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高介电常数La_(2)O_(3)材料的制备方法及其介电性能研究进展
1
作者
魏小茹
陈文杰
+1 位作者
王锋
朱胜利
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第6期33-37,共5页
在众多高介电常数栅介质材料中氧化镧(La_(2)O_(3))因带隙大、热稳定性良好等特点而具有代替传统SiO_(2)栅介质材料的潜力。介绍了La_(2)O_(3)薄膜的制备方法,综述了目前改善La_(2)O_(3)薄膜介电性能的方法并展望了其未来发展前景。
关键词
高介电常数介质材料
La_(2)O_(3)
电学特性
制备方法
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职称材料
题名
高介电常数La_(2)O_(3)材料的制备方法及其介电性能研究进展
1
作者
魏小茹
陈文杰
王锋
朱胜利
机构
兰州交通大学材料科学与工程学院
泉州师范学院化工与材料学院
天津大学材料科学与工程学院
黎明职业大学新材料与鞋服工程学院
出处
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第6期33-37,共5页
基金
福建省科技重大专项专题项目(2021HZ021027)
福建省自然科学基金(2020J01776)
省级科技创新重点项目(2021G02028)。
文摘
在众多高介电常数栅介质材料中氧化镧(La_(2)O_(3))因带隙大、热稳定性良好等特点而具有代替传统SiO_(2)栅介质材料的潜力。介绍了La_(2)O_(3)薄膜的制备方法,综述了目前改善La_(2)O_(3)薄膜介电性能的方法并展望了其未来发展前景。
关键词
高介电常数介质材料
La_(2)O_(3)
电学特性
制备方法
Keywords
high dielectric constant dielectric material
La_(2)O_(3)
electrical properties
preparation methods
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
高介电常数La_(2)O_(3)材料的制备方法及其介电性能研究进展
魏小茹
陈文杰
王锋
朱胜利
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
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