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提高热场扫描电镜能谱空间分辨率的方法研究 被引量:3
1
作者 黎爽 邓平晔 《分析科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期824-828,共5页
本文采用薄片法原理,设计出已获专利授权的新型扫描电镜载样装置,并将其安装在扫描电镜中,对分散为薄层的混合纳米材料进行元素分布测试。应用热场电镜能谱(SDD)系统具有的稳定可变束流、高计数率等优点,在相同的实验条件下与冷场扫描... 本文采用薄片法原理,设计出已获专利授权的新型扫描电镜载样装置,并将其安装在扫描电镜中,对分散为薄层的混合纳米材料进行元素分布测试。应用热场电镜能谱(SDD)系统具有的稳定可变束流、高计数率等优点,在相同的实验条件下与冷场扫描电镜能谱(Si(Li))系统进行对比。实验结果说明:较传统方法,采用新方法提升了电镜能谱的空间分辨率,而且热场优于冷场的水平,元素分布的识别效果得到显著提高,热场电镜能谱的分析领域得到完善。该方法也为应用热场电镜能谱对纳米材料进行成分分析提供了新的思路。 展开更多
关键词 能谱空间分辨率 发射扫描电镜 薄片法 SDD硅漂移探测器
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高分辨率热场发射显微镜(HRTFEM)
2
作者 陈尔纲 杨德清 +2 位作者 窦菊英 孙祥乐 陈仲伟 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第4期617-618,共2页
关键词 高分辨率 发射显微镜 HRTFEM
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扩展的Schottky发射高分辨扫描电镜 被引量:3
3
作者 陈文雄 徐军 《电子显微学报》 CAS CSCD 1995年第6期449-457,共9页
本文从理论上评述了扫描电镜中作为电子源的五种发射制式,对冷场发射,热场发射,Schottky发射和扩展的Schottky发射四种制式,就虚源,能量分散,亮度,噪声等一些重要方面进行了详细的比较,指出了扩展的Schot... 本文从理论上评述了扫描电镜中作为电子源的五种发射制式,对冷场发射,热场发射,Schottky发射和扩展的Schottky发射四种制式,就虚源,能量分散,亮度,噪声等一些重要方面进行了详细的比较,指出了扩展的Schottky发射的优越性。同时给出了我们应用扩展的Schottky发射扫描电镜(AMRAY1910FE)所获得的一些高分辨形貌像。 展开更多
关键词 显微镜 发射 Schottky发射 扫描电镜
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改善场发射扫描电镜分辨本领的原理和展望 被引量:11
4
作者 廖乾初 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第5期709-716,共8页
本文讨论了改善场发射扫描电镜分辨本领的原理。分析结果表明 ,仪器的分辨本领主要依赖于物镜的球像差系数 Cs。如果等效球像差系数能降低到 0 .1× 10 -2 cm的水平 ,则二次电子像的分辨本领为 0 .3 2 2 nm(当扫描电子束的加速电压 ... 本文讨论了改善场发射扫描电镜分辨本领的原理。分析结果表明 ,仪器的分辨本领主要依赖于物镜的球像差系数 Cs。如果等效球像差系数能降低到 0 .1× 10 -2 cm的水平 ,则二次电子像的分辨本领为 0 .3 2 2 nm(当扫描电子束的加速电压 VA=3 0 k V)。此外 ,在 Cs=0和扫描电子束的半开角 α=5× 10 -2 rad,本文估计场发射扫描电镜的极限分辨本领可望达到 0 .178nm(当 VA=3 0 k V)。 展开更多
关键词 等效球像差系数 发射扫描电镜 分辨率
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基于氮气吸附-核磁共振-氩离子抛光场发射扫描电镜研究川西须五段泥质岩储层孔隙结构 被引量:18
5
作者 庞河清 曾焱 +4 位作者 刘成川 黎华继 彭军 严焕榕 陈俊 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期66-74,共9页
