对比度。探讨了电光开关的级联工作模式,分析了影响电光开关削... 考虑高功率准分子激光系统的自发辐射放大(ASE)会导致主脉冲信号对比度下降,引起波形展宽和畸变,本文开展了级联双电光开关的研究来抑制ASE的产生并提高激光脉冲信号的信号对比度。探讨了电光开关的级联工作模式,分析了影响电光开关削波对比度的因素,进而提出采用级联工作方式来大幅度地提高削波对比度。在单电光开关的基础上,设计了级联电光削波的光路布局。其中,前一级电光开关的检偏器作为后一级的起偏器,电路则采用分立式以避免相互之间的串扰。采用级联双电光开关对低占空比预放大器进行了ASE控制实验。实验结果显示,级联双电光开关的削波对比度达到了104量级,而预放大器的放大输出信号对比度提高到106量级,此结果有利于激光脉冲信号在系统中后续放大级的进一步放大。 展开更多

关键词 高功率激光器 准分子激光器 级联电光开关 自发辐射 对比度

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准分子激光前端光束形态控制技术研究 被引量：4

5

作者 赵学庆 薛全喜 +4 位作者 郑国鑫 黄珂 肖伟伟 易爱平 刘晶儒 《中国工程科学》 2009年第8期52-57,共6页

在高功率准分子激光系统中,前端光束形态直接决定着系统输出的光束形态,并直接与靶物理需求密切相关。主要介绍了窄脉冲准分子激光前端光束形态控制的实验研究进展,基于散射法获得了满足系统要求的部分相干源,直接利用三束激光脉冲堆积... 在高功率准分子激光系统中,前端光束形态直接决定着系统输出的光束形态,并直接与靶物理需求密切相关。主要介绍了窄脉冲准分子激光前端光束形态控制的实验研究进展,基于散射法获得了满足系统要求的部分相干源,直接利用三束激光脉冲堆积获得了平顶整形脉冲,并结合放大实验结果对上述实现方法进行了评价分析。 展开更多

关键词 准分子激光 光束平滑 均匀性 脉冲整形 高功率

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上海硅酸盐研究所利用激光加热基座法(LHPG)成功制备高长径比Yb∶YAG单晶光纤 被引量：1

6

《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2020年第1期175-175,共1页

单晶光纤直径在百微米量级或更小直径下才能真正发挥"准一维形态"单晶材料的尺寸优势,以望实现理论输出极限,因此制备直径在百微米量级或更小直径的单晶光纤显得尤为重要。导模法、微下拉法等方法因受模具、坩埚材料的限制难... 单晶光纤直径在百微米量级或更小直径下才能真正发挥"准一维形态"单晶材料的尺寸优势,以望实现理论输出极限,因此制备直径在百微米量级或更小直径的单晶光纤显得尤为重要。导模法、微下拉法等方法因受模具、坩埚材料的限制难以制备百微米量级的单晶光纤;而LHPG方法制备单晶光纤的过程中无需使用坩埚,单晶光纤的外形主要通过籽晶与料棒的拉速比来控制,可有效解决其他光纤生长方法过程中存在的熔体浸润性、模具加工精度等问题,实现直径百微米量级单晶光纤的制备,在制备高长径比的单晶光纤时具有独特的优势。此外,LHPG方法还具有生长速度快、原料用量小、设备功率低等优点。目前采用LHPG方法己经生长出数十种单晶光纤,涉及激光、高温探测等多个应用领域。 展开更多

关键词 单晶光纤 激光加热基座法 高长径比 设备功率 单晶材料 高温探测 微米量级 准一维

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电子束在激光气体中能量沉积的测量 被引量：1

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作者 赵学庆 刘晶儒 +2 位作者 易爱平 袁孝 聂磊 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1996年第1期95-98,共4页

