提高热场扫描电镜能谱空间分辨率的方法研究 被引量：3

1

作者 黎爽 邓平晔 《分析科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期824-828,共5页

本文采用薄片法原理,设计出已获专利授权的新型扫描电镜载样装置,并将其安装在扫描电镜中,对分散为薄层的混合纳米材料进行元素分布测试。应用热场电镜能谱(SDD)系统具有的稳定可变束流、高计数率等优点,在相同的实验条件下与冷场扫描... 本文采用薄片法原理,设计出已获专利授权的新型扫描电镜载样装置,并将其安装在扫描电镜中,对分散为薄层的混合纳米材料进行元素分布测试。应用热场电镜能谱(SDD)系统具有的稳定可变束流、高计数率等优点,在相同的实验条件下与冷场扫描电镜能谱(Si(Li))系统进行对比。实验结果说明:较传统方法,采用新方法提升了电镜能谱的空间分辨率,而且热场优于冷场的水平,元素分布的识别效果得到显著提高,热场电镜能谱的分析领域得到完善。该方法也为应用热场电镜能谱对纳米材料进行成分分析提供了新的思路。 展开更多

关键词 能谱空间分辨率 热场发射扫描电镜 薄片法 SDD硅漂移探测器

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改善场发射扫描电镜分辨本领的原理和展望 被引量：11

2

作者 廖乾初 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第5期709-716,共8页

本文讨论了改善场发射扫描电镜分辨本领的原理。分析结果表明 ,仪器的分辨本领主要依赖于物镜的球像差系数 Cs。如果等效球像差系数能降低到 0 .1× 10 -2 cm的水平 ,则二次电子像的分辨本领为 0 .3 2 2 nm(当扫描电子束的加速电压 ... 本文讨论了改善场发射扫描电镜分辨本领的原理。分析结果表明 ,仪器的分辨本领主要依赖于物镜的球像差系数 Cs。如果等效球像差系数能降低到 0 .1× 10 -2 cm的水平 ,则二次电子像的分辨本领为 0 .3 2 2 nm(当扫描电子束的加速电压 VA=3 0 k V)。此外 ,在 Cs=0和扫描电子束的半开角 α=5× 10 -2 rad,本文估计场发射扫描电镜的极限分辨本领可望达到 0 .178nm(当 VA=3 0 k V)。 展开更多

关键词 等效球像差系数 场发射扫描电镜 分辨率

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用AMRAY－1910FE场发射扫描电镜研究不同材料和方法的导电膜蒸镀对试样形貌观察的影响 被引量：3

3

作者 徐军 陈文雄 +1 位作者 张存 张会珍 《电子显微学报》 CSCD 1995年第6期430-433,共4页

本文通过离子溅射镀膜和高真空蒸发镀膜两种方法，用金和钯铱合金做为蒸发源，对样品表面蒸镀导电层。然后用ＡＭＲＡＹ－１９１０ＦＥ场发射扫描电镜观察试样表面蒸镀层对试样形貌的影响。实验表明在放大倍数超过５万倍以上观察试样时... 本文通过离子溅射镀膜和高真空蒸发镀膜两种方法，用金和钯铱合金做为蒸发源，对样品表面蒸镀导电层。然后用ＡＭＲＡＹ－１９１０ＦＥ场发射扫描电镜观察试样表面蒸镀层对试样形貌的影响。实验表明在放大倍数超过５万倍以上观察试样时，由于金镀层粒度太大，因此不能用来做为表面导电镀层。但用高真空蒸发镀膜，用钯铱合金做为试样表面蒸镀材料，在２５万倍以下观察时，无论从膜的导电性方面或是其颗粒度方面来看都不失为一种较好的蒸镀材料。 展开更多

关键词 场发射扫描电镜 离子溅射镀膜 高真空蒸发镀膜

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探针电流对场发射扫描电镜图像的影响 被引量：6

4

作者 邓子华 陈红梅 尹伟 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2018年第8期25-28,共4页

通过对电镜工作原理的研究,分析了不同探针电流对电镜图像分辨率、景深、荷电现象的影响因素,总结了选择最佳探针电流的原则。探针电流升高,束斑直径变大,信噪比变好,但图像分辨率下降,景深减小,荷电现象增强;探针电流降低,束斑直径减小... 通过对电镜工作原理的研究,分析了不同探针电流对电镜图像分辨率、景深、荷电现象的影响因素,总结了选择最佳探针电流的原则。探针电流升高,束斑直径变大,信噪比变好,但图像分辨率下降,景深减小,荷电现象增强;探针电流降低,束斑直径减小,分辨率增高,景深增加,有利于减弱荷电现象,但是探针电流过小,噪声增大,聚焦困难,图像分辨率反而下降。实验表明,结合样品的特征,灵活地选择探针电流能显著地提高电镜图像质量。 展开更多