微观孔隙作为泥质岩的有效储集空间,其孔隙结构参数是作为气藏评价及资源量估算的重要依据。本文应用氮气吸附法(NAM)、核磁共振法(NMR)、氩离子抛光及场发射扫描电镜(AIP-FESEM)研究川西须五段泥质岩微观孔隙特征,结果表明:1氩离子抛... 微观孔隙作为泥质岩的有效储集空间,其孔隙结构参数是作为气藏评价及资源量估算的重要依据。本文应用氮气吸附法(NAM)、核磁共振法(NMR)、氩离子抛光及场发射扫描电镜(AIP-FESEM)研究川西须五段泥质岩微观孔隙特征,结果表明:1氩离子抛光及场发射扫描电镜在表征微观孔隙形态与类别时有一定优势,但定量表征孔隙参数时,受图像二值化阈值的影响,表征结果偏差较大,可结合氮气吸附法来定量表征其孔径大小;2核磁共振受岩石骨架影响小,能够更精细反映岩石的物性条件,可定量计算孔隙度与可动流体饱和度,但对样品的孔隙形态反映较差;3综合上述三种方法,在须五段泥质岩中可识别出一定量的纳米级中、大孔,孔径大多介于几十纳米到几百纳米之间,孔隙连通性差,孔隙度主要介于2.3%~7.4%之间,孔隙类型以粒间孔、晶间孔最发育,有机孔隙、微裂缝次之,粒内孔隙最不发育。总体而言,融合了三种技术方法能更精确、更全面地反映泥质岩孔隙结构特征,能得到更完善的储层孔隙结构参数,在定量表征泥质岩孔隙结构中具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 泥质岩 孔隙结构 氮气吸附 核磁共振 氩离子抛光及发射扫描电镜
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基于开放共享平台的场发射扫描电镜管理与维护 被引量:18
6
作者 卜娟 屈泽华 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2017年第6期264-266,274,共4页
从规章制度建设、信息化管理、培训流程控制、技术服务、激励措施、预防性维护及保养、故障处理等几个方面总结了基于开放共享平台的场发射扫描电镜的管理措施,介绍了大型贵重仪器的共享管理办法和经验。通过严格的培训过程控制、高水... 从规章制度建设、信息化管理、培训流程控制、技术服务、激励措施、预防性维护及保养、故障处理等几个方面总结了基于开放共享平台的场发射扫描电镜的管理措施,介绍了大型贵重仪器的共享管理办法和经验。通过严格的培训过程控制、高水平的技术服务、有效的维护以及及时的故障处理等提高了仪器的使用效率。 展开更多
关键词 开放共享平台 发射扫描电镜 管理维护
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场发射环境扫描电镜下有机物形貌和成份特征的研究 被引量:3
7
作者 陈莉 徐军 +2 位作者 苏犁 周凤山 张会珍 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第B08期335-335,共1页
关键词 环境扫描电镜 形貌特征 发射 成份 有机物 X射线能谱 电镜分析 胜利油田
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纳滤膜的场发射扫描电镜、能量色散X射线、原子力显微镜与傅里叶转换红外光谱分析 被引量:7
8
作者 罗敏 王浪 王占生 《膜科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期20-24,共5页
利用场发射扫描电镜、能量色散X射线分析、原子力显微镜与傅里叶转换红外光谱技术 ,对NF4 5纳滤膜的表面形态、孔径分布进行了分析研究 ,同时考察了大豆乳清液的纳滤膜污染特征 .研究表明 :NF4 5膜的孔径范围小于 0 5nm ,膜孔分布均匀 ... 利用场发射扫描电镜、能量色散X射线分析、原子力显微镜与傅里叶转换红外光谱技术 ,对NF4 5纳滤膜的表面形态、孔径分布进行了分析研究 ,同时考察了大豆乳清液的纳滤膜污染特征 .研究表明 :NF4 5膜的孔径范围小于 0 5nm ,膜孔分布均匀 ,平均表面粗糙度为 9 4nm ,波峰高度是纳米级 ;而污染膜面基本表现为无数小葡萄球状的低聚糖类物质组成的块状 ,且污染物层分布很不均匀 ,波动很大 ,平均表面粗糙度为 4 39 7nm ,波峰高度是微米级的 . 展开更多
关键词 纳滤 发射扫描电镜 能量色散X射线分析 原子力显微镜 傅里叶转换红外光谱 膜分离 膜材料
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用AMRAY-1910FE场发射扫描电镜研究不同材料和方法的导电膜蒸镀对试样形貌观察的影响 被引量:3
9
作者 徐军 陈文雄 +1 位作者 张存 张会珍 《电子显微学报》 CSCD 1995年第6期430-433,共4页