介绍了在电子束泵浦的百焦耳级氯化氛和氨化氪准分子激光实验中，用压力法测量电子束在激光气体中的能量沉积，获得较满意的信号，并由此推得电子束在激光气体中的沉积效率、激光器本征效率和平均泵浦功率等重要参量，为激光器调试提供... 介绍了在电子束泵浦的百焦耳级氯化氛和氨化氪准分子激光实验中，用压力法测量电子束在激光气体中的能量沉积，获得较满意的信号，并由此推得电子束在激光气体中的沉积效率、激光器本征效率和平均泵浦功率等重要参量，为激光器调试提供了有用的参考依据． 展开更多

关键词 电子束 能量沉积 压力法 准分子激光 激光器

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脉冲XeCl激光与K9光学玻璃相互作用中反射光波形的测量与分析

8

作者 谢永杰 赵学庆 +3 位作者 王立君 刘晶儒 易爱平 王龙华 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期71-73,共3页

选用 K9光学玻璃作为靶材料 ,在不同环境气压条件下利用高功率 Xe Cl准分子激光进行了打靶实验 ,测量得到了不同气压条件下靶面的反射光波形。分析反射光波形表明 ,气压对

关键词 高功率准分子激光 激光物质 相互作用 反射激光波形 等离子体 脉冲XeCl激光 靶材料 测量 K9光学玻璃

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气体激光器

9

《中国光学》 CAS 2004年第6期15-15,共1页

TN248.2 2004064099 用集束空芯传能光纤提高激光强度的实验研究=Experimental research on multi-bunch hollow transmitting laser energy fibers for high power laser[刊,中]/周桂耀（燕山大学红外光纤与传感研究所.河北,秦皇岛（06... TN248.2 2004064099 用集束空芯传能光纤提高激光强度的实验研究=Experimental research on multi-bunch hollow transmitting laser energy fibers for high power laser[刊,中]/周桂耀（燕山大学红外光纤与传感研究所.河北,秦皇岛（066004））,侯峙云…∥光电子·激光.—2004.15（5）.—586-588 利用7根多晶态GaO₂空芯传能光纤,将7台50W的CO₂激光器输出的激光能量合并成一束激光,使输出的激光功率达到319W,聚集后激光光斑直径为0.2mm,由此实现低功率激光器合并成高功率激光。图6表1参5（于晓光） 展开更多

关键词 空芯传能光纤 气体激光器 激光放电管 实验研究 红外光纤 准分子激光器 高功率激光 光电子 能量合并 激光功率

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镀膜技术及设备

10

《中国光学》 EI CAS 1998年第1期69-69,共1页

TB43 98010469XeCl（308 nm）脉中分子激光淀积类金刚石薄膜=Pulsed laser deposition of diamond-like carbonfilm with XeCl（308 nm）laser[刊,中]/李铁军,刘晶儒,王丽戈（西北核技术研究所高功率分子激光实验室.陕西,西安（710024）... TB43 98010469XeCl（308 nm）脉中分子激光淀积类金刚石薄膜=Pulsed laser deposition of diamond-like carbonfilm with XeCl（308 nm）laser[刊,中]/李铁军,刘晶儒,王丽戈（西北核技术研究所高功率分子激光实验室.陕西,西安（710024））//光学学报.-1997,17（3）.-331-337利用XeCl（308 nm）脉冲准分子激光淀积技术在功率密度5×10⁸W/cm²、室温、真空度10^-3Pa的条件下,制备出不含氢成分的类金刚石薄膜,研究了类金刚石薄膜的特性及其随制备工艺条件的变化规律。研究了激光诱导的碳等离子体发射光谱,探讨了类金刚石薄膜的形成机理。图13表1参10（严寒） 展开更多

关键词 类金刚石薄膜 准分子激光 形成机理 发射光谱 激光诱导 工艺条件 功率密度 淀积技术 激光实验 高功率

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制膜技术与装置

11

《中国光学与应用光学》 2007年第1期64-65,共2页

关键词 准分子脉冲激光沉积 薄膜材料 汽相沉积 FESI 复合薄膜 SBN Δ掺杂 制膜技术 声表面波器件 声学器件 透射光谱 激光沉积法 衬底 基片 PLD 装置

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