关键词 场发射扫描电镜 探针电流 分辨率 景深 荷电现象

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场发射高分辨电子显微像的复原 被引量：3

5

作者 李方华 何万中 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第3期177-181,共5页

本文讨论了弱相位物体近似的实际应用范围，在此基础上对场发射高分辨电子显微像作了解卷处理。说明通过处理可以从像上看到分辨率接近电子显微镜信息分辨极限的结构细节。

关键词 高分辨 电子显微学 电镜 场发射

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高分辨力热场发射显微镜(HRTFEM)及其应用

6

作者 陈尔纲 杨德清 +1 位作者 窦菊英 孙祥乐 《广西师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2000年第S2期15-18,共4页

从理论与实际方面研究了获得高分辨力场发射电镜 (FEM)的条件 ,认为在适当的场强及温度下0 .2 nm的分辨力是可以达到的 ,这与当前认为的 FEM分辨力只能在 2 nm上下高一个数量级 .称这种显微镜为高分辨力热场发射显微镜 (HRTFEM) .利用... 从理论与实际方面研究了获得高分辨力场发射电镜 (FEM)的条件 ,认为在适当的场强及温度下0 .2 nm的分辨力是可以达到的 ,这与当前认为的 FEM分辨力只能在 2 nm上下高一个数量级 .称这种显微镜为高分辨力热场发射显微镜 (HRTFEM) .利用这种显微镜 ,我们研究了 W尖端上 Zr原子吸附情况[1 ] .进一步介绍其在表面晶体结构、表面电子态及表面原子的热力学过程的可能应用 . 展开更多

关键词 场发射显微镜 场离子显微镜 热场发射显微镜 高分辨力 空间电荷

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像的解卷处理在球差校正场发射高分辨电子显微镜中的应用

7

作者 唐春艳 陈江华 李方华 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期359-359,共1页

关键词 场发射高分辨电子显微镜 图像解卷处理 球差校正 球差系数 成像参数

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大试样扫描电镜

8

作者 亓家钟 《粉末冶金技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期85-85,共1页

关键词 场发射扫描电镜 日立高技术公司 滤光系统 大试样

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场诱导纳米富勒烯碳的合成

9

作者 陶景光 廖兆曙 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期206-207,共2页

场诱导纳米富勒烯碳的合成陶景光，廖兆曙（华中理工大学）１９９０年Ｗ．Ｋｒａｔｓｃｈｍｅｒ等人在实验室分离出碳的第三种同素异构体碳６０，由此开拓了碳、硅等三维原子团簇固态分子晶体研究的新领域，各国学者从各方面开展了大量... 场诱导纳米富勒烯碳的合成陶景光，廖兆曙（华中理工大学）１９９０年Ｗ．Ｋｒａｔｓｃｈｍｅｒ等人在实验室分离出碳的第三种同素异构体碳６０，由此开拓了碳、硅等三维原子团簇固态分子晶体研究的新领域，各国学者从各方面开展了大量的工作。不久以前Ｓ．ｌｉｊｉｍａ、... 展开更多

关键词 场诱导 石墨化 纳米 富勒烯 富勒碳 烯碳 电子束诱导 扫描电镜照片 透射电镜 高分辨

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应用X射线衍射-红外光谱等技术研究滑石在机械力研磨中的形貌和晶体结构变化及影响机制 被引量：3

10

作者 任叶叶 张俭 +3 位作者 严俊 林剑 陈思杭 盛嘉伟 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期181-186,共6页

滑石的颗粒粒径、形貌、晶型等对其应用的实效性、终端产品的性能产生极大影响,目前主要研究其表面改性,而有关微观形貌及晶体结构研究较少。本文利用X射线荧光光谱、X射线衍射分析、红外光谱、粒度分析仪结合高分辨场发射扫描电镜(FE-S... 滑石的颗粒粒径、形貌、晶型等对其应用的实效性、终端产品的性能产生极大影响,目前主要研究其表面改性,而有关微观形貌及晶体结构研究较少。本文利用X射线荧光光谱、X射线衍射分析、红外光谱、粒度分析仪结合高分辨场发射扫描电镜(FE-SEM)技术对辽宁滑石粉在高强度机械力研磨作用下的微形貌和晶体结构变化特征进行系统研究。结果表明滑石粉原矿混合物中MgO与SiO2的分子个数比约为0.45,该数值明显低于纯滑石粉晶体中MgO与SiO2的分子个数比0.75。此类滑石为典型的单斜晶系,研磨作用使滑石粉由晶态转变为非晶态结构,其层状结构的有序化和键合作用发生了明显的变化。滑石粒度随研磨时间变化呈现减小-增大-减小的循环过程。研磨后粉体形貌存在差异,细化的小颗粒粉体因团聚而呈"准球体",且随着研磨的进行出现细化-团聚-细化的反复过程。此结论对于滑石的深加工与应用及其相关矿物粉体的研究具有一定的参考价值。 展开更多