本文通过离子溅射镀膜和高真空蒸发镀膜两种方法,用金和钯铱合金做为蒸发源,对样品表面蒸镀导电层。然后用AMRAY-1910FE场发射扫描电镜观察试样表面蒸镀层对试样形貌的影响。实验表明在放大倍数超过5万倍以上观察试样时... 本文通过离子溅射镀膜和高真空蒸发镀膜两种方法,用金和钯铱合金做为蒸发源,对样品表面蒸镀导电层。然后用AMRAY-1910FE场发射扫描电镜观察试样表面蒸镀层对试样形貌的影响。实验表明在放大倍数超过5万倍以上观察试样时,由于金镀层粒度太大,因此不能用来做为表面导电镀层。但用高真空蒸发镀膜,用钯铱合金做为试样表面蒸镀材料,在25万倍以下观察时,无论从膜的导电性方面或是其颗粒度方面来看都不失为一种较好的蒸镀材料。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 离子溅射镀膜 高真空蒸发镀膜
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场发射环境扫描电镜上阴极荧光谱仪在锆石研究中的应用 被引量:1
10
作者 陈莉 徐军 苏犁 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第4期334-334,共1页
关键词 环境扫描电镜 阴极荧光 荧光谱仪 发射 锆石 应用 系统使用 地质意义 年龄测定
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氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜纳米组织结构的场发射扫描电镜观察研究
11
作者 徐军 王立铎 陈文雄 《电子显微学报》 CAS CSCD 1998年第6期716-721,共6页
将“高分辨二次电子成分衬度成像原理”与“离子束锥形刻蚀处理样品的方法”相结合,利用高分辨场发射扫描电镜对室温下离子束辅助沉积制备的氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜层厚及其纳米组织结构进行观察研究,清晰地观察到各层层厚及各层中... 将“高分辨二次电子成分衬度成像原理”与“离子束锥形刻蚀处理样品的方法”相结合,利用高分辨场发射扫描电镜对室温下离子束辅助沉积制备的氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜层厚及其纳米组织结构进行观察研究,清晰地观察到各层层厚及各层中的纳米粒子,这一方法为氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜纳米结构与层间关系的研究提供了一种实用而有效的手段。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 氮化硅 氮化钛 陶瓷 多层膜
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氩离子抛光-场发射扫描电镜分析方法在识别有机显微组分中的应用 被引量:20
12
作者 高凤琳 王成锡 +5 位作者 宋岩 陈振宏 刘庆新 李卓 姜振学 张欣欣 《石油实验地质》 CAS CSCD 北大核心 2021年第2期360-367,共8页
氩离子抛光—场发射扫描电镜是页岩储层微观孔隙结构表征的常用手段,但单独依靠扫描电镜观察无法直接识别有机质类型,而荧光显微镜是鉴定显微组分的主要方法。通过大量场发射扫描电镜与荧光显微镜相结合的定位观察技术,实现对扫描电镜... 氩离子抛光—场发射扫描电镜是页岩储层微观孔隙结构表征的常用手段,但单独依靠扫描电镜观察无法直接识别有机质类型,而荧光显微镜是鉴定显微组分的主要方法。通过大量场发射扫描电镜与荧光显微镜相结合的定位观察技术,实现对扫描电镜下特定显微组分的鉴定和观察,并总结出扫描电镜下有机显微组分鉴定的方法和特征。氩离子抛光—场发射扫描电镜下,可通过有机质的外部形态、硬度、亮度、颜色、突起、有机质孔隙发育特征以及裂隙发育特征等综合判断出结构镜质体、无结构镜质体、镜屑体、丝质体、半丝质体、菌类分泌体、惰屑体、油沥青以及焦沥青。 展开更多
关键词 氩离子抛光 发射扫描电镜 有机显微组分
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场发射扫描电镜及PerGeos系统在安页1井龙马溪组页岩有机质孔隙研究中的联合应用 被引量:15
13
作者 白名岗 夏响华 +7 位作者 张聪 孟凡洋 杨玉茹 张春贺 代峰 熊杰 王向华 于伟欣 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期225-234,共10页
