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高分子辅助沉积法制备氧化物和氮化物薄膜 被引量:1
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作者 林媛 杨丹丹 +3 位作者 代超 刘升华 LUO H M JIA Q X 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期524-530,共7页
高分子辅助沉积法是近年来发展起来的一种薄膜沉积方法。该方法利用高分子与金属键合形成均匀稳定的溶液,将溶液涂覆在基片上后,通过热处理使高分子分解而形成薄膜。该文介绍了使用该方法制备的一些具有代表性的氧化物和氮化物薄膜,包... 高分子辅助沉积法是近年来发展起来的一种薄膜沉积方法。该方法利用高分子与金属键合形成均匀稳定的溶液,将溶液涂覆在基片上后,通过热处理使高分子分解而形成薄膜。该文介绍了使用该方法制备的一些具有代表性的氧化物和氮化物薄膜,包括简单氧化物/氮化物,如TiO2、GaN和AlN等,复杂氧化物/氮化物如(Ba,Sr)TiO3、Ti1-xAlxN等。通过X射线衍射、透射电镜、介电测试和光学测试等方法对薄膜的结构和性能进行了表征和分析,并探讨了基片和工艺条件对结构和性能的影响。这些结果表明高分子辅助沉积法可以广泛应用于制备各种高质量的氧化物和氮化物薄膜。 展开更多
关键词 氧化物薄膜 外延生长 高分子辅助沉积法 氮化物薄膜
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高分子辅助沉积法制备LaNiO_(3)外延导电薄膜
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作者 杨柱 郭少波 +2 位作者 蔡恒辉 董显林 王根水 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第5期561-566,共6页
近年来LaNiO_(3)(LNO)作为铁电超晶格、超导异质结和催化剂材料引起了广泛关注。本研究采用简便、低成本的高分子辅助沉积法(Polymer Assisted Deposition,PAD),在(001)取向的SrTiO_(3)(STO)单晶衬底上制备了导电性能优异的LNO外延薄膜... 近年来LaNiO_(3)(LNO)作为铁电超晶格、超导异质结和催化剂材料引起了广泛关注。本研究采用简便、低成本的高分子辅助沉积法(Polymer Assisted Deposition,PAD),在(001)取向的SrTiO_(3)(STO)单晶衬底上制备了导电性能优异的LNO外延薄膜,并对其进行各种结构和电学表征。摇摆曲线半高宽为0.38°,表明LNO薄膜结晶度良好。高分辨XRD的φ扫描进一步证实LNO薄膜在STO衬底上异质外延生长。原位变温XRD测试进一步表征了LNO薄膜的外延生长过程。结果表明,聚合物分解之后金属阳离子在单晶基体上有序释放并外延结晶。XPS结果表明,采用PAD制备的LaNiO_(3)薄膜不存在氧空位。薄膜表面光滑,粗糙度为0.67nm。在10~300K温度区间内的变温电阻率表明LNO薄膜具有良好的导电性能。上述结果表明:PAD制备的LaNiO_(3)薄膜具有较好的综合性能,PAD在制备外延功能薄膜材料方面具有很大的潜力。 展开更多
关键词 LaNiO_(3) 导电薄膜 高分子辅助沉积法 外延
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高分子辅助化学溶液沉积法制备La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3/Si薄膜及电磁输运研究 被引量:1
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作者 刘其娅 张敏 宋婷婷 《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2017年第4期621-626,共6页
利用高分子辅助化学溶液沉积法在Si(100)衬底上外延生长La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3薄膜。并利用X射线衍射仪结果、扫描电子显微镜结果和电阻率-温度曲线(ρ-T曲线)结果、磁电阻(MR)曲线结果对其晶体结构、表面形貌和电磁输运机制进行了研究... 利用高分子辅助化学溶液沉积法在Si(100)衬底上外延生长La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3薄膜。并利用X射线衍射仪结果、扫描电子显微镜结果和电阻率-温度曲线(ρ-T曲线)结果、磁电阻(MR)曲线结果对其晶体结构、表面形貌和电磁输运机制进行了研究。结果显示实验制备的La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3薄膜为赝立方钙钛矿多晶结构,薄膜表面均匀平滑,结晶性好,晶粒尺寸约为50~70 nm。随着温度降低,薄膜电输运机制从绝缘体行为向转变金属导电行为。金属绝缘转变转变点温度(T_(MI))随磁场的增加而升高,在0 T和1 T分别为T_(MI)=238K、246 K。电输运测试结果说明,低温(T<T_(MI))时,电子-电子的散射对薄膜的电导性能起主导作用,高温(T>T_(MI))时薄膜按照绝热近似的小极化子输运。 展开更多
关键词 La0.7Sr0.3Mn O3薄膜 高分子辅助化学溶液沉积 电磁输运性质
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