关键词 滑石粉 研磨 团聚 准球体 X射线衍射法 红外光谱法 粒度分析仪 高分辨场发射扫描电镜

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电子显微镜时代与纳米地球科学 被引量：6

11

作者 陈天虎 谢巧勤 《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1126-1129,共4页

光学显微镜的广泛运用,扩展了观察认识地球固体物质组成、结构、构造的视野,促使地球科学从简单描述走向理论研究,催生了地球科学的第一次革命;21世纪地球科学研究全面向地球表层转移,迫切需要认识地球物质纪录的纳米尺度信息;现代电子... 光学显微镜的广泛运用,扩展了观察认识地球固体物质组成、结构、构造的视野,促使地球科学从简单描述走向理论研究,催生了地球科学的第一次革命;21世纪地球科学研究全面向地球表层转移,迫切需要认识地球物质纪录的纳米尺度信息;现代电子显微镜在地球科学中的广泛运用,催生了纳米地球科学的诞生。纳米地球科学诞生推动地球科学家将从纳米尺度解读过去所未知的固体地球演代过程的信息;纳米地球科学的兴起将引起地球科学的一场新的革命。 展开更多

关键词 纳米地球科学 高分辨透射电镜 场发射扫描电镜 纳米矿物学 纳米地球化学

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透射电子显微学的新进展Ⅰ透射电子显微镜及相关部件的发展及应用 被引量：43

12

作者 李斗星 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期269-277,共9页

本文综述了透射电子显微镜(TEM)及相关部件,即场发射枪(FEG)透射电子显微镜、慢扫描电荷耦合器件(SSCCD)、球差校正器、单色器及高能量分辨率的新一代能量过滤成像系统的发展及应用。商业化的UltraScan1000SSCCD的读写速度已达4MHz,接... 本文综述了透射电子显微镜(TEM)及相关部件,即场发射枪(FEG)透射电子显微镜、慢扫描电荷耦合器件(SSCCD)、球差校正器、单色器及高能量分辨率的新一代能量过滤成像系统的发展及应用。商业化的UltraScan1000SSCCD的读写速度已达4MHz,接近实时观察图像的目标;已生产出用于TEM和STEM的球差校正器,可把CM200FEGTEM的球差系数从常规的1 23mm调整至+2mm～-0 05mm之间的任意值;单色器可把肖特基场发射枪发射电子的能量分散从0 6～0 8eV减少至0 04～0 1eV;新一代能量过滤成像系统HR GIF可把能量分辨率从0 8eV提高至0 05eV。配有单色器、球差校正器、HR GIF的新一代场发射枪透射电子显微镜可提供亚埃的空间分辨率和亚电子伏特的能量分辨率,为研究物质的原子 电子结构提供了可靠的保证。 展开更多

关键词 场发射枪透射电镜 慢扫描电荷耦合器件 球差校正器 单色器 高分辨能量过滤器

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液化石油气燃烧火焰制备一维碳纳米材料 被引量：2

13

作者 祁祥 潘春旭 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第2期100-107,共8页

本文利用民用液化石油气为碳源,在经过预处理的低碳钢和含Ni合金钢等基板上成功地制备出"空心"碳纳米管(CNTs)和"实心"碳纳米纤维(CNFs)等一维碳纳米材料。实验发现基板预处理对一维碳纳米材料的制备起着决定性的作... 本文利用民用液化石油气为碳源,在经过预处理的低碳钢和含Ni合金钢等基板上成功地制备出"空心"碳纳米管(CNTs)和"实心"碳纳米纤维(CNFs)等一维碳纳米材料。实验发现基板预处理对一维碳纳米材料的制备起着决定性的作用,如:机械研磨预处理时很难制备出一维碳纳米材料,而采用涂覆和电镀处理则很容易获得一维碳纳米材料。利用场发射枪高分辨扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和激光拉曼光谱(RS)等技术对碳纳米材料的结构进行了表征。从本实验可以预见,制备一维碳纳米材料将变得更简单,更经济。 展开更多