安页1井是中国地质调查局在我国南方盆地外围武陵山复杂构造区实施并取得页岩气突破的一口地质调查参数井。本文以安页1井龙马溪组富有机质页岩为研究对象,利用场发射扫描电镜,研究了上扬子地区盆地外围龙马溪组富有机质页岩储集空间类... 安页1井是中国地质调查局在我国南方盆地外围武陵山复杂构造区实施并取得页岩气突破的一口地质调查参数井。本文以安页1井龙马溪组富有机质页岩为研究对象,利用场发射扫描电镜,研究了上扬子地区盆地外围龙马溪组富有机质页岩储集空间类型,并将Per Geos数字岩石处理系统引入有机质孔隙定量分析,定量刻画了有机质微纳米孔隙结构及发育特征。研究认为:有机质孔隙是安页1井龙马溪组富有机质页岩最主要的储集空间,形态上表现为填隙于自生硅质中的有机质发育着均匀海绵状孔隙结构,或与黏土矿物交互生长的有机质发育着气泡状孔隙结构,这两类不同赋存形态的有机质的孔隙均极为发育。通过Per Geos数字岩石系统处理,揭示了两类有机质孔隙孔径发育呈现双众数分布,其中海绵状结构的有机质孔隙孔径众数为5~10 nm,气泡状结构的有机质孔隙孔径众数为51~100 nm,有机质孔隙主要介于中孔~宏孔范畴。安页1井龙马溪组有机质孔隙的大量发育,指示了盆地外围的龙马溪组页岩经历了较强烈的生烃过程并具有较好的储集能力,具备良好的开发潜力。 展开更多
关键词 龙马溪组 页岩 发射扫描电镜 有机质微纳米孔隙 PerGeos数字岩石处理系统
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探针电流对场发射扫描电镜图像的影响 被引量:6
14
作者 邓子华 陈红梅 尹伟 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2018年第8期25-28,共4页
通过对电镜工作原理的研究,分析了不同探针电流对电镜图像分辨率、景深、荷电现象的影响因素,总结了选择最佳探针电流的原则。探针电流升高,束斑直径变大,信噪比变好,但图像分辨率下降,景深减小,荷电现象增强;探针电流降低,束斑直径减小... 通过对电镜工作原理的研究,分析了不同探针电流对电镜图像分辨率、景深、荷电现象的影响因素,总结了选择最佳探针电流的原则。探针电流升高,束斑直径变大,信噪比变好,但图像分辨率下降,景深减小,荷电现象增强;探针电流降低,束斑直径减小,分辨率增高,景深增加,有利于减弱荷电现象,但是探针电流过小,噪声增大,聚焦困难,图像分辨率反而下降。实验表明,结合样品的特征,灵活地选择探针电流能显著地提高电镜图像质量。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 探针电流 分辨率 景深 荷电现象
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蔡司场发射扫描电镜Sigma 500真空系统故障与排除 被引量:2
15
作者 薛敏 马赛 +1 位作者 魏杰 陈炜晔 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第4期479-482,共4页
场发射扫描电镜是科研工作中不可或缺的重要工具之一,管理者要及时排查、解除故障,以缩短维修周期、节约维修经费,保障仪器高效有序运行。本文对蔡司Sigma 500真空系统在使用过程中发生的故障进行了分析排查并对解决方法进行了归纳总结... 场发射扫描电镜是科研工作中不可或缺的重要工具之一,管理者要及时排查、解除故障,以缩短维修周期、节约维修经费,保障仪器高效有序运行。本文对蔡司Sigma 500真空系统在使用过程中发生的故障进行了分析排查并对解决方法进行了归纳总结,给同款仪器用户以借鉴。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 真空系统 故障
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应用场发射扫描电镜技术表征芜湖地区二叠系页岩孔隙特征——以徽页1井为例 被引量:1
16
作者 李晨晨 李洋冰 +3 位作者 陈鑫 刘再振 李盼盼 王月胜 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期151-157,共7页
页岩储层的性质主要取决于其孔隙特征,本文运用场发射扫描电镜和能谱分析技术对芜湖地区二叠系徽页1井页岩孔隙进行表征。结果表明徽页1井中在有机质内部形成有机质孔,并常与生物硅或者黄铁矿伴生;残留粒间孔主要发育在石英和黄铁矿等... 页岩储层的性质主要取决于其孔隙特征,本文运用场发射扫描电镜和能谱分析技术对芜湖地区二叠系徽页1井页岩孔隙进行表征。结果表明徽页1井中在有机质内部形成有机质孔,并常与生物硅或者黄铁矿伴生;残留粒间孔主要发育在石英和黄铁矿等脆性较好、抗压实作用强的矿物晶体间;粒间溶蚀孔主要发育在白云石、长石等溶蚀性较强的矿物颗粒间,孔隙可被石膏、黏土等胶结物充填,减小了粒间溶蚀孔的发育程度;粒内孔主要发育在石英、云母、黄铁矿和黏土矿物等晶形比较好、晶体粗大的矿物集合体中;粒内溶蚀孔隙主要发育在石膏、长石和白云石等易溶矿物颗粒内,较强的溶蚀作用甚至可将整个颗粒溶蚀殆尽形成铸膜孔,后期也可被有机质等充填;微裂缝主要发育在脆性矿物晶体间、石膏晶体内和高岭石等黏土矿物颗粒内。 展开更多