关键词 碳纳米材料 一维 制备 燃烧火焰 扫描电镜(SEM) 民用液化石油气 激光拉曼光谱 碳纳米纤维 预处理 碳纳米管 实验发现 机械研磨 场发射枪 透射电镜 合金钢 低碳钢 决定性 高分辨 基板

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龙马溪组页岩不同显微形态有机质成因及其勘探潜力探讨 被引量：6

14

作者 刘振庄 白名岗 +6 位作者 杨玉茹 张聪 王向华 陈娟 谢婷 方立羽 秦丽娟 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期199-207,共9页

有机质是页岩中最重要的组分,有机孔更是页岩气重要的储集空间,以扫描电镜为主流的微观分析检测技术成为页岩研究的重要手段,目前对有机质的综合研究正逐步成为页岩气勘探开发研究的重要内容。本次研究选取四川盆地及其外围龙马溪组富... 有机质是页岩中最重要的组分,有机孔更是页岩气重要的储集空间,以扫描电镜为主流的微观分析检测技术成为页岩研究的重要手段,目前对有机质的综合研究正逐步成为页岩气勘探开发研究的重要内容。本次研究选取四川盆地及其外围龙马溪组富有机质页岩,采用氩离子抛光非镀膜样品,利用低电压近距离工作状态,对样品进行了高分辨率场发射扫描电镜检测,观察、总结了有机质显微形态,并依据其内部结构及组成特征对其生烃及储集能力进行了探讨。检测结果揭示:龙马溪组富有机质页岩中有机质主要有三种显微形态,分别是结构型沉积有机质、分异型交生有机质和填隙型运移有机质。结构型沉积有机质形成于沉积及早期成岩演化阶段,保留了部分生物结构特征或沉积定向构造;分异型交生有机质与黏土矿物交互生长并经历演化分异作用,形成了类似于岩浆岩中的“花岗结构”;而填隙型运移有机质形成于晚成岩有机质高演化阶段,为液态烃充填于自生矿物晶间,其周边矿物具有自形特征。龙马溪组页岩以填隙型运移有机质和分异型交生有机质为主,二者都发育丰富的有机质孔隙(孔径10~300nm),是龙马溪组页岩优质的生气母质,并具有优质的储集性能。研究结果为我国海相龙马溪组页岩气生成理论及勘探开发评价提供了较深层次的微观信息。 展开更多

关键词 龙马溪组页岩 高分辨率场发射扫描电镜 不同显微形态有机质 成因及来源探讨 生烃及储集性能

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电子光学

15

《中国光学》 EI CAS 1998年第4期95-96,共2页

TN16 98042768高分辨二次电子像中的成分衬度=Composition con-trast in high resolution secondary electron im-age[刊,中]/徐军,陈文雄,张会珍(北京大学电子显微镜实验室.北京(100871))∥电子显微学报.—1997,16(1).

关键词 电子显微学报 高分辨电子显微象 环境扫描电镜 电子显微镜 二次电子像 中科院 电子光学 场发射 北京大学 高温样品台

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制膜技术与装置

16

《中国光学》 EI CAS 2008年第4期66-68,共3页

关键词 纳米晶薄膜 原子力显微镜 制备 人工晶体 化学汽相沉积法 氧化锌 国家重点实验室 选区电子衍射 高质量 场发射扫描电镜

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国家纳米科学中心最新研究进展

17

《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第9期84-84,共1页

中科院国家纳米科学中心海外主任王中林、江鹏副研究员等与中心学术委员会副主任、中科院物理所解思深院士以及哈尔滨工业大学蔡伟教授合作，在国家自然科学基金、国家973重大基础研究计划以及国家纳米科学中心创新基金的支持下，以硫... 中科院国家纳米科学中心海外主任王中林、江鹏副研究员等与中心学术委员会副主任、中科院物理所解思深院士以及哈尔滨工业大学蔡伟教授合作，在国家自然科学基金、国家973重大基础研究计划以及国家纳米科学中心创新基金的支持下，以硫化锌为蒸发源，通过真空热蒸发技术，首次成功地制备出双组分氧化锌纳米带／硫化锌纳米带／氧化锌纳米齿异质结齿轮结构。通过场发射扫描电子显微镜和高分辨透射电子显微镜对这种结构的表征， 展开更多

关键词 国家纳米科学中心 高分辨透射电子显微镜 场发射扫描电子显微镜 氧化锌纳米带 国家自然科学基金 哈尔滨工业大学 齿轮结构 学术委员会

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