关键词 芜湖地区 页岩 孔隙 发射扫描电镜
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场发射扫描电镜在半导体中的若干应用
17
作者 葛玉如 《电子显微学报》 CAS 1982年第2期61-65,85-86,共7页
本文简要说明场发射扫描电镜(FESEW)的特点及其在半导体中的若干应用。
关键词 加速电压 形貌 FESEM 电压衬度 电子枪 发射扫描电镜 半导体材料 电工材料
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几种典型扫描电镜生物样本制备 被引量:39
18
作者 胡春辉 徐青 +2 位作者 孙璇 于浩 袁玉清 《湖北农业科学》 2016年第20期5389-5392,5402,共5页
总结了几种典型扫描电镜生物样本的制备方法。结果表明,分别采用牙签直接涂抹、在合适的溶剂中超声分散后用铜片和铜网捞取的方法,得到较好的粉末样品扫描电镜图像;微生物在液体或固体培养基中培养后,经戊二醛固定,乙醇脱水和冷冻干燥... 总结了几种典型扫描电镜生物样本的制备方法。结果表明,分别采用牙签直接涂抹、在合适的溶剂中超声分散后用铜片和铜网捞取的方法,得到较好的粉末样品扫描电镜图像;微生物在液体或固体培养基中培养后,经戊二醛固定,乙醇脱水和冷冻干燥等处理过程;植物样品根据含水量的不同,选择合适的固定液和干燥方法对样品进行处理;动物样品采用双固定和临界点干燥的方法进行处理;均获得较为理想的扫描电镜图片。 展开更多
关键词 生物样品 扫描电镜 样品制备 干燥方法 发射
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北京、郑州和深圳三城市空气中气溶胶单颗粒特征的扫描电镜分析 被引量:7
19
作者 赵承美 邵龙义 +3 位作者 侯聪 幸娇萍 胡颖 王文华 《岩石矿物学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期925-931,共7页
分别采集北京、深圳和郑州3个城市气溶胶样品,使用场发射扫锚电镜-能谱仪观察气溶胶单颗粒的显微形貌和元素组成,并利用图像分析系统对PM2.5的粒径进行了分析。结果表明,城市气溶胶单颗粒类型以矿物颗粒、烟尘和球形颗粒(飞灰和二次粒子... 分别采集北京、深圳和郑州3个城市气溶胶样品,使用场发射扫锚电镜-能谱仪观察气溶胶单颗粒的显微形貌和元素组成,并利用图像分析系统对PM2.5的粒径进行了分析。结果表明,城市气溶胶单颗粒类型以矿物颗粒、烟尘和球形颗粒(飞灰和二次粒子)为主。对比3个城市气溶胶中不同颗粒类型数量百分比发现,矿物颗粒数量最多的城市是北京,飞灰和烟尘数量最多的城市是郑州,而规则矿物颗粒数量最多的城市是深圳。3个城市气溶胶单颗粒的数量-粒径分布均呈单峰分布。深圳气溶胶中颗粒物的粒径相对较小,其次为郑州、北京。3个城市气溶胶中颗粒物来源不同程度上都受到交通污染源影响,而燃煤源对北京和郑州气溶胶中颗粒物来源影响仍然不容忽视。 展开更多
关键词 气溶胶单颗粒 发射扫描电镜 PM2.5 矿物颗粒 烟尘 显微形貌 粒径分布
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不同加速电压对不导电样品扫描电镜图像的影响 被引量:19
20
作者 曹水良 梁志红 尹平河 《暨南大学学报(自然科学与医学版)》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期357-360,共4页
利用蔡司Ultra55场发射扫描电镜观察原子力显微镜探针和聚苯乙烯微球在不同加速电压下的二次电子图像和能量选择式背散射电子图像.结果发现:在合适的低加速电压下,样品可以直接观察,不需喷金处理,而且二次电子图像所呈现的样品表面细节... 利用蔡司Ultra55场发射扫描电镜观察原子力显微镜探针和聚苯乙烯微球在不同加速电压下的二次电子图像和能量选择式背散射电子图像.结果发现:在合适的低加速电压下,样品可以直接观察,不需喷金处理,而且二次电子图像所呈现的样品表面细节更丰富,更清晰;能量选择式背散射电子图像样品成分衬度明显,可以有效消除荷电现象和各种假象. 展开更多
关键词 发射扫描电镜 二次电子图像 能量选择式背散射电子图像 低加速电压 荷电现象
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